[发明专利]一种半导体激光阵列合束装置

摘要

本发明公开了一种半导体激光阵列合束装置，包括激光器线阵阵列、快轴准直镜、慢轴准直镜、透镜、第一级光栅、反馈元件、反射合束镜与第二级光栅。激光器线阵阵列包括M个激光器线阵，每个激光器线阵包括多个激光单元；每个激光器线阵分别通过快轴准直镜准直后平行出射至慢轴准直镜对慢轴光斑进行准直，再采用透镜将每一激光单元的光束聚焦至第一级光栅上，形成一束激光束；入射至反馈元件通过外腔反馈元件进行波长锁定，得到一束高光束质量、波长锁定的激光束，再通过反射合束镜将M束波长锁定的激光光束在第二级光栅上进行合束。本发明可实现对多个激光线阵的光谱合束，其光束质量相当于单个激光单元，输出功率远超单个激光线阵的半导体激光光源。

主权项

一种半导体激光阵列合束装置，其特征在于，包括激光器线阵阵列(1)、快轴准直镜(2)、慢轴准直镜(3)、透镜(4)、第一级光栅(5)、外腔镜(6)、反射合束镜(7)与第二级光栅(8)，其中：所述激光器线阵阵列(1)包括M个激光器线阵，每个激光器线阵包括多个激光单元；每个激光器线阵分别通过所述快轴准直镜(2)准直后平行出射至所述慢轴准直镜(3)对慢轴光斑进行准直，再采用所述透镜(4)将每一所述激光单元的光束聚焦至第一级光栅(5)上，形成一束激光束；M束激光光束分别入射至所述反馈元件(6)上进行外腔反馈波长锁定，然后通过反射合束镜(7)将M束波长锁定激光光束在第二级光栅(8)上进行合束。