[发明专利]穿过高密度互连HDI衬底材料上的电介质涂层形成固体盲孔的方法无效
申请号: | 200880024740.1 | 申请日: | 2008-05-19 |
公开(公告)号: | CN101743786A | 公开(公告)日: | 2010-06-16 |
发明(设计)人: | K·C·奥尔森;A·E·王 | 申请(专利权)人: | PPG工业俄亥俄公司 |
主分类号: | H05K3/46 | 分类号: | H05K3/46 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 申发振 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明提供了一种方法,其包括如下步骤:将第一可去除材料涂敷在导电核芯(10)上;在第一可去除材料中制作开口,以使导电核芯的部分暴露;将导电材料(34)镀敷到导电核芯的暴露部分上;将第二可去除材料涂敷在所述导电材料上;除去第一可去除材料;用电泳法将电介质涂层(44)涂敷在导电核芯上;以及除去第二可去除材料。 | ||
搜索关键词: | 穿过 高密度 互连 hdi 衬底 材料 电介质 涂层 形成 固体 方法 | ||
【主权项】:
一种方法,包括如下步骤:将第一可去除材料涂敷在导电核芯上;在所述第一可去除材料中制作开口,以使所述导电核芯的一部分暴露出来;将导电材料镀敷到所述导电核芯的暴露部分上;将第二可去除材料涂敷在所述导电材料上;除去所述第一可去除材料;用电泳法将电介质涂层涂敷在所述导电核芯上;以及除去所述第二可去除材料。
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