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[发明专利]一种调节扩散气氛的一次扩散工艺-CN201711057793.0有效
发明人： 黄志焕;李亚哲;梁效峰;王浩;徐长坡;陈澄;杨玉聪;王晓捧 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-11-01 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： H01L21/22 文献下载
摘要：本发明提供一种调节扩散气氛的一次扩散工艺，包括将涂源后的硅片设于扩散炉中按照扩散曲线进行扩散，在扩散过程中通入一定比例的氮气和氧气。本发明的有益效果是由于采用上述技术方案，通过调节硅片在扩散过程中，尤其是升温过程中氮气与氧气的比例来控制硅片扩散后结深、TRR、硅片表面方块电阻以及后道的正向电压的测试结果，使得硅片更加满足不同使用需求，使得硅片的结深、TRR、硅片表面方块电阻以及后道的正向电压的数值可以有效控制，已得到需要的硅片，使得硅片扩散操作性高，简单方便。
一种调节扩散气氛一次工艺

[发明专利]一种采用印刷工艺制作双向TVS芯片的方法-CN201711057481.X有效
发明人：梁效峰;徐长坡;陈澄;杨玉聪;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-11-01 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： H01L21/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种采用印刷工艺制作双向TVS芯片的方法，制备步骤包括硅片预处理，双面扩散制绒，玻钝印刷制图，金属化和测试分选，其中双面扩散制绒步骤采用双面沉积磷源或双面印刷硼源的方式后进行扩散，并采用湿法制绒或激光制绒，玻钝过程采用印刷的方式进行保护层和玻璃桨的涂布，简化了玻钝过程，增加了制备速率。与传统方法比较，印刷工艺制作双向TVS芯片生产过程规模化、自动化、信息化、少人化；双向TVS芯片产品生产成本低、品质高、一致性高、市场兼容性好；印刷工艺效率高、精度高，替代现有工艺流程中涂覆、镀膜、电泳等工艺，实现自动化少人化生产的同时，提升产品一致性，降低环保、安全风险。
一种采用印刷工艺制作双向 tvs 芯片方法

[发明专利]一种湿法清洗制绒工艺-CN201710615707.7有效
发明人：李亚哲;王彦君;孙晨光;徐长坡;陈澄;武卫;梁效峰;黄志焕;杨玉聪;李丽娟;朱建佶 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-07-26 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种湿法清洗制绒工艺，包括采用高温水蒸气和氢氟酸去除扩散后处理的硅片表面的磷、硼硅玻璃和在去除磷、硼硅玻璃的硅片表面湿法制绒。本发明的有益效果是采用高温水蒸气和氢氟酸去除扩散后处理的硅片表面的磷、硼硅玻璃，为湿法制绒做好准备，更加利于后续湿法制绒过程，利于制绒时硅片与腐蚀液的接触反应；同时，采用湿法制绒工艺，制得的硅片表面粗糙度增大，利于硅片后续玻钝工艺保护层的涂覆，使得玻钝工艺中保护层涂覆时附着力增加。
一种湿法清洗工艺

[发明专利]一种硅片一次负压扩散工艺-CN201710615675.0有效
发明人：李亚哲;王彦君;孙晨光;徐长坡;陈澄;武卫;梁效峰;黄志焕;杨玉聪;李丽娟;朱建佶 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-07-26 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： H01L21/228 文献下载
摘要：本发明提供一种硅片一次负压扩散工艺，包括如下步骤：对双面减薄后的硅片进行扩散前处理，处理后的硅片进行印刷扩散源，采用丝网印刷工艺对处理后的硅片一面印刷磷扩散源，另一面印刷硼扩散源或硼铝扩散源；将硅片相同扩散源的面相对进行叠片装舟；在扩散炉内进行低压扩散并进行扩散后处理。本发明的有益效果是采用丝网印刷工艺在硅片两面分别印刷磷扩散源、硼扩散源或硼铝扩散源，使得硅片液态源的涂覆流程得到简化，且加工周期得以缩减；液态源涂覆后采用一次负压扩散工艺，减轻硅片边缘返源情况，且该扩散工艺步骤简化，提高了扩散效率；采用该工艺方法进行硅片液态源一次扩散，使得制作的PN结均匀，使得硅片的加工成本降低。
一种硅片一次扩散工艺

[发明专利]一种冷水慢提拉清洗硅片工艺-CN201811581896.1在审
发明人： 黄志焕;徐长坡;陈澄;李亚哲;王晓捧;陈凯;梁效峰;杨玉聪;魏文博 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2018-12-24 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：一种冷水慢提拉清洗硅片工艺，包括以下步骤：将盛有硅片的花篮放在湿法设备上；启动湿法设备，对硅片进行初步清洗；初步清洗后的硅片运行到慢提拉槽中，慢提拉槽中含有常温水，使用常温水对硅片进行快排清洗；将盛有快排清洗后硅片的花篮从慢提拉槽中提起到最高点；将花篮放在烘干槽中进行烘干。本发明具有的优点是：慢提拉槽对硅片进行快排清洗，能够减少硅片表面的杂质，提高硅片的质量和成品率，使用冷水对硅片进行清洗，可以减少热能的消耗，减少生产成本。
一种冷水慢提拉清洗硅片工艺

