[实用新型]一种等离子体化学气相沉积设备的运载小车有效
| 申请号： | 200920094712.9 | 申请日： | 2009-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN201598330U | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | 杨继泽;刘万学;张兵;王巍;程明辉;赵松雪;李宇;钟福建 | 申请（专利权）人： | 吉林庆达新能源电力股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;H01L31/18 |
| 代理公司： | 吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204 | 代理人： | 石岱 |
| 地址： | 136001 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种等离子体化学气相沉积设备的运载小车，该运载小车包括运载小车主体、固定齿条、运转轴承、电池挂片箱，所述的固定齿条设置在运载小车主体的上面中间位置，多个运转轴承均布设置在运载小车主体的两侧，电池挂片箱设置在运载小车主体的下面。它具有能够稳定运输电池片、进而保证沉积PIN层的均匀性等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 化学 沉积 设备 运载 小车 | ||
【主权项】：
一种等离子体化学气相沉积设备的运载小车，其特征在于：该运载小车包括运载小车主体(1)、固定齿条(2)、运转轴承(3)、电池挂片箱(4)，所述的固定齿条(2)设置在运载小车主体(1)的上面中间位置，多个运转轴承(3)均布设置在运载小车主体(1)的两侧，电池挂片箱(4)设置在运载小车主体(1)的下面。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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