[发明专利]多功能单芯片键合作业手有效
| 申请号： | 201410102853.6 | 申请日： | 2014-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN103817688B | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 潘明强;孙立宁;刘吉柱;陈涛;王阳俊;陈立国 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | B25J9/04 | 分类号： | B25J9/04;B25J9/10;B25J15/02;B25J15/06;B25J19/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多功能单芯片键合作业手，包括作业手爪、显微视觉、XYZ轴运动平台、旋转轴运动平台、支撑体，XYZ轴运动平台为3维坐标运动机构，用于带动显微视觉和作业手抓做3维运动；旋转轴运动平台与XYZ轴运动平台的Z轴相连接，用于带动作业手抓实现旋转运动；作业手爪位于旋转轴运动平台下方，用于实现芯片的抓取；显微视觉与XYZ轴运动平台的Z轴相连接，用于实现芯片位姿捕捉，进而为作业手抓提供芯片位姿信息；支撑体用于支撑所述XYZ轴运动平台。本发明降低了工艺难度和作业人员素质要求，提升了键合整体质量和成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 多功能 芯片 作业 | ||
【主权项】：
一种多功能单芯片键合作业手，其特征在于，其包括作业手爪、显微视觉、XYZ轴运动平台、旋转轴运动平台、支撑体，其中：XYZ轴运动平台为3维坐标运动机构，用于带动显微视觉和作业手爪做3维运动；旋转轴运动平台与XYZ轴运动平台的Z轴相连接，用于带动作业手爪实现旋转运动；作业手爪位于旋转轴运动平台下方，用于实现芯片的抓取，其中，所述作业手爪包括连接于旋转轴运动平台上的线性轴承、安装于线性轴承下方的调平机构、以及安装于线性轴承外围的缓冲弹簧和力传感器，所述力传感器上端与旋转轴运动平台连接，力传感器下端与线性轴承连接，线性轴承下端与调平机构连接，用于带动调平机构在力传感器内部上下移动；显微视觉与XYZ轴运动平台的Z轴相连接，用于实现芯片位姿捕捉，进而为作业手爪提供芯片位姿信息；支撑体用于支撑所述XYZ轴运动平台。
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