[发明专利]作业装置和作业方法有效
| 申请号： | 201780060071.2 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109789434B | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 生岛和正 | 申请（专利权）人： | 武藏工业株式会社 |
| 主分类号： | B05C11/00 | 分类号： | B05C11/00;B05D1/00;G01B11/00;B05C5/00;B05D1/26 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 技术问题：提供一种可在具有机械差异的多个作业头之间获得无差异的作业的作业装置和使用其的作业方法。技术方案：一种作业装置和使用其的作业方法，包括执行同一作业的n个(n为2以上的自然数)作业头、保持作业对象物的载置台、使载置台和作业头相对移动的第1方向驱动装置、使载置台和作业头相对移动的第2方向驱动装置、使载置台和作业头相对移动的第3方向驱动装置、测量各作业头的作业量的作业量测量装置、控制装置，第1方向驱动装置能够使n个作业头在第1方向分别独立地移动，第2方向驱动装置包括使n个作业头在第2方向同时移动的第2方向主驱动装置和使n个作业头中的n－1个作业头在第2方向分别独立地移动的第2方向副驱动装置。 | ||
| 搜索关键词： | 作业 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种作业装置，其特征在于，包括：执行同一作业的n个作业头，其中，n为2以上的自然数；用于保持作业对象物的载置台；第1方向驱动装置，其使载置台和n个作业头在第1方向相对移动；第2方向驱动装置，其使载置台和n个作业头在与第1方向正交的第2方向相对移动；第3方向驱动装置，其使载置台和n个作业头在与第1方向和第2方向正交的第3方向相对移动；测量各作业头的作业量的作业量测量装置；和控制装置，其控制n个作业头和第1至第3方向驱动装置的动作，所述第1方向驱动装置能够使所述n个作业头在所述第1方向分别独立地移动，所述第2方向驱动装置包括：使所述n个作业头在所述第2方向同时移动的第2方向主驱动装置；和使所述n个作业头中的n－1个作业头在所述第2方向分别独立地移动的第2方向副驱动装置。
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- 刘为银;陈军;赵维国 - 长电集成电路（绍兴）有限公司
- 2023-05-10 - 2023-09-12 - B05C11/00
- 本实用新型提供一种光刻胶涂胶设备及排风装置，属于芯片加工技术领域，其中，排风装置包括：防溅罩，防溅罩的一侧设置有启闭门；排风组件，贯通防溅罩的罩壁设置，排风组件包括下排风组和侧排风组，下排风组对应防溅罩的底部设置，侧排风组至少设置有一个，侧排风组对应防溅罩的侧部设置，侧排风组靠近启闭门设置。本实用新型提供的一种排风装置，通过设置下排风组和侧排风组，以减少防溅罩内的气溶胶浓度，并且，当启闭门开启时，防溅罩内的气溶胶在移动时会先经过侧排风组，从而进一步减少逸散出防溅罩的气溶胶量，因此，降低了逸散出的气溶胶降落到晶圆光刻胶层表面的概率，提高晶圆质量。
- 高精度点胶校准平台-202320482460.7
- 徐教德;徐小妹 - 苏州德讯自动化设备有限公司
- 2023-03-14 - 2023-09-12 - B05C11/00
- 本实用新型公开了高精度点胶校准平台，包括工作台与底座，所述工作台与底座固定连接，所述工作台顶部设置有精度校准组件与胶量校准组件，还包括有：用于胶体清理的清理机构。本申请中，海绵块卡合在在连接筒内腔底部，且内部填充有绝缘油，将清洁块插接到连接筒内部，直至到顶板搭接到连接筒顶部，且顶板与连接筒顶部相吸合，以此保证了顶板与清洁块的位置稳定性，且此时清洁块压缩海绵层，吸附在海绵层内部的绝缘油溢出并附着到清洁块外表壁，后续通过提环拔出清洁块，附着有绝缘油的清洁块可便捷的对胶体进行清理，以此既保证了清洁块的位置稳定，又能够保证对胶体的清洁效果。
- 一种针筒适配器-202321022343.9
- 廖俊 - 深圳市康准科技有限公司
- 2023-04-28 - 2023-09-08 - B05C11/00
- 本实用新型涉及一种针筒适配器，包括底板，底板的中心设置有进气孔，底板在进气孔的下端延伸有成倒圆台结构的延伸柱，延伸柱的底面中心设置有与进气孔同轴的延伸柱通孔，延伸柱上设置有包裹延伸柱外侧壁的能弹性形变的橡胶件；底板的底面设置有两个滑槽，两个滑槽以进气孔的中心为对称中心对称设置在底板底面的两侧，滑槽是截面成T型结构且竖直方向的深度从底板中间到底板边缘逐渐变浅的滑槽；每个滑槽上均限位滑设有成L型结构的夹持件，夹持件与延伸柱相对的端面在延伸柱的径向上成弧面结构。该实用新型能满足不同口径的点胶针筒的安装使用，应用范围广。
- 一种环保型胶带生产用涂布机设备-202320221412.2
- 王婷婷 - 苏州瑞得塑胶制品有限公司
- 2023-02-15 - 2023-09-08 - B05C11/00
- 本实用新型涉及涂布机技术领域，具体为一种环保型胶带生产用涂布机设备，包括涂布机，所述涂布机的内部开设有第一滑槽，所述第一滑槽内开设有第一弹簧槽，所述涂布机内开设有转槽，所述第一弹簧槽内固定连接有拉簧，所述拉簧的另一端固定连接有挡板，所述挡板的一端在第一滑槽内滑动连接，所述挡板的后侧固定连接有若干齿，本实用新型通过设置的涂布机、第一滑槽、第一弹簧槽、转槽、挡板、拉簧、齿和齿轮，解决了涂布机长时间在工厂内，导致涂布机上的屏幕被工厂内的灰尘遮挡，使人们不能准确观察到正确的数据，且人们需使用刀片将多个胶布依次划开，其中会出现人们找不到刀片的位置且遗落在某处会对人们的安全造成隐患的问题。
- 一种新型点胶机-202320595670.7
- 丁霞 - 上海燎熠智能设备有限公司
- 2023-03-23 - 2023-09-01 - B05C11/00
- 本实用新型公开了一种新型点胶机，点胶机构下部一侧安装有激光对位机构，激光对位机构包括壳体、激光笔、转轴、横杆，壳体与点胶机构固定安装，转轴轴承连接在壳体内顶部，转轴下部贯穿壳体，横杆固定在转轴下部侧面，激光笔固定安装在横杆末端。该新型点胶机，在需要使用激光笔的时候，只需要将激光笔呈圆周运动至点胶头正下方就可，这样激光笔往下射出激光，点胶头的点胶点就是激光笔往下射出的激光点，使产品需要点胶的部位对应激光点后，就可拉动拉杆，这样激光笔会往前旋转复位，从而方便操作的同时，提高了点胶的精准度。
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