[发明专利]减压干燥装置、减压干燥系统、减压干燥方法有效
| 申请号： | 201710466710.7 | 申请日： | 2017-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN107790355B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 芳川典生;水野博喜;时枝大佐 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | B05D3/04 | 分类号： | B05D3/04 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市上京区堀*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供减压干燥装置、减压干燥系统、减压干燥方法。减压干燥装置包括：支撑部，对涂布有膜的基板进行支撑；基板收容部，包含可连接分离的第1覆盖部及第2覆盖部，将支撑于支撑部的基板收容于第1覆盖部与第2覆盖部之间的处理空间；连接分离驱动部，通过使第1覆盖部与第2覆盖部接触而封闭处理空间，另一方面，通过使第1覆盖部与第2覆盖部分离而打开处理空间；减压机构，通过使经封闭的处理空间减压，而使涂布于基板上的膜干燥；以及排气机构，配置在基板收容部的外侧，从分离的第1覆盖部及第2覆盖部各自的周缘部之间排出处理空间内的气化成分。可抑制来自膜的气化成分飞散至基板收容部的外部且可从基板收容部的内部去除气化成分。 | ||
| 搜索关键词： | 减压 干燥 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种减压干燥装置，其特征在于，包括：支撑部，对涂布有膜的基板进行支撑；基板收容部，包含可相互连接分离的第1覆盖部及第2覆盖部，将支撑于所述支撑部的所述基板收容于所述第1覆盖部与所述第2覆盖部之间的处理空间；连接分离驱动部，通过使所述第1覆盖部与所述第2覆盖部相互接触而封闭所述处理空间，另一方面，通过使所述第1覆盖部与所述第2覆盖部相互分离而打开所述处理空间；减压机构，通过使经封闭的所述处理空间减压，而使涂布于所述基板上的所述膜干燥；以及排气机构，配置在所述基板收容部的外侧，从相互分离的所述第1覆盖部及所述第2覆盖部各自的周缘部之间排出所述处理空间内的气化成分。
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