专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于射束系统的惰性气体样本转移-CN202310053462.9在审
  • L·诺瓦克;P·格拉杰克;M·昂科夫斯基 - FEI公司
  • 2023-01-31 - 2023-08-22 - H01J37/20
  • 提供了用于将惰性气体环境内的样本转移到射束系统和从射束系统转移样本的各种方法。在一个示例中,一种样本转移舱包括:容器,该容器被配置为在传送期间储存样本,其中该容器能够在闭合构型和开启构型之间进行调节;惰性气体储存室,该惰性气体储存室耦接到该容器并且被配置为储存惰性气体;和阀,该阀耦接到该惰性气体储存室和该容器,并且被配置为当该容器处于该闭合构型时选择性地允许该惰性气体从该惰性气体储存室流到该容器。以这种方式,样本可在传送期间以及在射束系统真空室通气时保持在惰性气体环境中,从而减少该样本的暴露,并且随后降低该样本的化学反应诸如氧化或氮化的速率。
  • 用于系统惰性气体样本转移
  • [发明专利]用于通过多个带电粒子细束来检查样品的带电粒子束装置-CN202110289843.8在审
  • P·斯泰斯卡尔;B·赛达;P·赫拉温卡;L·诺瓦克;J·斯托普卡 - FEI公司
  • 2021-03-18 - 2021-09-24 - G01N23/203
  • 用于通过多个带电粒子细束来检查样品的带电粒子束装置。本发明涉及一种通过多个带电粒子细束来检查样品的方法。所述方法包括以下步骤:提供样品;提供多个带电粒子细束并将所述多个带电粒子细束聚焦到所述样品上;以及检测响应于所述多个带电粒子细束的所述辐照而从所述样品发出的辐射通量。此处,所述多个带电粒子细束聚焦到所述样品上成为细束图案,其中所述细束图案包括多个间隔开的细束光点,且其中所述细束光点在第一方向上间隔开且相邻细束光点之间的间隔构成细束间光点距离。如本文所定义,所述方法包括以下步骤:使所述细束图案在所述第一方向上移动且移动距离超过所述细束间光点距离而到达多个彼此不同的细束图案位置。通过检测相应的辐射通量,可以将一个或多个样品特征对应至所述样品。
  • 用于通过带电粒子细束来检查样品粒子束装置

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