[发明专利]一种光刻的显影辅助方法及设备在审
| 申请号： | 201710388912.4 | 申请日： | 2017-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN107422609A | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | 阳振军 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光刻的显影辅助方法，包括获取基板存在光刻线宽异常的区域及所述区域的线宽偏离目标线宽的数值；通过非接触式加热装置对所述区域进行加热；所述非接触式加热装置的表面分布有多个热量输出单元，每个热量输出单元配有独立控制的控制开关，加热时根据所述区域在基板上的位置控制相应位置的热量输出单元打开进行加热，并根据所述数值设置加热温度和加热时间，以对基板上的光刻胶的显影进行热补偿；对所述光刻胶进行显影。本发明通过对基板存在光刻线宽异常的区域进行局部加热，起到对基板和光刻胶的热补偿作用，从而改善光刻胶曝光显影特性，最终实现改善线宽均一性的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 显影 辅助 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种光刻的显影辅助方法，包括：获取基板存在光刻线宽异常的区域及所述区域的线宽偏离目标线宽的数值；通过非接触式加热装置对所述区域进行加热；所述非接触式加热装置的表面分布有多个热量输出单元，每个热量输出单元配有独立控制的控制开关，加热时根据所述区域在基板上的位置控制相应位置的热量输出单元打开进行加热，并根据所述数值设置加热温度和加热时间，以对基板上的光刻胶的显影进行热补偿；对所述光刻胶进行显影。
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