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[发明专利]一种一体式的窄边框光电探测器及其制作方法-CN202110459048.9有效
发明人：陈萍;赛小锋;田进寿;刘虎林;李少辉;王俊锋;缑永胜;徐向晏;高贵龙;李知兵;张敏睿;王兴;何凯;刘百玉 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2021-04-27 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： H01J43/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种一体式的窄边框光电探测器及其制作方法，可用于微光探测、粒子探测与核辐射探测等领域，解决了现有技术中真空光电探测器件圆形结构难以提高有效探测面积比，且微通道板电子倍增器组件采用焊接，因绝缘垫片过薄，导致绝缘性变差的技术问题。该一体式的窄边框光电探测器包括阴极窗、光电阴极、微通道板电子倍增器、绝缘管壳、电荷收集阳极、电极引线以及铟封槽。同时，本发明还提出了一体式的窄边框光电探测器的制作方法，具有探测效率高、有效探测面积比大、结构紧凑、易加工制作等优点。
一种体式边框光电探测器及其制作方法

[发明专利]一种基于硅电子倍增器的混合型大面积光电倍增管-CN202010953334.6有效
发明人：陈萍;田进寿;郭乐慧;王兴;赛小锋;刘虎林;缑永胜;刘百玉;何凯;高贵龙;张敏睿;薛彦华;王俊锋;徐向晏 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2020-09-11 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H01J43/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种光电倍增管，具体涉及一种基于硅电子倍增器的混合型大面积光电倍增管，旨在解决现有光电倍增管响应时间较慢、制作装配流程复杂，加载电压过高致使高压器件负担增大，以及增大聚焦电极结构尺寸导致装配难度大等问题。该光电倍增管包括玻璃外壳、光电阴极、聚焦电极、硅电子倍增器以及电极引线，所述玻璃外壳为真空腔体，光电阴极沉积于玻璃外壳的入射端内表面，聚焦电极与硅电子倍增器置于所述真空腔体沿入射光方向的中心轴上。本发明采用工作于盖革模式下的硅电子倍增器可获得较好的单光子信号探测能力，采用金属圆盘聚焦、单级或多级静电聚焦电极结构可实现光电子的有效收集和提高大面积PMT探测效率。
一种基于电子倍增器混合大面积光电倍增管

[发明专利]全太赫兹驱动的电子束操纵和表征系统及方法-CN202011059398.8有效
发明人：陈萍;田进寿;李杭;王兴;赛小锋;缑永胜;何凯;刘百玉;刘虎林;高贵龙;张敏睿;薛彦华;王俊峰;徐向晏;汪滔;辛丽伟 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： H05H15/00 文献下载
摘要：本发明涉及超快诊断技术，具体涉及一种全太赫兹驱动的电子束操纵和表征系统及方法，以解决现有的条纹相机存在时间分辨率低、结构复杂和稳定性差的问题。本发明所采用技术方案为：全太赫兹驱动的电子束操纵和表征系统包括飞秒激光器、紫外激光脉冲发生装置、第一反射镜、分束镜、单周期太赫兹发生装置、第二反射镜、多周期太赫兹发生装置、相机、真空腔室、以及在真空腔室中沿光路依次设置的直流加速系统、开孔离轴抛物面镜、太赫兹电子束操纵系统、太赫兹偏转系统和荧光屏；本发明还提供了一种全太赫兹驱动的电子束操纵和表征方法。
赫兹驱动电子束操纵表征系统方法

[发明专利]一种超小型干涉式超快X射线光纤探测器-CN201910688752.4有效
发明人：何凯;高贵龙;闫欣;李少辉;田进寿;汪韬;辛丽伟;尹飞;韦永林;徐向晏;王兴;刘虎林;陈萍;温文龙;王俊峰;赛小锋;卢裕 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： G01T1/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种超小型干涉式超快X射线光纤探测器。该探测器体积小、时间分辨率高、抗电磁干扰强。其主要包括套筒、金属铍窗、半导体超快探测芯片、GRIN透镜、单模光纤以及光纤环形器；套筒内沿着探测光的方向依次同轴设置有GRIN透镜、半导体超快探测芯片以及金属铍窗；半导体超快探测芯片包括半导体晶体以及分别镀设在半导体晶体前、后表面的反射膜；两片反射膜与半导体晶体组成了一个法布里‑波罗干涉腔；单模光纤的一端为尾纤，尾纤同轴设置在GRIN透镜上，另一端与所述光纤环形器的第二端口连接；所述光纤环形器的第一端口与外部可调谐激光器连接，所述光纤环形器的第三端口与外部高速光电探测系统连接。
一种超小型干涉式超快射线光纤探测器

