[发明专利]衬底处理装置、装置管理控制器及装置管理方法

摘要

本发明提供一种能够谋求缩短对异常的解析调查的时间的构成。该构成包含将在执行对衬底进行处理的配方的过程中所生成的装置数据向存储部传送的操作部、和分别对存储在存储部中的多个装置数据进行核对的数据匹配控制部，操作部将表示装置中发生了异常的主旨的数据向上述数据匹配控制部通知，数据匹配控制部具有：选定部，其从存储部选定以与发生了异常的配方相同的条件被执行了的配方；获取部，其分别从发生了异常的配方和由选定部选定出的配方获取装置数据；和运算部，其对获取到的装置数据的差异进行运算，基于表示发生了异常的主旨的数据来对从异常发生前后的配方获取到的装置数据进行核对。

主权项

一种衬底处理装置，包含将在执行对衬底进行处理的配方的过程中所生成的装置数据向存储部传送的操作部、和分别对存储在所述存储部中的多个所述装置数据进行核对的数据匹配控制部，所述衬底处理装置的特征在于，构成为，所述操作部将表示装置中发生了异常的主旨的数据向所述数据匹配控制部通知，所述数据匹配控制部具有：选定部，其从所述存储部选定以与发生了所述异常的配方相同的条件被执行了的配方；获取部，其分别从发生了所述异常的配方和由所述选定部选定出的配方获取所述装置数据；和运算部，其对获取到的所述装置数据的差异进行运算，基于表示发生了所述异常的主旨的数据来对从所述异常发生前后的配方获取到的所述装置数据进行核对。