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[发明专利]用于降低接触电阻的金属帽-CN202180090981.1在审
发明人：本切基·梅巴基;李正周;侯文婷;仓见隆;艾弗里•V•劳格特;雷建新;吴立其;雷蒙德·霍伊曼·亨;河泰泓;唐先敏 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L29/45 文献下载
摘要：一种半导体装置的接触堆叠结构包括：源极/漏极区；在源极/漏极区上方的金属硅化物层；直接在金属硅化物层上的金属帽层；及在金属帽层上的导体。一种方法包括：在基板的结构中沉积金属硅化物层；在金属硅化物层的沉积之后且在没有空气中断的情况下，直接在金属硅化物层上制备金属帽层；及在金属帽层上沉积导体。
用于降低接触电阻金属

[发明专利]使用PVD钌的方法与装置-CN201780061629.9有效
发明人：乔斯林甘·罗摩林甘;罗斯·马歇尔;雷建新;唐先民 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-10-02 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/285 文献下载
摘要：描述了含钌的栅极层叠和形成含钌栅极层叠的方法。含有钌的栅极层叠包含：多晶硅层，在基板上；硅化物层，在多晶硅层上；阻挡层，在硅化物层上；钌层，在阻挡层上；及间隔层，包含在钌层的侧面上的氮化物，其中钌层在形成间隔层之后基本上不包含氮化钌。形成钌层包含以下步骤：在氪环境中在包含高电阻率陶瓷材料的高电流静电卡盘上溅射钌。溅射的钌层在大于或等于约500℃的温度下退火。
使用 pvd 方法装置

[发明专利]用于钨膜的低电阻率物理气相沉积的系统和方法-CN201680059853.X有效
发明人：乔斯林甘·罗摩林甘;清·X·源;王志勇;雷建新;唐先民 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-10-21 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： H01L21/203 文献下载
摘要：在此公开用于将耐火金属层溅射到设置在基板上的阻挡层上的系统和方法。在一或多个实施方式中，在集成电路中溅射沉积钨结构的方法包括以下步骤：将基板移动到等离子体处理腔室中，且移动到与溅射靶材组件相对的基板支撑件上，溅射靶材组件包含具有不超过10ppm的碳和不超过10ppm的氧作为杂质存在的钨靶材；将氪气流入等离子体处理腔室；和将氪气激发成等离子体，以通过溅射而在由基板支撑件所支撑的基板的材料层上沉积钨膜层。在一些实施方式中，靶材组件进一步包括钛背板和设置在钛背板与钨靶材之间的铝粘合层。
用于电阻率物理沉积系统方法

[实用新型]一种液位计的防护装置-CN202222384360.9有效
发明人：罗旭;雷建新;朱勇臣;郑桢 -专利权人：滢升自动化科技（上海）有限公司
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G01F23/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种液位计的防护装置，包括：外部保护盒和顶部下压装置，外部保护盒可以起到保护作用，并且带有第一安装孔，能够使得液位计下部的圆头部露出与水体接触，顶部下压装置能够起到对液位计固定和缓冲作用，通过带有外部保护盒和顶部下压装置，外部保护盒包括两个侧板，侧板的内侧焊接有第二弹簧，所述第二弹簧的一端焊接有弧形夹板，能够起到固定液位计的作用，并且在撞击时起到缓冲目的，外部保护盒可以起到保护作用，弧形夹板和第二弹簧能够起到横向缓冲作用，防止侧面撞击造成的损坏。
一种液位计防护装置

[实用新型]一种隔音隔热效果好的铝型材-CN202220870568.9有效
发明人：张立君;王勇;周杰锋;雷建新 -专利权人：佛山市南海弘泰铝业有限公司
申请日： 2022-04-14 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： E06B5/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及铝型材技术领域的一种隔音隔热效果好的铝型材，包括铝型材本体，所述铝型材本体固定有隔热层，所述隔热层的一侧固定有耐腐蚀层，所述耐腐蚀层远离隔热层的一侧固定有防水层，所述防水层远离耐腐蚀层的一侧固定有隔音层，所述铝型材本体的内壁固定有耐磨层。通过设置隔热层，当铝型材本体在安装完成使用时，可通过隔热层防止出现高温时铝型材本体受损，随后耐腐蚀层可配合隔热层增加了铝型材本体的耐腐蚀效果，防止铝型材本体在长时间使用时受到雨水或液体打湿出现腐蚀的情况，此时隔音层将增加了铝型材本体的隔音效果，实现了便于隔音隔热的效果，有利于提高了铝型材本体的使用寿命。
一种隔音隔热效果铝型材

