[实用新型]一种机械手臂、机械手及传送设备有效
申请号: | 201320226034.3 | 申请日: | 2013-04-28 |
公开(公告)号: | CN203185356U | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 陈磊;王威;代伍坤;安杨 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | B25J18/00 | 分类号: | B25J18/00;B25J19/00;H01L21/677 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种机械手臂、机械手即传送设备,其中机械手臂包括机械手臂本体,所述机械手臂本体上具有至少一个导电支撑组件,每一个所述导电支撑组件包括导电支撑垫和与所述导电支撑垫电性连接的金属部。由于上述机械手中导电支撑组件的导电支撑垫由导电材料制备,且每一个上述导电支撑组件中具有与导电支撑垫电性连接的金属部,因此,玻璃基板与支撑组件的导电支撑垫之间因摩擦产生静电时,与导电支撑垫电性连接的金属部可以将导电支撑垫内的静电荷导入金属部,减少导电支撑垫内的电荷量,进而降低静电对玻璃基板中半导体电路的影响,提高产品质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 机械 手臂 机械手 传送 设备 | ||
【主权项】:
一种机械手臂,包括机械手臂本体,其特征在于:所述机械手臂本体上具有至少一个导电支撑组件,每一个所述导电支撑组件包括导电支撑垫和与所述导电支撑垫电性连接的金属部。
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