[实用新型]具有纯化母液功能的双衬底槽液相外延石墨舟有效
申请号: | 201420597065.4 | 申请日: | 2014-10-16 |
公开(公告)号: | CN204224738U | 公开(公告)日: | 2015-03-25 |
发明(设计)人: | 王洋;胡淑红;吕英飞;戴宁 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | C30B19/06 | 分类号: | C30B19/06 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 郭英 |
地址: | 200083 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本专利公开了一种具有纯化母液功能的双衬底槽液相外延石墨舟,该石墨舟包括盖板、母液槽、双衬底槽滑板和主体槽,在双衬底槽滑板上有两个相邻的衬底槽A和B,按滑板移动方向,前一个衬底槽A装牺牲片,后一个衬底槽B装生长片,牺牲片用于纯化母液,生长片用于生长外延薄膜。本专利的优点在于:这种独有的双衬底槽石墨舟通过牺牲片纯化母液的手段,将有效降低母液中杂质对外延薄膜的影响,从而达到降低外延薄膜中的载流子浓度,提高外延薄膜的电学性能的目的。 | ||
搜索关键词: | 具有 纯化 母液 功能 衬底 槽液相 外延 石墨 | ||
【主权项】:
一种具有纯化母液功能的双衬底槽液相外延石墨舟,它包括盖板(1)、母液槽(2)、双衬底槽滑板(3)和底座(4),其特征在于:所述的底座(4)是一种用以放置双衬底槽滑板和固定母液槽的平底“U”型槽;所述的双衬底槽滑板(3)在其滑板上有两个相邻的衬底槽,即用于放置牺牲片的衬底槽A(3.1)和用于放置外延生长片的衬底槽B(3.2),按滑板移动方向,前一个为衬底槽A(3.1),后一个为衬底槽B(3.2),其相隔间距与母液槽(2)中相邻的两个液槽(2.1)的间距一致;所述的母液槽(2)是一块可以插入底座的长方体石墨块,其上开有n个矩形通槽即液槽,用以盛放母液,n由晶体生长所需的母液种类数决定;双衬底槽滑板(3)平放于底座(4)上的“U”型槽的底部,可以来回滑动,母液槽(2)位于双衬底槽滑板之上,石墨圆柱穿过底座上的通孔(4.1)和母液槽的通孔(2.2)将其固定在底座上,防止液槽中的母液挥发的盖板(1)盖住母液槽(2)。
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