[发明专利]用等离子体增强化学气相沉积在长管内表面沉积薄膜方法

摘要

本发明属于材料表面改性领域，涉及一种用等离子体增强化学气相沉积在长管内表面沉积薄膜的方法，解决现有PECVD方法在管内轴向等离子体放电的不均匀性，而且直接造成管内表面轴向薄膜沉积均匀性差等问题。在待处理的细长金属管置于管型真空室内，在金属管状工件的中心轴向放置一钨丝电极，向金属管内通入工作气体，在钨丝电极与真空室壁之间施加直流脉冲或射频信号，激励放电以产生等离子体。在真空室外缠绕漆包线构成电磁线圈，电磁线圈接直流稳压电源以产生电磁场。利用磁场对等离子体束流进行约束和控制，从而实现等离子体在管内壁均匀沉积薄膜的目的，适用于作为服役表面的管状工件的内壁表面镀膜。

主权项

一种用等离子体增强化学气相沉积在长管内表面沉积薄膜方法，其特征在于，将待处理的金属管状工件置于管型真空室内，在金属管状工件的中心轴向设置一钨丝电极，钨丝电极两端通过真空室密封法兰引出，在钨丝电极与真空室壁之间连接直流脉冲电源或射频电源，不仅激励放电以产生等离子体，还在管内部建立偏压电场，对等离子体进行加速以提高膜基结合力；在真空室外缠绕漆包线构成电磁线圈，电磁线圈连接直流稳压电源以产生电磁场；利用磁场和电场对等离子体的约束和控制，从而实现等离子体在金属管状工件内壁沉积薄膜的目的。