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[发明专利]一种自动圆形硅片倒片机-CN201710879428.1在审
发明人：甄辉;齐风;陈小雪;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种自动圆形硅片倒片机，包括机架、第一处理室和第二处理室，第一处理室和第二处理室相对隔离设置，机架中间设置倒片部，倒片部包括第一倒片机构和第二倒片机构，第一倒片机构设置在第一处理室内，第二倒片机构设置在第二处理室内。本发明的有益效果是解决同节距同规格片篮倒片手动操作的不足并且避免了洁净区域片篮与金属区域片篮产生的金属污染问题，自动圆形硅片倒片机，使洁净区与金属区片篮的完全隔离，避免洁净区片篮金属沾污，实现稳定高效产出。
倒片圆形硅片倒片机第一处理室机构设置洁净区金属污染问题室内隔离设置洁净区域金属区域金属沾污完全隔离中间设置金属区节距

[发明专利]一种采用丝网印刷技术进行硅片涂源工艺-CN201710615682.0在审
发明人：李亚哲;王彦君;孙晨光;徐长坡;陈澄;武卫;梁效峰;黄志焕;杨玉聪;李丽娟;钟瑜 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-07-26 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： H01L21/22 文献下载
摘要：本发明提供一种采用丝网印刷技术进行硅片涂源工艺，包括以下步骤：硅片双面减薄：使用腐蚀液对硅片进行双面腐蚀，去除表面损伤层；扩散前处理：对减薄后的硅片依次进行碱处理、溢水清洗、酸清洗、溢水清洗、甩干；印刷扩散源：采用丝网印刷工艺对处理后的硅片一面印刷磷扩散源，另一面印刷硼扩散源或硼铝扩散源；叠片装舟：将硅片硼源面或硼铝源面与硼源面或硼铝源面相对，将磷源面与磷源面相对进行叠片，叠片后放入碳化硅舟中，在前后位置放置挡片。本发明的有益效果是使得在硅片上涂覆扩散源的工艺更加简单，能够实现硅片扩散源涂覆的自动化，节省劳动力，提高了扩散源涂覆的工作效率，且磷源和硼源在硅片上的涂覆一致性好，安全环保。
硅片扩散源叠片磷源硼源涂覆丝网印刷技术硼铝源印刷减薄涂源溢水清洗丝网印刷工艺表面损伤层涂覆一致性安全环保工作效率硅片扩散硅片双面硼铝扩散前后位置双面腐蚀碳化硅舟腐蚀液碱处理磷扩散硼扩散前处理酸清洗挡片放入甩干去除自动化扩散

[发明专利]一种硅片激光制绒工艺-CN201710615674.6在审
发明人：李亚哲;王彦君;孙晨光;徐长坡;陈澄;武卫;梁效峰;黄志焕;杨玉聪;李丽娟;董文一 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-07-26 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：本发明提供一种硅片激光制绒工艺，包括采用玻璃腐蚀液去除扩散后处理的硅片表面的磷、硼硅玻璃；激光双面制绒：清洗后的硅片使用激光在硅片表面扫描；制绒后清洗：采用酸溶液浸泡清洗，酸溶液清洗后进行两级溢水清洗并甩干。本发明的有益效果是采用按一定比例配置的玻璃腐蚀液去除扩散后处理的硅片表面的磷、硼硅玻璃，为激光制绒做好准备，采用激光制绒工艺，其制作过程简便快捷；在制绒过程中不会产生有毒气体，避免了对工人的身体健康和环境带来的不利影响；其能大大提升工艺过程的速度，具有很好的产业化前景；通过激光制绒，在光滑的硅片表面形成凹凸不平的熔融多晶硅，提高硅片表面的粗糙度。
激光硅片表面制绒制绒工艺清洗硅片玻璃腐蚀液后处理硼硅玻璃酸溶液去除凹凸不平扩散比例配置工艺过程浸泡清洗制作过程产业化粗糙度多晶硅两级熔融甩干溢水光滑扫描

[实用新型]一种自动圆形硅片插片机构-CN201721238254.2有效
发明人：甄辉;齐风;尚杰;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种自动圆形硅片插片机构，包括依次设置的分片部、传输部和插片部，其中，分片部用于分离叠在一起的硅片；传输部用于传输分离的硅片；插片部用于将传输而来的硅片插入硅片装载装置。本实用新型的有益效果是解决现有技术中手动分片、插片对硅片造成污染、在作业中易碎片的问题，实现圆形硅片插片的自动化作业。
硅片圆形硅片本实用新型插片机构插片部传输部插片硅片装载装置自动化作业传输易碎依次设置污染