[发明专利]一种扩散磷源的制备方法-CN201810620685.8在审
发明人：陈凯;徐长坡;陈澄;梁效峰;李亚哲;黄志焕;杨玉聪 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2018-06-15 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： H01L21/228 文献下载
摘要：本发明提供一种扩散磷源的制备方法，包括以下步骤：S1：配置磷酸二氢铵溶液；S2：在磷酸二氢铵饱和溶液中加入增粘剂进行混合。本发明的有益效果是由于采用上述技术方案，能够配置硅片扩散时所使用的扩散磷源，制备工艺简单，便于操作，且原材料易取得，降低生产成本，提高硅片扩散质量，采用该扩散磷源的制备方法制备的扩散磷源，N面方块电阻较小，符合工艺要求，且其合格率较高，生产成本较低。
磷源制备扩散磷酸二氢铵硅片扩散饱和溶液方块电阻工艺要求制备工艺增粘剂配置生产成本合格率

[发明专利]一种减少电泳法玻璃钝化工艺玻璃点的方法-CN201711059154.8在审
发明人：王晓捧;史丽萍;梁效峰;张庆东;徐长坡;陈澄;杨玉聪;李亚哲;黄志焕;王宏宇;王鹏 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-11-01 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种减少电泳法玻璃钝化工艺玻璃点的方法，包括在对硅片进行氧化之前使用混酸对硅片进行清洗，混酸为体积比为硝酸：氢氟酸：冰乙酸：水为4‑8:1‑3:1‑3:1‑5的混合溶液，还包括在对硅片进行氧化之后涂胶之前转移硅片的过程中不接触硅片的表面，其中对硅片使用混酸清洗5‑30s。该方法可以大大减少电泳法玻璃钝化工艺玻璃点，提高产品外观和性能的效果。
硅片玻璃钝化工艺玻璃电泳法混酸清洗产品外观混合溶液冰乙酸不接触氢氟酸体积比硝酸涂胶

[发明专利]一种硅片的玻璃烧成工艺-CN201711057812.X在审
发明人：王晓捧;王宏宇;梁效峰;钟瑜;徐长坡;陈澄;杨玉聪;李亚哲;黄志焕 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-11-01 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： H01L21/3105 文献下载
摘要：本发明提供一种硅片的玻璃烧成工艺，包括对涂覆玻璃浆料后的硅片依次进行预烧成和烧成，预烧成包括：第一步、将硅片升温至100‑300℃并保持一段时间，第二步、将硅片升温至500‑600℃并保持一段时间，烧成包括：第一步、将硅片升温至600‑700℃并保持一段时间，第二步、将硅片升温至750‑850℃并保持一段时间。该玻璃烧成工艺可以有效的控制硅片的玻璃烧成过程，防止升温过程控制不当使烧成过程中玻璃不定型，槽内玻璃流动到电极面表面，影响半导体材料的外观及影响后续工艺的进行。
硅片烧成玻璃烧成工艺预烧影响半导体后续工艺升温过程涂覆玻璃电极面内玻璃浆料定型流动

[发明专利]一种硅片生产用炉体自动上下料机构-CN201710879180.9在审
发明人：牛慧锋;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;甄辉;齐风;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： F27D3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种硅片生产用炉体自动上下料机构，包括炉体本体，炉体本体连接设备框架，设备框架上依次设置上料机构、下料机构，上料机构与水平面设置小于10°的倾角，设备框架上设置机械手，用于抓取移载硅片，上料机构、下料机构和机械手均通过控制系统控制，本发明的有益效果是采用机械自动化设备替代现有的人工取片，利用设备自动化减少人工作业量及作业强度，作业员可同时兼顾其他设备进行作业，降低了人员数量及人员成本，消除人工作业失误造成的破片率高的损失，亦可避免手动作业造成的硅片污染。
上料机构硅片自动上下料机构机械手炉体本体人工作业设备框架下料机构炉体机械自动化设备抓取设备自动化硅片污染控制系统连接设备人员成本手动作业依次设置破片率取片移载生产替代

[发明专利]一种硅片水中分片机构-CN201710879430.9在审
发明人：甄辉;齐风;尚杰;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种硅片水中分片机构，包括水中供料槽体，水中供料槽体内依次设置定位及升降装置和出水分片装置和摩擦吸着装置，其中，定位及升降装置，用于将叠在一起的硅片定位到指定位置；出水分片装置，用于分离硅片。本发明的有益效果是能够实现硅片水中分片的自动化作业，解决现有技术中手动分片、插片对硅片造成污染、在作业中易碎片的问题，具有稳定性高、产能大、节省人员等特点，具有很高的实用价值。
硅片水中分片机构分片装置升降装置供料槽出水自动化作业易碎吸着装置依次设置插片产能摩擦体内污染

