[发明专利]干燥装置、干燥方法、清洗干燥系统及清洗干燥方法有效
| 申请号： | 202011024121.1 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112146359B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 刘峻 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | F26B5/04 | 分类号： | F26B5/04;F26B9/06;F26B21/14;F26B23/04;F26B25/00;F26B25/18;B08B3/08 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 周全 |
| 地址： | 430079 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种干燥装置、干燥方法、清洗干燥系统及清洗干燥方法。该干燥装置用于对通过刻蚀形成有深孔的晶圆进行干燥，包括：腔室，设置于对晶圆进行刻蚀的刻蚀腔体内；旋转吸盘，以吸附面朝下的方式倒置于腔室内，设置成能绕转轴旋转；电源，连接至旋转吸盘，向旋转吸盘供电；及底座，以能与旋转吸盘一起旋转的方式设置于旋转吸盘的吸附面，用于固定晶圆。该干燥装置直接在晶圆的刻蚀腔体内利用倒置的旋转吸盘使晶圆的深孔中的水分受到重力和离心力的双重作用而脱离，提高了对晶圆干燥的效率和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 干燥 装置 方法 清洗 系统 | ||
【主权项】：
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