[发明专利]一种自适应扩展光电倍增管动态范围的方法-CN201910526936.0有效
发明人：刘虎林;温文龙;吕沛;徐向晏;田进寿;赛小锋;韩彪;何凯;何建平;王俊锋;韦永林;卢裕;王兴;陈萍;高贵龙;辛丽伟 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2019-06-18 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：为解决目前通用型光电倍增管由于电子倍增以及传输过程中电子总数过大，而制约光电倍增管动态范围的问题，本发明提供一种自适应扩展光电倍增管动态范围的方法。本发明根据探测光强度自适应调整进入到电子倍增系统的电子数目，使得电子倍增系统处于线性输出工作状态，因此扩大了光电倍增管对于探测光强的动态范围，其范围可以提升原来数值的10倍以上。
一种自适应扩展光电倍增管动态范围方法

[发明专利]一种自适应大动态范围光电倍增管-CN201910526955.3有效
发明人：刘虎林;辛丽伟;徐向晏;田进寿;赛小锋;吕沛;韩彪;何建平;王俊锋;韦永林;卢裕;温文龙;王兴;陈萍;何凯;高贵龙 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2019-06-18 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： H01J43/04 文献下载
摘要：为解决目前通用型光电倍增管由于电子倍增以及传输过程中电子总数过大，而制约光电倍增管动态范围的问题，本发明提供一种自适应大动态范围光电倍增管。本发明通过在光电阴极与电子倍增系统之间设置漂移电极和调制电极，将光电阴极与电子倍增系统之间的空间划分为三部分：电子漂移区、电子调制区以及电子加速区；电子漂移区控制电子的电子渡越时间，以保证调制电压产生模块可以产生稳定输出；电子调制区实现对电子数目的筛选，线性控制进入电子倍增系统的电子数目，使得电子倍增系统处于线性输出工作状态，因此扩大了光电倍增管对于探测光强的动态范围。
一种自适应动态范围光电倍增管

[发明专利]倒像式像增强型超快成像探测器-CN201910688741.6在审
发明人：田进寿;何凯;高贵龙;汪韬;闫欣;辛丽伟;李少辉;尹飞;韦永林;徐向晏;卢裕;王兴;刘虎林;陈萍;温文龙;王超;王俊峰;赛小锋 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本发明涉及一种倒像式像增强型超快成像探测器，克服了现有的双近贴结构中半导体芯片容易真空击穿的问题。该探测器包括外壳、输入窗口、输出窗口、光电阴极、第一静电聚焦电极、微通道板、第二静电聚焦电极和半导体探测芯片；外壳的两端分别设置有输入窗口以及输出窗口；输入窗口内表面镀有一层导电薄膜，光电阴极制作于导电薄膜上；半导体探测芯片紧贴输出窗口内表面设置；光电阴极与半导体探测芯片之间依次设置有第一静电聚焦电极、微通道板以及第二静电聚焦电极；第一静电聚焦电极和第二静电聚焦电极相同；微通道板的输入面和输出面加载工作电压。
静电聚焦电极半导体探测光电阴极输出窗口输入窗口微通道板导电薄膜内表面芯片半导体芯片成像探测器工作电压芯片紧贴依次设置输出面输入面增强型倒像探测器击穿加载制作

[发明专利]一种日盲紫外像增强器空间分辨率测试装置及方法-CN201610953657.9有效
发明人：韦永林;赛小锋;田进寿;卢裕;王兴;徐向晏;刘虎林 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2016-11-03 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种色差小、球差小、加工简单、易装调、结构紧凑、操作简单的日盲紫外像增强器空间分辨率测试装置，解决了现有装置球差较大，非球面镜加工、检验比较困难，系统装调难度较大的问题。测试装置包括依次设置的紫外光源、毛玻璃片、分辨率测试靶、第一平行光管、紫外窄带滤光片、光阑、第二平行光管、日盲紫外像增强器、显微镜，还包括管状壳体、支座、导轨和多维调节架；显微镜和日盲紫外像增强器设置于多维调节架上，多维调节架设置于支座上，支座设置于导轨上，用于支撑多维调节架、紫外光源的支座在导轨轴向移动。本发明主要用于日盲紫外像增强器的空间分辨率测试，同时还可以用于紫外条纹变像管等光电器件的空间分辨率测试。
日盲紫外像增强器空间分辨率多维调节架测试装置平行光管紫外光源导轨球差装调显微镜色差分辨率测试窄带滤光片测试多维调节非球面镜管状壳体光电器件毛玻璃片现有装置依次设置支座设置变像管导轨轴条纹光阑加工架设移动支撑检验

