[发明专利]半导体器件在审
申请号: | 201611046649.2 | 申请日: | 2016-11-23 |
公开(公告)号: | CN107039401A | 公开(公告)日: | 2017-08-11 |
发明(设计)人: | 陈颢;徐振翔;林鸿志;彭经能;王敏哲 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544;G01R31/26 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司11409 | 代理人: | 章社杲,李伟 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明的实施例提供了一种半导体器件,包括半导体衬底和衬底上的互连件。互连件包括互连件的最上层中的电介质以及多个导电焊盘,其中,多个导电焊盘中的每一个都从电介质至少部分地暴露。互连件还包括电流传感器,电流传感器与多个导电焊盘中的至少一个电耦合。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 | ||
【主权项】:
一种半导体器件,包括:半导体衬底;以及互连件,位于所述半导体衬底上,所述互连件包括:电介质,位于所述互连件的最上层中;多个导电焊盘,其中,所述多个导电焊盘中的每一个都从所述电介质至少部分地暴露;和电流传感器,与所述多个导电焊盘中的至少一个电耦合。
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