[发明专利]缎带状离子束的成形方法有效
| 申请号： | 200680045586.7 | 申请日： | 2006-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN101322217A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 史费特那·B·瑞都凡诺;彼德·L·凯勒曼;维克多·M·本夫尼斯特;罗伯特·C·林德柏格;肯尼士·H·波什;泰勒·B·洛克威尔;詹姆士·史帝夫·贝福;安东尼·雷诺 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/12 | 分类号： | H01J37/12;H01J37/30;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示一种缎带状离子束的成形技术。在一特定例示性实施例中，可将该技术实现为用于缎带状离子束的成形装置。装置可包含具有实质上为矩形的用于使缎带状离子束穿过的孔径的静电透镜，其中多个聚焦元件沿孔径的短边缘而定位，且其中每一聚焦元件经各别地偏压且定向以成形缎带状离子束。 | ||
| 搜索关键词： | 缎带 离子束 成形 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于缎带状离子束的成形装置，包含：具有实质上为矩形的用于使缎带状离子束穿过的孔径的静电透镜，其中多个聚焦元件沿所述孔径的短边缘而定位，且其中每一聚焦元件经各别地偏压且定向以成形所述缎带状离子束。
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- 本发明涉及静电透镜的电极及其制造方法。提供一种用于静电透镜的电极，其中，该电极至少包含：具有第一贯通孔的第一基板和具有第二贯通孔的第二基板；第一基板具有比第二基板小的厚度；第一贯通孔具有比第二贯通孔小的直径，第二基板具有比第一基板小的电阻率，其中，第一基板和第二基板被叠置，使得第一贯通孔和第二贯通孔相互对准。可以减少在干蚀刻处理中在贯通孔中的任一个附近出现的开槽，由此可以精确地形成贯通孔。
- 带电粒子束透镜-201310168505.4
- 盐泽崇史 - 佳能株式会社
- 2013-05-09 - 2013-12-04 - H01J37/12
- 本发明涉及一种带电粒子束透镜。带电粒子束透镜包括板状阳极、板状阴极和设置在阳极与阴极之间的绝缘体。绝缘体、阳极和阴极具有带电束从其中通过的通道部分。高电阻膜在绝缘体的形成通道部分的内侧面或绝缘体的最外侧面上形成，并且，阳极和阴极通过高电阻膜被电连接在一起。阳极和高电阻膜、阴极和高电阻膜分别包含相同的金属或半导体元素并具有不同的电阻值。这抑制由于阳极和阴极与高电阻膜之间的界面处或导电膜与高电阻膜之间的界面处的电阻增加和连接不良导致的电场集中，由此抑制放电的产生。
- 专利分类