[实用新型]一种聚焦扫描型光电倍增管-CN201821095091.1有效
发明人：刘虎林;徐向晏;李学龙;田进寿;吕沛;吴国俊;王兴;辛丽伟;卢裕;陈萍;韦永林;赛小锋;温文龙;裴承全;王俊锋;何凯;王超 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2018-07-11 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： H01J43/06 文献下载
摘要：为解决激光雷达实际探测精度低的技术问题，本实用新型提供了一种聚焦扫描型光电倍增管，通过在光电倍增管的真空容器内设置聚焦系统、扫描系统以及位于聚焦系统的焦点处的电子倍增器集群，使不同电子倍增区域按时序接收信号电子进行倍增与输出，从而使得同一电子倍增区域有足够的电子倍增、电子输出以及性能恢复时间；由于电子倍增器集群的组成单元个数为数十个或者上百个，因此在电子倍增器集群被有效利用时，光电倍增管的采样频率可以在原有基础上提升数十倍或者上百倍，最高可以提升至数十GHz的数量级。
光电倍增管电子倍增器倍增集群聚焦扫描聚焦系统本实用新型采样频率电子输出激光雷达扫描系统信号电子性能恢复真空容器组成单元焦点处探测输出

[发明专利]一种聚焦扫描型光电倍增管-CN201810759342.X在审
发明人：刘虎林;徐向晏;李学龙;田进寿;吕沛;吴国俊;王兴;辛丽伟;卢裕;陈萍;韦永林;赛小锋;温文龙;裴承全;王俊锋;何凯;王超 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2018-07-11 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： H01J43/06 文献下载
摘要：为解决激光雷达实际探测精度低的技术问题，本发明提供了一种聚焦扫描型光电倍增管，通过在光电倍增管的真空容器内设置聚焦系统、扫描系统以及位于聚焦系统的焦点处的电子倍增器集群，使不同电子倍增区域按时序接收信号电子进行倍增与输出，从而使得同一电子倍增区域有足够的电子倍增、电子输出以及性能恢复时间；由于电子倍增器集群的组成单元个数为数十个或者上百个，因此在电子倍增器集群被有效利用时，光电倍增管的采样频率可以在原有基础上提升数十倍或者上百倍，最高可以提升至数十GHz的数量级。
光电倍增管电子倍增器倍增集群聚焦扫描聚焦系统采样频率电子输出激光雷达扫描系统信号电子性能恢复真空容器组成单元焦点处探测输出

[实用新型]选通聚焦型光电倍增管-CN201820185172.4有效
发明人：刘虎林;韦永林;赛小锋;温文龙;裴成权;田进寿;卢裕;王俊锋;徐向晏 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2018-02-02 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： H01J43/06 文献下载
摘要：本实用新型属于光电探测器件技术领域，具体涉及一种选通聚焦型光电倍增管。其结构包括真空容器，真空容器的一端设置输入窗，输入窗的内表面设置阴极，真空容器的另一端设置阳极；所述阴极与阳极之间依次设置有选通电极、聚焦电极和电子倍增器。本实用新型解决了现有的光电探测器件有效探测面积受限的技术问题。本实用新型为一种既具备选通功能又具备电子聚焦功能的光电倍增管。放大倍率聚焦功能使得大面积光电阴极所发射电子可以入射至小尺寸电子倍增器电子收集面，从而提升光电倍增管的探测面积。
光电倍增管本实用新型真空容器选通光电探测器件阴极电子倍增器阳极一端设置聚焦型输入窗有效探测面积电子聚焦电子收集发射电子放大倍率光电阴极聚焦电极聚焦功能依次设置内表面入射受限探测通电

