[发明专利]一种磁控溅射镀膜衬底固定夹具在审
| 申请号： | 201410836254.7 | 申请日： | 2014-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN104561921A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 李晓东 | 申请（专利权）人： | 张家港恩达通讯科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215614 江苏省苏州市张家港市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种可自由调节高度的夹具，特别是一种磁控溅射镀膜的衬底固定夹具，包括固定衬底的基片架1和片架2，片架2与基片架1通过销钉9连接，在基片架1上表面有三个带有标尺6的导轨3，通过滑片4在导轨3中移动的距离，实现中心轴13下端与基片架1背面距离的变化，从而实现靶基距的距离的变化，实现调节靶基距的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 衬底 固定 夹具 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射镀膜衬底固定夹具，包括固定衬底的基片架1和片架2，其特征在于：在基片架1上表面固定安装三个带有标尺6的导轨3，滑片4可在导轨3内移动，通过调节滑片4在导轨3内的移动距离，实现调整靶基距。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于张家港恩达通讯科技有限公司，未经张家港恩达通讯科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410836254.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
