[发明专利]一种具有电流阻挡层的LED外延片及其制造方法

摘要

本发明提供了一种具有电流阻挡层的LED外延片，其包括：衬底；在所述衬底上外延生长在所述衬底上的GaN外延层，利用干法刻蚀蚀刻出的第一电极放置区域，所述放置区域呈阶梯状；形成在所述GaN外延层的未被刻蚀区域上的电流阻挡层；所述电流阻挡层中均匀间隔、中心对称辐射状分布的ITO材质的多个导电环，所述多个导电柱的顶面与所述电流阻挡层的顶面齐平；沉积在所述电流阻挡层上的ITO电流拓展层。本发明利用同心导电环进行电流传输，防止电流在电极的中部的过度集中。

主权项

1.一种具有电流阻挡层的LED外延片的制造方法，具体包括如下步骤：（1）提供一衬底，在所述衬底上生长GaN外延层，然后利用干法刻蚀蚀刻出第一电极放置区域，所述放置区域呈阶梯状；（2）在所述GaN外延层的未刻蚀区域形成一光刻胶层；（3）刻蚀所述光刻胶层，形成一系列的多个空心柱，在多个空心柱内填充ITO以形成多个导电柱，所述多个导电柱呈中心辐射状，且中心对称，其中心与所述GaN外延层的未刻蚀区域的中心重合，并且相邻的两个所述多个导电柱的间隔相等，但所述多个导电柱的直径由内而外逐渐增大；（4）去除所述光刻胶层；在所述多个导电柱的周围沉积SiO2和TiO2的叠层以形成电流阻挡层，抛光顶面使得所述导电柱的顶面与所述电流阻挡层的顶面齐平；（5）在所述电流阻挡层上沉积一层ITO电流拓展层；减薄所述衬底，并在背面形成一层布拉格反射膜，以增强反射；到此完成LED外延片的制作。