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[发明专利]用于射束系统的惰性气体样本转移-CN202310053462.9在审
发明人： L·诺瓦克;P·格拉杰克;M·昂科夫斯基 -专利权人： FEI公司
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：提供了用于将惰性气体环境内的样本转移到射束系统和从射束系统转移样本的各种方法。在一个示例中，一种样本转移舱包括：容器，该容器被配置为在传送期间储存样本，其中该容器能够在闭合构型和开启构型之间进行调节；惰性气体储存室，该惰性气体储存室耦接到该容器并且被配置为储存惰性气体；和阀，该阀耦接到该惰性气体储存室和该容器，并且被配置为当该容器处于该闭合构型时选择性地允许该惰性气体从该惰性气体储存室流到该容器。以这种方式，样本可在传送期间以及在射束系统真空室通气时保持在惰性气体环境中，从而减少该样本的暴露，并且随后降低该样本的化学反应诸如氧化或氮化的速率。
用于系统惰性气体样本转移

[发明专利]用于电子显微镜的导光组件-CN202010967585.X在审
发明人： M·昂科夫斯基;M·格里克;J·拉斯科 -专利权人： FEI公司
申请日： 2020-09-15 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： H01J37/29 文献下载
摘要：用于电子显微镜的导光组件。本公开描述了包括有效耦合在一起的电子柱极靴和导光组件的电子显微镜系统的实施例。该导光组件还包含一个或多个检测器，以及具有限压孔的反射镜，来自电子源的电子束穿过该限压孔。所述反射镜还被配置为可以反射光以及收集反向散射的电子和次级电子。
用于电子显微镜组件