[发明专利]干燥装置及干燥方法在审

专利信息
申请号: 201910547654.9 申请日: 2019-06-24
公开(公告)号: CN110350110A 公开(公告)日: 2019-10-18
发明(设计)人: 宋媛媛 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L21/67
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本揭示提供一种干燥装置,包括:箱体、冷凝板、第一抽气组件、托板以及第二抽气组件,箱体内设置有干燥腔,冷凝板设置在所述干燥腔内,冷凝板的表面设置为弧形面,第一抽气组件设置在冷凝板的顶部,并连通到箱体的外部,托板设置在冷凝板下,且托板的长度小于冷凝板的长度,第二抽气组件设置在箱体的底部上,干燥时,多余的溶剂聚集在冷凝板上并沿着弧面流入冷凝板的四周端部,从而避免了污染薄膜,保证干燥效果。
搜索关键词: 冷凝板 抽气组件 托板 干燥装置 干燥腔 表面设置 干燥效果 污染薄膜 弧形面 弧面 溶剂 连通 外部 保证
【主权项】:
1.一种干燥装置,其特征在于,包括:箱体,所述箱体内设置有干燥腔;冷凝板,所述冷凝板设置在所述干燥腔内,所述冷凝板的表面为弧形面;第一抽气组件,所述第一抽气组件设置在所述冷凝板的顶部,并连通到所述箱体的外部;托板,所述托板设置在所述干燥腔内,所述托板设置在所述冷凝板下,且所述托板的长度小于所述冷凝板的长度,所述托板用于支撑基板;以及多个第二抽气组件,所述第二抽气组件设置在所述箱体的底部。
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  • 2017-12-22 - 2019-10-18 - H01L51/56
  • 本发明涉及一种大面积簇射头组件,其特征在于具备:背衬板,具备在腔室的上部;以及簇射头,具备在所述背衬板的下部而向基板供给气体;且所述簇射头以可实现热膨胀的方式连接到所述背衬板。本发明的大面积簇射头组件在将大型化或大面积化的簇射头连接到背衬板的情况下,可不下垂而牢固地连接,并且可容许因热膨胀引起的体积变化。
  • 一种柔性OLED显示面板的圆偏光片贴合和形切装置-201920657990.4
  • 赖耀升;金渶桓;江建志;邹嘉瑞 - 恩利克(浙江)智能装备有限公司
  • 2019-05-09 - 2019-10-18 - H01L51/56
  • 本实用新型提供了一种柔性OLED显示面板的圆偏光片贴合和形切装置,包括一个转盘式工作台,工作台沿转盘方向依次设置有六个工位,按顺序为柔性OLED显示面板载入工位、撕除保护膜工位、对位贴合圆偏光片工位、UV激光形切工位、柔性OLED显示面板取出工位、扫除残渣工位;所述转盘式工作台设置有转动装置;所述六个工位上均设置有相同的定位治具;采用了转盘式工作台,工位之间操作连贯且准确,不仅极大地提高了生产效率,同时,获得的产品精确度极高。
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