[发明专利]一种抗辐照加固双极型晶体管及该晶体管的制备方法有效
| 申请号： | 201410135478.5 | 申请日： | 2014-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN103872105A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 刘广桥;李兴冀;赵玉玲;刘艳秋;段庆禄;杨剑群;孙毅;刘超铭;李鹏伟;宋桂芬;何世禹 | 申请（专利权）人： | 石家庄天林石无二电子有限公司;哈尔滨工业大学;中国空间技术研究院 |
| 主分类号： | H01L29/73 | 分类号： | H01L29/73;H01L29/08;H01L21/331 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 张利明 |
| 地址： | 050035 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 一种抗辐照加固双极型晶体管及该晶体管的制备方法，属于电子技术领域。它是为了解决现有双极型晶体管抗辐照能力低的问题。一种抗辐照加固双极型晶体管，发射区以基区的对角线为对称线呈左右对称的正方形对称梳状结构，该对称线两侧对称向外延伸出n对矩形齿结构，每对矩形齿结构之间的夹角均为90度；上述晶体管的制备方法，在掺杂元素扩散形成基区时，基区的扩散结深度在1μm至2.5μm之间；在基区的表面扩散一层硼；掺杂元素扩散形成发射区时，发射区的扩散结深度在0.5μm至2μm之间；在氧化时，保证干氧的厚度在1nm至10nm之间，湿氧的厚度在200nm至1μm之间。本发明适用于商业化抗辐照双极型晶体管的应用及生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辐照 加固 双极型 晶体管 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种抗辐照加固双极型晶体管，其特征在于，该晶体管的发射区以基区的对角线为对称线呈左右对称的正方形对称梳状结构，该对称线两侧对称向外延伸出n对矩形齿结构，每对矩形齿结构之间的夹角均为90度，n为大于3的正整数。
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