[发明专利]共用真空系统的双腔真空装载腔

摘要

共用真空系统的双腔真空装载腔，主要解决现有的真空工艺腔室的结构复杂、装调难度高和生产效率不高的技术问题。它主要由腔体组件、晶圆支架组件、底部法兰组件及透明盖板构成。上述底部法兰组件，包括底部法兰、气体扩散器、真空计、真空角阀及真空管路，底部法兰的一面为密封面，用O型圈密封于腔体底部的共用真空室的下方，底部法兰的另一面开孔用螺钉分别连接气体扩散器、真空计、真空角阀、真空管路，同样使用O型圈密封，真空角阀通过真空管路连接至泵组，气体扩散器连接氮气管路，形成共用真空室。本发明具有结构合理，机加工艺简单，成本低廉，双腔共用真空腔室，容积小，抽真空与回填大气的时间和成本与同类产品相比大幅减小的特点。

主权项

共用真空系统的双腔真空装载腔，主要由腔体组件、晶圆支架组件、底部法兰组件及透明盖板构成，上述晶圆支架组件，包括晶圆支架和晶圆支架托盘，晶圆支架具有与晶圆外径相吻合的圆形弧面用来固定晶圆，两层或多层晶圆支架用螺钉紧固于晶圆支架托盘上，晶圆支架托盘用螺钉紧固在腔室的底面；上述透明盖板用螺钉紧固在腔室上，用O型圈密封，其特征在于：上述腔体组件包括：腔体、真空闸板阀和大气闸板阀，腔体由一块铝材加工而成，从上向下加工两个腔室，前后贯通加工出晶圆传输孔道，自下向上加工出共用真空室连通两个腔室，共用真空室与腔室相贯形成连通孔道，真空闸板阀和大气闸板阀分别安装在晶圆传输孔道两端，用O型圈密封；上述底部法兰组件，包括底部法兰、气体扩散器、真空计、真空角阀及真空管路，底部法兰的一面为密封面，用O型圈密封于腔体底部的共用真空室的下方，底部法兰的另一面开孔用螺钉分别连接气体扩散器、真空计、真空角阀、真空管路，同样使用O型圈密封，真空角阀通过真空管路连接至泵组，气体扩散器连接氮气管路，形成共用真空室。