[实用新型]像增强型全光固体超快成像探测器-CN201820203457.6有效
发明人：何凯;田进寿;汪韬;韦永林;徐向晏;卢裕;闫欣;王兴;尹飞;刘虎林;陈萍;温文龙;辛丽伟;王超;王俊锋;赛小锋 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2018-02-02 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本实用新型属于超快诊断技术领域，具体涉及一种像增强型全光固体超快成像探测器。该探测器包括外壳以及真空封装在外壳内部的光电阴极和半导体超快探测芯片；外壳的一端设置输入窗口，外壳的另一端设置输出窗口，所述光电阴极位于靠近输入窗口的一端，所述半导体超快探测芯片位于靠近输出窗口的一端；所述光电阴极和半导体超快探测芯片之间设置有一片或者多片微通道板。本实用新型解决了现有的全光固体超快诊断技术探测灵敏度低的技术问题。结合了基于微通道板的微光像增强技术和基于半导体辐射光学效应的全光固体超快成像技术，通过微通道板的倍增功能和全光固体超快探测芯片的高时间分辨特性，可以实现弱光条件下的高时间分辨成像。
全光超快探测光电阴极微通道板芯片半导体本实用新型成像探测器时间分辨输出窗口输入窗口一端设置诊断技术增强型半导体辐射探测灵敏度成像技术光学效应弱光条件外壳内部真空封装微光探测器多片成像倍增

[发明专利]一种电真空器件熔封装置及方法-CN201710296029.2有效
发明人：卢裕;赵卫;田进寿;王俊锋;徐向晏;赛小锋;韦永林;刘虎林;温文龙;辛丽伟;段东平;郭军杰;张铁;何建平 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2017-04-28 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： H01J9/18 文献下载
摘要：本发明提出一种电真空器件熔封装置及方法，能够减少不可控的工艺环节以及手工操作，提高零件组件产品的一致性和互换性，从而提高电真空光电器件制作的效率及成品率。该熔封装置包括台架、工作台、上模板、升降导柱、火头以及电控单元；所述工作台、升降导柱和火头均定位安装于所述台架的台面上，其中工作台与台架的台面平行，工作台上设置有绝缘子固定槽；所述上模板用于在其下表面固定待熔封的零件，上模板安装于升降导柱上并与工作台平行相对，在驱动机构的作用下能够沿着升降导柱向工作台移动；所述火头布置于工作台两侧对应于绝缘子固定槽，用于对绝缘子加热，火头能够受控偏转使得上模板与工作台合拢的过程中避免干涉相互工作。
一种真空器件装置方法

[发明专利]一种各向异性大动态条纹变像管的装配结构及方法-CN201710295237.0有效
发明人：卢裕;田进寿;赵卫;王俊锋;徐向晏;赛小锋;韦永林;温文龙;刘虎林;辛丽伟 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2017-04-28 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： H01J31/50 文献下载
摘要：本发明提出一种各向异性大动态条纹变像管的装配结构及方法，能够提高各向异性聚焦条纹变像管电子光学系统的装配精度，提高装配效率及合格率，改善条纹管装配的一致性和互换性，从而最终提高条纹管制作效率及成品率。该装配结构由三个单独的模块分别与管壳焊接固定形成，其中：时间预聚焦电极模块主要由G栅极、F1聚焦极和B1消隐电极通过多个绝缘子整体热熔封接形成；空间聚焦电极模块主要由四个QL空间电极组成，这四个QL空间电极沿周向依次相邻、相应地分别通过绝缘子整体热熔封接；时间聚焦电极+偏转板联合模块主要由B2消隐电极、F2聚焦极、A阳极以及两个D偏转板通过多个绝缘子整体热熔封接形成。
一种各向异性动态条纹变像管装配结构方法

[发明专利]位敏阳极探测器及其制作方法-CN201710438625.X有效
发明人：韦永林;赛小锋;刘永安;盛立志 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2017-06-12 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： G01J1/42 文献下载
摘要：本发明涉及光子计数成像探测技术领域，具体涉及一种位敏阳极探测器及其制作方法，该探测器包括带有光电阴极的阴极窗、MCP电子倍增器、位敏阳极和管状壳体，位敏阳极包括阳极绝缘衬底以及设置在阳极绝缘衬底上的金属膜阳极，金属膜阳极由n×n个独立阳极沿水平方向并列排成阳极阵列，每个独立阳极为正方形，相邻的独立阳极之间设有绝缘沟道；各独立阳极电极引线垂直穿过阳极绝缘衬底。通过管状壳体封接、管状壳体化铟、阴极窗金属膜蒸镀、制作阳极绝缘衬底、制作金属膜阳极、装配探测器组件、制作光电阴极、探测器铟封步骤完成该探测器的制作。该探测器动态范围大，既可以工作在单光子入射光条件下，又可以工作在较强的入射光条件下。
阳极探测器及其制作方法

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