[发明专利]基板处理方法有效
| 申请号： | 201710536605.6 | 申请日： | 2015-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN107255913B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 加藤正纪;奈良圭;铃木智也;渡边智行;鬼头义昭;堀正和 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/24 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;王娟娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 基板处理装置以使得通过多个描绘单元的各描绘线在基板上描绘出的图案彼此伴随着基板向长度方向的移动而在基板的宽度方向上接合在一起的方式，沿基板的宽度方向配置有多个描绘单元。控制部预先存储有与通过多个描绘单元分别在基板上形成的描绘线的相互的位置关系有关的校准信息，并且基于该校准信息和从移动测量装置输出的移动信息来调整通过多个描绘单元各自的描绘光束在基板上的形成的图案的描绘位置。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理方法，在长条的片状基板上描绘出电子器件的图案，其特征在于，包括以下工序：沿所述片状基板的长度方向以规定速度输送所述片状基板的工序；使从脉冲光源装置以频率Fz脉冲振荡出的紫外波段的光束在所述片状基板的表面聚集成点光，并且使所述点光沿着在与所述片状基板的长度方向交叉的宽度方向上延伸的描绘线进行扫描的工序；以及在所述点光的扫描期间，基于将所述图案按像素单位分割得到的描绘数据，利用光切换元件对所述光束的强度进行调制的工序，所述光切换元件的调制时的响应频率Fss和所述光束的脉冲振荡的频率Fz被设定为Fz＞Fss的关系。
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