专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体器件和制造方法-CN201711275053.4有效
  • 林舜宽;谢佳达;黄成铭;何企伟 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2017-12-06 - 2020-12-11 - H01L27/11521
  • 本发明涉及形成配置为改进邻近的栅极结构之间的介电填充的侧壁间隔件的方法。在一些实施例中,该方法可以通过在第一栅极结构上方和第二栅极结构上方沉积侧壁间隔件材料来实施。对侧壁间隔件材料实施第一蚀刻工艺以形成围绕第一栅极结构的第一中间侧壁间隔件并且形成围绕第二栅极结构的第二侧壁间隔件。在衬底上方形成掩模材料。第一中间侧壁间隔件的一部分从掩模材料向外突出,而第二侧壁间隔件由掩模材料完全覆盖。之后,对第一中间侧壁间隔件的从掩模材料向外突出的一部分实施第二蚀刻工艺以形成凹进至第一栅极结构的最上表面之下的第一侧壁间隔件。本发明的实施例还涉及半导体器件及其制造方法。
  • 半导体器件制造方法
  • [发明专利]分裂式栅极存储单元-CN200710167197.8有效
  • 谢章仁;宋弘政;朱文定;黄成铭;高雅真;刘世昌;罗际兴;喻中一;蔡嘉雄 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2007-11-02 - 2009-05-06 - H01L27/115
  • 本发明提供一种分裂式栅极存储单元,包括沿第一方向形成于半导体衬底上的多个绝缘区域,在两个相邻的绝缘区域之间定义出有源区域,该有源区域具有形成于该半导体衬底中的一对漏极与源极区域。一对浮动栅极设置于该有源区域上,且自对准于所述绝缘区域,其中该对浮动栅极的顶表面与所述绝缘区域的顶表面高度相等。一对控制栅极自对准于该浮动栅极,且沿第二方向设置于该浮动栅极上。源极线沿该第二方向设置于该对控制栅极之间。一对选择栅极沿该第二方向设置于与该对控制栅极相对的外侧侧壁上。本发明可使得浮动栅极自对准于隔离区域或者说绝缘区域以及源极线,从而有助于存储元件的进一步微缩化和集成化。
  • 分裂栅极存储单元

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