[发明专利]制造液晶显示器件的方法有效
| 申请号： | 200510080275.1 | 申请日： | 2005-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN1766723A | 公开（公告）日： | 2006-05-03 |
| 发明（设计）人： | 文洪万;李树雄;白尚润 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/136 | 分类号： | G02F1/136;H01L21/027;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种制造液晶显示器件的方法。该制造液晶显示器件的方法包括在从以下掩模工艺中选择的一个或两个掩模工艺中执行交叠分区曝光工艺：用于形成选通线的掩模工艺；用于形成有源层的掩模工艺；用于形成源极/漏极的掩模工艺；和用于在钝化层上形成接触孔的掩模工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 液晶显示 器件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造液晶显示器件的方法，包括：执行用于形成选通线的掩模工艺；执行用于形成有源层的掩模工艺；执行用于形成源极/漏极的掩模工艺；执行用于在钝化层上形成接触孔的掩模工艺；从选通线掩模工艺、有源层掩模工艺、源极/漏极掩模工艺、和接触孔掩模工艺中选择一个掩模工艺；以及在所选择的掩模工艺中应用交叠分区曝光工艺，其中交叠分区曝光工艺产生交叠区域。
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