[发明专利]靶材组件的制作方法有效
| 申请号： | 201110445396.7 | 申请日： | 2011-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN102534517A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 潘杰;姚力军;王学泽;潘靖 | 申请（专利权）人： | 余姚康富特电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23F1/20;C23G1/12;C23C18/00;C23C22/66;B23K1/00;B23P17/00;B24C1/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种靶材组件的制作方法，其包括以下步骤：提供铝靶材；对铝靶材表面进行酸蚀处理；对铝靶材表面进行第一次酸洗处理；对铝靶材表面进行第一次浸锌处理；对铝靶材表面进行第二次酸洗处理；对铝靶材表面进行第二次浸锌处理；利用化学镀工艺，在铝靶材表面上形成金属镀层；将形成有金属镀层的铝靶材焊接至背板，以形成靶材组件。本发明在将铝靶材与背板焊接之前，包括对铝靶材表面进行酸蚀处理、两次酸洗处理、两次浸锌处理，使得化学镀工艺中形成的金属镀层与铝靶材表面具有更好的结合力。然后再利用金属镀层作为中间媒介，使得铝靶材与背板焊接后实现二者的牢固结合，具有较高的结合强度。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 制作方法 | ||
【主权项】：
一种靶材组件的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：提供铝靶材；对所述铝靶材表面进行酸蚀处理；对经过所述酸蚀处理后的铝靶材表面进行第一次酸洗处理；对经过所述第一次酸洗处理后的铝靶材表面进行第一次浸锌处理；对经过所述第一次浸锌处理后的铝靶材表面进行第二次酸洗处理；对经过所述第二次酸洗处理后的铝靶材表面进行第二次浸锌处理；利用化学镀工艺，在经过所述第二次浸锌处理后的铝靶材表面上形成金属镀层；将形成有金属镀层的铝靶材焊接至背板，以形成靶材组件。
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