[实用新型]一种机械手臂、机械手及传送设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，特别涉及一种机械手臂、机械手及传送设备。

背景技术

在半导体加工业中，一些半导体加工中的被加工物件与半导体传动设备的机械手之间不适合采用真空吸附的方式来保持被加工物件与机械手之间的相对静止，只能采用摩擦方式来保持被加工物件与传动设备的机械手之间的相对静止，例如：在柔性玻璃基板上制作电路等。

以TFT（Thin Film Transistor，薄膜晶体管）阵列基板的加工过程为例，阵列基板的玻璃基板在传送设备中的传动靠机械手完成；传送设备中的机械手不能像普通机械手一样靠真空吸附使玻璃基板与机械手相对静止，机械手只能靠其机械手臂上设置的橡胶等材质制备的支撑组件与玻璃基板的表面产生摩擦力，依靠摩擦力使玻璃基板与机械手之间保持相对静止。

如图1所示，机械手包括支架03、安装在支架03上的两个机械手臂01、每一个机械手臂01上安装的多个支撑组件02。

如图2所示，现有技术中的机械手中，每一个支撑组件02包括用于支撑玻璃基板04的支撑台021和朝向机械手臂01一侧凸起的安装部022，安装部022内嵌机械手臂01上设置的嵌孔中，实现支撑组件02与机械手臂01之间的固定。

支撑组件02的制备材质为绝缘材料，且支撑组件02用于支撑玻璃基板04的支撑台021的支撑面的表面粗糙，与玻璃基板04接触时产生足够大的摩擦力。在机械手带动玻璃基板04运动时候，支撑台021与玻璃基板04之间的摩擦力使玻璃基板04与机械手臂01之间保持相对静止。

随着支撑台021的支撑面与玻璃基板04之间的摩擦，支撑台021的支撑面表面会逐渐变得光滑，支撑台021的支撑面与玻璃基板04之间的摩擦力会随之减小，在移动过程中玻璃基板04与支撑台021之间会产生细微的位移，随之会产生静电。支撑组件02与玻璃基板04之间瞬间产生的静电会对玻璃基板04上的半导体电路产生巨大影响，进而影响产品的质量。

实用新型内容

本实用新型提供了一种机械手臂、机械手和传送设备，当机械手臂的支撑组件与玻璃基板摩擦产生的静电时，机械手臂能够对静电荷进行存储，降低静电对玻璃基板中的半导体电路的影响，提高产品的质量。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种机械手臂，包括机械手臂本体，所述机械手臂本体上具有至少一个导电支撑组件，每一个所述导电支撑组件包括导电支撑垫和与所述导电支撑垫电性连接的金属部。

优选地，所述导电支撑垫包括支撑台，所述支撑台朝向所述机械手臂本体一侧凸起形成安装部，所述安装部固定于所述机械手臂本体，所述金属部包括安装于所述机械手臂本体的第一金属块和第二金属块；其中,

所述第一金属块位于所述机械手臂本体朝向所述支撑台一侧，所述第一金属块与所述安装部电性连接；

所述第二金属块位于所述机械手臂本体背离所述支撑台一侧，所述第二金属块与所述安装部电性连接。

优选地，所述第一金属块具有沿与所述支撑台的支撑面平行方向延伸的第一延伸部，所述第二金属块具有沿与所述支撑台的支撑面平行方向延伸的第二延伸部。

优选地，所述第一金属块固定于所述机械手臂本体，所述第一金属块背离所述支撑手臂本体的一面与所述支撑台朝向所述机械手臂本体的一面相抵；所述第二金属块固定于所述机械手臂本体，且第二金属块具有固定孔；所述第一金属块和所述机械手臂本体具有通孔，所述安装部贯穿所述通孔，且固定于所述固定孔。

优选地，所述第一金属块和所述第二金属块均固定于所述机械手臂本体；所述机械手臂本体具有通孔，所述第一金属块和所述第二金属块具有与所述通孔同轴设置的螺纹孔，所述安装部与所述螺纹孔螺纹配合。

优选地，所述第一金属块和所述第二金属块均固定于所述机械手臂本体；所述机械手臂本体具有螺纹孔，所述第一金属块和第二金属块具有与所述螺纹孔同轴设置的通孔，所述安装部与所述螺纹孔螺纹配合，且贯穿所述第一金属块和第二金属块的通孔，所述第一金属块的通孔内壁与所述安装部的周面电性连接，所述第二金属块的通孔的内壁与所述安装部的周面电性连接。

优选地，所述导电支撑垫包括具有支撑面的支撑台，所述支撑台朝向所述机械手臂本体一侧凸起形成安装部；所述金属部包括所述支撑台朝向所述机械手臂本体一侧且与所述支撑台平行的延伸部、和凸向背离所述支撑台一侧的固定部；所述金属部具有固定所述安装部的固定孔，且所述固定部固定于所述机械手臂本体。