[实用新型]一种硅片装载装置-CN201721238492.3有效
发明人：董文一;陈澄;徐长坡;梁效峰;杨玉聪;甄辉;齐风;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅片装载装置，包括槽棒、第一吊装板和第二吊装板，第一吊装板和第二吊装板分别设置在槽棒的两侧，槽棒上设置片槽，片槽结构为下部具有固定槽的V形槽，固定槽的底部为平面，第一吊装板和第二吊装板的外表面均设置一对凸块，每个凸块上均设置吊钩状吊装口。本实用新型的有益效果是硅片装载装置与全自动设备相配合，实现出入炉时自动化操作，操作人员只需将硅片装载装置按指定方向放置在指定位置，按下设备按钮，自动化程序启动即可，硅片会自动放置在此硅片装载装置上，无需操作员搬运，自动化程度高，提高生产效率。
吊装板硅片装载装置槽棒本实用新型固定槽片槽凸块全自动设备自动化操作自动化程序设备按钮生产效率自动放置出入炉吊钩状吊装口硅片按下搬运自动化配合

[实用新型]一种自动圆形硅片倒片机-CN201721238234.5有效
发明人：甄辉;齐风;杨玉聪;徐长坡;陈澄;梁效峰;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供一种自动圆形硅片倒片机，包括机架、第一处理室和第二处理室，第一处理室和第二处理室相对隔离设置，机架中间设置倒片部，倒片部包括第一倒片机构和第二倒片机构，第一倒片机构设置在第一处理室内，第二倒片机构设置在第二处理室内。本实用新型的有益效果是解决同节距同规格片篮倒片手动操作的不足并且避免了洁净区域片篮与金属区域片篮产生的金属污染问题，自动圆形硅片倒片机，使洁净区与金属区片篮的完全隔离，避免洁净区片篮金属沾污，实现稳定高效产出。
倒片圆形硅片倒片机本实用新型第一处理室机构设置洁净区金属污染问题室内隔离设置洁净区域金属区域金属沾污完全隔离中间设置金属区节距

[实用新型]一种硅片自动分选设备-CN201721246540.3有效
发明人：齐风;甄辉;徐艳超;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2018-05-25 - 主分类号： B07C5/10 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅片自动分选设备，包括依次设置的上料部、检测部和下料部，检测部包括，传输机构：设置在检测部内，用于对硅片进行传输；定位机构：设置在传输机构的起始端，对出片篮的硅片进行定位；表面检测模块：设置在传输机构的侧面和上面，检测硅片表面的外观缺陷；几何参数检测模块：设置在检测部内，测量硅片的厚度；电阻率检测模块：设置在检测部内，测量硅片的电损耗。本实用新型的有益效果是通过集成皮带传输线、外观检测、几何参数检测、电阻率检测和激光打标等功能，实现硅片的自动、高效、准确地分选，有效的提高硅片检测分选的产能，保证硅片根据电阻率、厚度、外观等参数进行自由分选并且降低误检率等优点。
硅片检测传输机构分选几何参数检测自动分选设备本实用新型测量硅片电阻率检测模块传输线电阻率检测表面检测定位机构硅片表面激光打标外观检测外观缺陷依次设置电损耗电阻率起始端误检率下料部产能出片上料皮带侧面传输自由保证

[实用新型]一种硅片生产加工用洒粉装置-CN201721244614.X有效
发明人：董文一;魏文博;张会生;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;甄辉;齐风;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅片生产加工用洒粉装置，包括机台、托盘、夹具机构、升降机构和震动洒粉单元，升降机构设于机台上，升降机构的升降轴与托盘的底部连接，夹具机构设于托盘上方，震动洒粉单元设于夹具机构上方。机台上还设有第一机械手，第一机械手的端部设有吸盘结构。该硅片生产过程中用洒粉装置可在硅片堆叠过程中自动洒粉，防止高温扩散工序过程中粘片，且无需人工洒粉，效率高，省时省力；洒粉装置与上游工艺和下游工艺的连续性更好，自动化程度更高，效率高。
一种硅片生产工用装置

[实用新型]一种硅片水中分片机构-CN201721238278.8有效
发明人：甄辉;齐风;陈小雪;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅片水中分片机构，包括水中供料槽体，水中供料槽体内依次设置定位及升降装置和出水分片装置和摩擦吸着装置，其中，定位及升降装置，用于将叠在一起的硅片定位到指定位置；出水分片装置，用于分离硅片。本实用新型的有益效果是能够实现硅片水中分片的自动化作业，解决现有技术中手动分片、插片对硅片造成污染、在作业中易碎片的问题，具有稳定性高、产能大、节省人员等特点，具有很高的实用价值。
一种硅片水中分片机构

