[发明专利]干燥及预钝化装置及方法在审
| 申请号： | 201710371401.1 | 申请日： | 2017-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN107287553A | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 郭馨;丁金滨;刘斌;张立佳;周翔;王宇;赵江山 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | C23C8/08 | 分类号： | C23C8/08;C23C8/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种干燥及预钝化装置及方法，其中装置包括气室及分别与气室连接的总控制单元、抽真空单元及钝化气体控制单元，其中气室用于盛放需要干燥及预钝化的零部件；抽真空单元用于吸入/排出空气，使气室处于真空/常压状态；钝化气体控制单元用于在气室处于真空状态时，向气室内注入钝化气体以对零部件进行预钝化，还用于在预钝化完成后，气室处于常压状态时将钝化气体排出；总控制单元，在气室内注入钝化气体对零部件进行预钝化时，用于根据气室内的温度信息，向气室提供热量。由于在真空条件下同时进行干燥和预钝化处理，使零部件表面生成稳定保护层，防止在后续加工和使用过程中被碳、氢、氧及其他元素污染，从而提高零部件的抗腐蚀能力和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 干燥 钝化 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种干燥及预钝化装置，包括气室及分别与所述气室连接的总控制单元、抽真空单元及钝化气体控制单元，其中：气室，用于盛放需要干燥及预钝化的零部件；抽真空单元，用于吸入/排出空气，使所述气室处于真空/常压状态；钝化气体控制单元，用于在所述气室处于真空状态时，向所述气室内注入钝化气体以对零部件进行预钝化，还用于在预钝化完成后，所述气室处于常压状态时将所述钝化气体排出；总控制单元，在所述气室内注入钝化气体对零部件进行预钝化时，用于根据所述气室内的温度信息，向所述气室提供热量。
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