[发明专利]一种有机发光显示器件的阵列基板及其制备方法

摘要

本发明公开了一种有机发光显示器件的阵列基板及其制备方法。该阵列基板，薄膜晶体管区的源/漏极与焊盘区的端子焊盘由同一导电层形成，该导电层为多层复合层结构，其从下至上包括底层、中间层和顶层，底层是导电金属氮化物或金属中的一种或多种构成的单层或多层结构，中间层是由金属中的一种或多种构成的单层或多层结构，顶层是导电金属氮化物中的一种或几种构成的单层或多层结构。本发明的端子焊盘与源/漏极由同一具有多层结构的导电层形成，在不影响导电效果的前提下，避免端子焊盘短路或短路，且端子焊盘的边缘在平坦化层内，避免腐蚀。

主权项

一种有机发光显示器件的阵列基板，包括薄膜晶体管区和焊盘区，其特征在于，薄膜晶体管区的源/漏极与焊盘区的端子焊盘由同一导电层形成，该导电层为多层复合层结构，其从下至上包括底层、中间层和顶层，底层是导电金属氮化物或金属中的一种或多种构成的单层或多层结构，中间层是由金属中的一种或多种构成的单层或多层结构，顶层是导电金属氮化物中的一种或几种构成的单层或多层结构。