[实用新型]一种自动圆形硅片倒片机构-CN201721238252.3有效
发明人：甄辉;齐风;王浩;徐长坡;陈澄;梁效峰;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供一种自动圆形硅片倒片机构，包括机架、第一倒片部、第二倒片部和传输装置，第一倒片部和第二倒片部相对隔离的设置于机架上，传输装置贯穿于第一倒片部和第二倒片部，用于传送圆形硅片。本实用新型的有益效果是解决同节距同规格片篮倒片手动操作的不足并且避免了洁净区域片篮与金属区域片篮产生的金属污染问题，自动圆形硅片倒片机构，使洁净区与金属区片篮的完全隔离，避免洁净区片篮金属沾污，实现稳定高效产出。
一种自动圆形硅片机构

[实用新型]一种硅片生产用炉体自动上下料机构-CN201721238194.4有效
发明人：牛慧锋;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;甄辉;齐风;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： F27D3/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅片生产用炉体自动上下料机构，包括炉体本体，炉体本体连接设备框架，设备框架上依次设置上料机构、下料机构，上料机构与水平面设置小于10°的倾角，设备框架上设置机械手，用于抓取移载硅片，上料机构、下料机构和机械手均通过控制系统控制，本实用新型的有益效果是采用机械自动化设备替代现有的人工取片，利用设备自动化减少人工作业量及作业强度，作业员可同时兼顾其他设备进行作业，降低了人员数量及人员成本，消除人工作业失误造成的破片率高的损失，亦可避免手动作业造成的硅片污染。
一种硅片生产用炉体自动上下机构

[实用新型]一种自动圆形硅片插片机-CN201721238235.X有效
发明人：甄辉;齐风;李丽娟;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种自动圆形硅片插片机，包括依次设置的插片机构和抓取机构，其中，插片机构，用于将叠放在一起的硅片分离并且将分离的硅片插入并装满硅片装载装置；抓取机构，用于移送满载的硅片装载装置。本实用新型的有益效果是解决现有技术中手动分片、插片对硅片造成污染、在作业中易碎片的问题，实现圆形硅片插片的自动化作业。
一种自动圆形硅片插片机

[实用新型]一种硅片上料装置-CN201721238695.2有效
发明人：董文一;魏文博;王浩;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;甄辉;齐风;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅片上料装置，包括满花篮上料线、花篮翻转机构和空花篮流出线，花篮翻转机构设于满花篮上料线下游一端，花篮翻转机构包括传输机构、水平设置的转动轴和翻转电机，传输机构与转动轴固定连接，翻转电机的输出轴与转动轴连接，花篮翻转机构翻转后的位置位于空花篮流出线的上游端。该装置无需通过人工转移承载花篮将硅片由上一工艺转移至下一工艺，自动流水线工作，自动化程度高，省时省力，生产效率高，并且运行稳定，硅片传送过程稳定。
一种硅片装置

[实用新型]一种圆形硅片装载装置-CN201721238192.5有效
发明人：董文一;陈澄;徐长坡;梁效峰;杨玉聪;甄辉;齐风;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种圆形硅片装载装置，包括硅舟本体、第一挡板和第二挡板，硅舟本体上设置第一卡口和第二卡口，第一挡板与第二挡板分别插入第一卡口和第二卡口内部，第一挡板与第二挡板将硅舟本体依次分隔为第一吊装部、装载部和第二吊装部，第一吊装部与第二吊装部均包括相对设置的两个吊装口，第一挡板上设置半圆形缺口。本实用新型的有益效果是硅片装载装置与全自动设备相配合，实现出入炉时自动化操作，操作人员只需将圆形硅片装载装置按指定方向放置在指定位置，按下设备按钮，自动化程序启动即可，硅片装载装置由一系列自动化机构进行位置变换,硅片将被自动倒片放置,此装载装置被自动放置在桨上，无需操作员搬运，自动化程度高，提高生产效率。
一种圆形硅片装载装置

[实用新型]圆形硅片装载装置-CN201721238491.9有效
发明人：牛慧锋;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;甄辉;齐风;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供圆形硅片装载装置，包括槽棍、第一吊装板和第二吊装板，第一吊装板和第二吊装板分别设置在槽棍两端，槽棍与第一吊装板、槽棍与第二吊装板均采用螺纹连接，第一吊装板和第二吊装板上均设置吊装口，吊装口设置在第一吊装板和第二吊装板的顶部，槽棍上设置片槽，片槽结构为下部具有固定槽的V形槽，固定槽的底部为平面。本实用新型的有益效果是两侧吊装板设置两处吊钩状吊装口，方便硅片装载装置的吊装运输，也能够保证硅片装载装置吊装过程的稳定性，同时留有导水口，装满硅片的硅片装载装置浸水时，减弱水浮力以及水对硅片挤压力，以防硅片被冲出硅片装载装置，致使不必要的损失。
圆形硅片装载装置