[发明专利]薄膜晶体管及其制作方法、有机电致发光显示器

摘要

本发明提供了一种薄膜晶体管，其包括：基板；有源半导体层，设置在基板上；第一栅极绝缘层，设置在基板和有源半导体层上；第一栅极，设置在第一栅极绝缘层上；第二栅极绝缘层，设置在第一栅极和第一栅极绝缘层上，第二栅极绝缘层中具有暴露第一栅极的部分的第一过孔；第二栅极，设置在第二栅极绝缘层上，第二栅极填充第一过孔，以与第一栅极连接接触；层间绝缘层，设置在第二栅极和第二栅极绝缘层上；源极和漏极，彼此间隔设置于层间绝缘层上，源极和漏极贯穿层间绝缘层、第二栅极绝缘层和第一栅极绝缘层，以与有源半导体层分别接触。本发明采用第一栅极和第二栅极并联构成薄膜晶体管中的栅极，以降低传递栅极信号的栅极的电阻值。

主权项

一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：基板；有源半导体层，设置在所述基板上；第一栅极绝缘层，设置在所述基板和所述有源半导体层上；第一栅极，设置在所述第一栅极绝缘层上；第二栅极绝缘层，设置在所述第一栅极和所述第一栅极绝缘层上，所述第二栅极绝缘层中具有暴露所述第一栅极的部分的第一过孔；第二栅极，设置在所述第二栅极绝缘层上，所述第二栅极填充所述第一过孔，以与所述第一栅极连接接触；层间绝缘层，设置在所述第二栅极和所述第二栅极绝缘层上；源极和漏极，彼此间隔设置于所述层间绝缘层上，所述源极和所述漏极贯穿所述层间绝缘层、所述第二栅极绝缘层和所述第一栅极绝缘层，以与所述有源半导体层分别接触。