[发明专利]一种硅片自动分选设备-CN201710879427.7在审
发明人：齐风;甄辉;徐艳超;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： B07C5/10 文献下载
摘要：本发明提供一种硅片自动分选设备，包括依次设置的上料部、检测部和下料部，检测部包括，传输机构：设置在检测部内，用于对硅片进行传输；定位机构：设置在传输机构的起始端，对出片篮的硅片进行定位；表面检测模块：设置在传输机构的侧面和上面，检测硅片表面的外观缺陷；几何参数检测模块：设置在检测部内，测量硅片的厚度；电阻率检测模块：设置在检测部内，测量硅片的电损耗。本发明的有益效果是通过集成皮带传输线、外观检测、几何参数检测、电阻率检测和激光打标等功能，实现硅片的自动、高效、准确地分选，有效的提高硅片检测分选的产能，保证硅片根据电阻率、厚度、外观等参数进行自由分选并且降低误检率等优点。
硅片检测传输机构分选几何参数检测自动分选设备测量硅片电阻率检测模块传输线电阻率检测表面检测定位机构硅片表面激光打标外观检测外观缺陷依次设置电损耗电阻率起始端误检率下料部产能出片上料皮带侧面传输自由保证

[发明专利]一种自动圆形硅片插片机构-CN201710879212.5在审
发明人：甄辉;齐风;李丽娟;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种自动圆形硅片插片机构，包括依次设置的分片部、传输部和插片部，其中，分片部用于分离叠在一起的硅片；传输部用于传输分离的硅片；插片部用于将传输而来的硅片插入硅片装载装置。本发明的有益效果是解决现有技术中手动分片、插片对硅片造成污染、在作业中易碎片的问题，实现圆形硅片插片的自动化作业。
硅片圆形硅片插片机构插片部传输部插片硅片装载装置自动化作业传输易碎依次设置污染

[发明专利]一种自动圆形硅片插片机-CN201710879218.2在审
发明人：甄辉;齐风;徐艳超;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种自动圆形硅片插片机，包括依次设置的插片机构和抓取机构，其中，插片机构，用于将叠放在一起的硅片分离并且将分离的硅片插入并装满硅片装载装置；抓取机构，用于移送满载的硅片装载装置。本发明的有益效果是解决现有技术中手动分片、插片对硅片造成污染、在作业中易碎片的问题，实现圆形硅片插片的自动化作业。
圆形硅片硅片硅片装载装置插片机构抓取机构插片机插片自动化作业易碎依次设置装满满载污染

[发明专利]圆形硅片装载装置-CN201710879175.8在审
发明人：牛慧锋;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;甄辉;齐风;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供圆形硅片装载装置，包括槽棍、第一吊装板和第二吊装板，第一吊装板和第二吊装板分别设置在槽棍两端，槽棍与第一吊装板、槽棍与第二吊装板均采用螺纹连接，第一吊装板和第二吊装板上均设置吊装口，吊装口设置在第一吊装板和第二吊装板的顶部，槽棍上设置片槽，片槽结构为下部具有固定槽的V形槽，固定槽的底部为平面。本发明的有益效果是两侧吊装板设置两处吊钩状吊装口，方便硅片装载装置的吊装运输，也能够保证硅片装载装置吊装过程的稳定性，同时留有导水口，装满硅片的硅片装载装置浸水时，减弱水浮力以及水对硅片挤压力，以防硅片被冲出硅片装载装置，致使不必要的损失。
吊装板槽棍硅片装载装置吊装口硅片圆形硅片装载装置固定槽片槽浸水吊装运输螺纹连接导水口吊钩状挤压力水浮力吊装装满保证

[发明专利]一种自动圆形硅片倒片机构-CN201710879211.0在审
发明人：甄辉;齐风;杨玉聪;徐长坡;陈澄;梁效峰;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种自动圆形硅片倒片机构，包括机架、第一倒片部、第二倒片部和传输装置，第一倒片部和第二倒片部相对隔离的设置于机架上，传输装置贯穿于第一倒片部和第二倒片部，用于传送圆形硅片。本发明的有益效果是解决同节距同规格片篮倒片手动操作的不足并且避免了洁净区域片篮与金属区域片篮产生的金属污染问题，自动圆形硅片倒片机构，使洁净区与金属区片篮的完全隔离，避免洁净区片篮金属沾污，实现稳定高效产出。
倒片圆形硅片传输装置洁净区金属污染问题洁净区域金属区域金属沾污完全隔离金属区节距传送隔离贯穿