[发明专利]沉积源和有机层沉积设备有效
| 申请号： | 201410018562.9 | 申请日： | 2014-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN104178732B | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 李宝罗 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人： | 王占杰,韩芳 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种用于蒸发有机材料的沉积源和一种有机层沉积设备。在一方面，所述沉积源包括排放管，释放包括有机材料的流体；以及坩埚，包括与排放管相邻的第一表面，第一表面接触从排放管释放的流体并具有第一高度。坩埚还包括远离第一表面延伸的第二表面，第二表面接触流自第一表面的流体并且具有比第一高度低的第二高度。所述沉积源还包括与坩埚的第二表面相邻的排泄管，所述排泄管排放流自第二表面的流体。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 有机 设备 | ||
【主权项】：
一种沉积源，所述沉积源包括：排放管，构造为释放包括有机材料的流体；坩埚，包括：i)与排放管相邻的第一表面，其中，第一表面具有第一高度并被构造为接触从排放管释放的流体；ii)远离第一表面延伸的第二表面，其中，第二表面被构造为接触流自第一表面的流体，其中，第二表面具有比第一高度低的第二高度；排泄管，与第二表面相邻，并且被构造为排放流自第二表面的流体；以及连接管，使排泄管和排放管互相连接，其中，连接管被构造为提供从排泄管排放到排放管的流体。
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