[发明专利]有机氨基硅烷前体及其制备和使用方法

摘要

本文描述了可用于沉积包含硅的含硅薄膜的有机氨基硅烷前体和制备这些前体的方法。本文还公开了制备含硅薄膜或者使用本文所述的有机氨基硅烷前体制备含硅薄膜的方法。本文还公开了可以例如，用于向反应器中传输有机氨基硅烷前体以沉积含硅薄膜的包含有机氨基硅烷前体或其组合物的容器。

主权项

1.一种由下式A、B或C之一表示的有机氨基硅烷：其中R独立地选自C₁-C₁₀直链或支链的烷基；C₃-C₁₀环烷基；C₅-C₁₀芳基；C₃-C₁₀饱和或不饱和的杂环基；直链或支链C₂-C₁₀烯基；C₁-C₁₀烷氧基；C₁-C₁₀烷基氨基；或在式C中具有或不具有取代基的甲硅烷基；其中R¹独立地选自C₃-C₁₀直链或支链的烷基；C₃-C₁₀环烷基；C₅-C₁₀芳基；C₃-C₁₀饱和或不饱和的杂环基；氢原子；直链或支链C₂-C₁₀烯基；C₁-C₁₀烷氧基；C₁-C₁₀烷基氨基；或者具有取代基的甲硅烷基；其中R²表示单键；饱和或不饱和的、直链或支链的、取代或未取代的碳原子数目为1-10的烃链；饱和的或不饱和的碳环或杂环；SiR₂；或者SiH₂；和其中在式A中的R和R¹也可结合以形成环状基团且其中式C中的R、R¹和R²的任一个或多个也可结合以形成环状基团。