[发明专利]一种靶材结构的制作方法在审
| 申请号： | 201410853856.3 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN105803405A | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;寿奉粮 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K1/19 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏;骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材结构的制作方法，所述方法包括：提供靶材，所述靶材为铌或铌合金；对所述靶材表面进行活化处理；用化学镀工艺，在活化处理后的靶材焊接面上形成金属镀层；将具有所述金属镀层的靶材焊接至背板。在铌或铌合金靶材的焊接面上化学镀形成金属镀层，利用金属镀层作为中间媒介，使得靶材与背板焊接后实现二者的牢固结合，具有较高的结合强度。本发明摸索出了一条稳定的在铌或铌合金靶材的表面用化学镀方法镀金属层的工艺流程，并实现了工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
一种靶材结构的制作方法，其特征在于，所述方法包括：提供靶材，所述靶材为铌或铌合金；对所述靶材表面进行活化处理；利用化学镀工艺，在活化处理后的靶材焊接面上形成金属镀层；将具有所述金属镀层的靶材焊接至背板。
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