[发明专利]一种提高ZnO透明导电薄膜附着力的方法有效

专利信息
申请号: 201611180038.7 申请日: 2016-12-19
公开(公告)号: CN106756799B 公开(公告)日: 2020-10-16
发明(设计)人: 龚丽;刘云珍 申请(专利权)人: 长沙理工大学
主分类号: C23C14/20 分类号: C23C14/20;C23C14/35;C23C14/08;C23C28/04;C23C18/12;H01B1/08
代理公司: 长沙星耀专利事务所(普通合伙) 43205 代理人: 姜芳蕊
地址: 410114 湖南省*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种提高ZnO透明导电薄膜附着力的方法,包括以下步骤:以掺有Ga2O3和Al2O3粉末的ZnO陶瓷靶为靶材,室温下在有机聚合物衬底上沉积一层ZnO透明导电薄膜;利用射频磁控溅射技术,将MgO均匀溅射在有机聚合物衬底和ZnO薄膜之间,形成镀膜B;以纳米二氧化钛和碳纳米管的混合溶胶为原料在镀膜B的表面进行涂膜处理,高温干燥后形成镀膜C。本发明提出的一种提高ZnO透明导电薄膜附着力的方法,在保证ZnO透明导电薄膜原有透光率和导电性的同时有效的增高了有机聚合物衬底的表面致密度和光滑度,减少了有机聚合物衬底和ZnO薄膜的失配缺陷,其操作简单,设备简单,成本低,制备的透明导电膜附着性能较好,使用寿命长,可得广泛应用。
搜索关键词: 一种 提高 zno 透明 导电 薄膜 附着力 方法
【主权项】:
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