[实用新型]一种用于电子组装故障检测的X射线检测装置

摘要

本实用新型涉及一种用于电子组装故障检测的X射线检测装置，包括微焦斑X射线发生装置、二维调节操作台、高分辨率X射线像增强器和CCD摄像机，高分辨率X射线像增强器包括铝窗、可伐合金环、对X射线敏感的反射式光电阴极、微通道板、输出窗、陶瓷外壳；铝窗及其四周的可伐合金环、输出窗及其四周的可伐合金环、陶瓷外壳通过铝焊剂封接成真空器件，反射式光电阴极和微通道板设置在真空器件内，输出窗内表面涂敷有荧光粉层。本实用新型解决了采用自动X射线检测技术的检测装置获取的图像分辨率低，体积大，成本高的缺点，具有分辨率高、体积小、性价比高、成像清晰、操作简便的优点。

主权项

1.一种用于电子组装故障检测的X射线检测装置，包括X射线发生装置(21)、X射线成像系统(23)，所述X射线成像系统(23)包括高分辨率X射线像增强器、CCD摄像机(27)和图像软件处理系统(24)，其特征在于：所述高分辨率X射线像增强器包括电源(25)、输入窗(1)、对X射线敏感的光电阴极(3)、微通道板组件、输出窗(9)、增强器内壳(10)以及增强器外壳(28)；所述输入窗(1)、输出窗(9)以及增强器内壳(10)封接成真空密封件(12)；所述增强器内壳(10)包括依次轴向连接的封接环(16)、陶瓷外壳(14)以及输出窗金属外壳(15)；所述输入窗(1)为密封固定在封接环(16)前端中间的金属窗(20)；所述真空密封件(12)设置在增强器外壳(28)内；所述微通道板组件设置在输入窗(1)和输出窗(9)之间；所述光电阴极(3)蒸镀在微通道板组件上；所述输出窗(9)密封固定在输出窗金属外壳(15)上；所述输出窗(9)包括荧光屏(11)、设置在荧光屏(11)内表面的荧光粉层(8)、设置在荧光粉层(8)外的铝膜(7)。