[实用新型]一种用于激光镀膜的衬底夹具

摘要

用于激光镀膜的衬底夹具，它涉及一种衬底夹具。本实用新型解决了现有的用于激光镀膜的衬底夹具存在的靶材与衬底间距离不便调节，距离较近时衬底会遮挡激光脉冲的光路，距离较远激光脉冲形成的羽辉在衬底表面沉积效率较低、晶粒生长较大、均匀性变差以及现有夹具使用时间久后夹片的稳定性变差的问题。所述夹具上盖为圆柱体，夹具上盖沿其长度方向依次加工有中心通孔和中心螺纹孔，中心通孔与中心螺纹孔相互连通设置，夹具主体中的小圆柱段外侧壁上加工有外螺纹，夹具上盖与小圆柱段螺纹连接，用来固定衬底。夹具主体通过加工在夹具主体大圆柱段上的中心盲孔和三个定位销将夹具固定在激光镀膜设备上。圆台段母线与圆台底面的夹角范围为35°～55°。本实用新型的用于激光镀膜的衬底夹具用于激光镀膜衬底固定。

主权项

一种用于激光镀膜的衬底夹具，包括夹具上盖(1)、夹具主体(2)，其特征在于：所述夹具上盖(1)为圆柱体，夹具上盖(1)沿其长度方向依次加工有中心通孔(1‑1)和中心螺纹孔(1‑2)，中心通孔(1‑1)与中心螺纹孔(1‑2)相互连通设置；所述夹具主体(2)包括小圆柱段(2‑1)、圆台段(2‑2)、大圆柱段(2‑3)，小圆柱段(2‑1)固装在圆台段(2‑2)的小端，大圆柱段(2‑3)固装在圆台段(2‑2)的大端，小圆柱段(2‑1)、圆台段(2‑2)、大圆柱段(2‑3)依次同轴固接为一体，小圆柱段(2‑1)外侧壁上加工有外螺纹，夹具上盖(1)与小圆柱段(2‑1)螺纹连接，三个定位销(2‑5)沿大圆柱段(2‑3)圆周方向均布设置，大圆柱段(2‑3)加工有中心盲孔(2‑4)，圆台段(2‑2)母线与圆台底面的夹角范围为35°～55°。