[实用新型]一种耐腐蚀的粉末喷涂铝型材-CN202221025984.5有效
发明人：黄孟秋;贺娟;贺东秀;张立君;雷建新 -专利权人：佛山市南海弘泰铝业有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： E06B3/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及铝型材技术领域的一种耐腐蚀的粉末喷涂铝型材，包括铝型材本体，所述铝型材本体的上下两端分别设有防护板，所述铝型材本体的两端分别设有侧板，两个所述防护板与两个所述侧板通过螺丝固定。与现有技术相比，通过设置的防护板、侧板和第一弹簧，便于该装置在使用过程中，将防护板和侧板通过螺丝安装在铝型材本体的外侧起到防护作用，避免铝型材本体在使用过程中直接暴露在空气中出现腐蚀，此外通过第一弹簧可以起到缓冲作用，避免直接冲击导致铝型材本体损害，从而更加便捷高效的起到对铝型材本体的防护，解决了传统铝型材本体防护性差的问题。
一种腐蚀粉末喷涂铝型材

[发明专利]用于在介电溅射期间减少工件中缺陷的等离子体腔室靶材-CN202180010623.5在审
发明人：王晓东;雷建新;汪荣军 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-06-03 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：提供用于用来减少介电溅射期间工件中的缺陷的等离子体腔室靶材的方法和设备。例如，介电溅射沉积靶材可以包括具有范围从约65μm到500μm的预定平均晶粒尺寸的介电化合物，其中该介电化合物是氧化镁或氧化铝中的至少一种。
用于溅射期间减少工件缺陷等离子体腔室靶材

[发明专利]用于处置氧化镁膜的方法-CN202180012161.0在审
发明人：王晓东;雷努·辉格;雷建新;汪荣军 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-04-01 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： H01L43/12 文献下载
摘要：一种形成磁阻随机存取存储器(MRAM)结构的隧道层的方法包括：通过利用射频(RF)功率溅射MgO靶材来形成第一氧化镁(MgO)层；将第一MgO层暴露给在大约10sccm至大约15sccm的流量下的氧气大约5秒至大约20秒；和通过利用RF功率溅射MgO靶材而在第一MgO层上形成第二MgO层。该方法可在处理腔室的定期维护之后执行，以增加隧道层的隧道磁阻(TMR)。
用于处置氧化镁方法

[发明专利]用于降低钨电阻率的方法和设备-CN202180009087.7在审
发明人：侯文婷;雷建新;乔斯林甘·罗摩林甘;普拉沙斯·科斯努;威廉·R·约翰逊 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-09-13 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H01L21/285 文献下载
摘要：在基板上形成低电阻率钨膜的方法及设备。在一些实施方式中，一种降低钨的电阻率的方法包括：以氪的处理气体且使用具有大约60MHz的频率的RF功率及磁控管，在物理气相沉积(PVD)腔室的处理空间中产生等离子体；将处于大约13.56MHz的频率的偏压功率施加至基板；和溅射钨靶材以在基板上沉积钨薄膜。所沉积的钨薄膜的至少大约90％具有大约平行于基板的顶部表面的1‑1‑0晶体取向平面。
用于降低电阻率方法设备

[发明专利]用于钝化靶材的方法及设备-CN202180009899.1在审
发明人：杜超;陈新;基思·A·米勒;乔斯林甘·罗摩林甘;雷建新 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-04-08 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本文提供了用于钝化靶材的方法和设备。例如，一种方法包含：a)将氧化气体供应到处理腔室的内部空间中；b)点燃氧化气体以形成等离子体并氧化靶材或靶材材料中的至少一者，所述靶材材料沉积在设置于处理腔室的内部空间中的处理配件上；和c)执行循环净化，包括：c1)向处理腔室中提供空气以与靶材或沉积在处理配件上的靶材材料中的至少一者反应；c2)在处理腔室内维持预定压力达预定时间，以产生由空气与靶材或沉积在处理配件上的靶材材料中的至少一者反应而引起的有毒副产物；和c3)排空处理腔室以去除有毒副产物。
用于钝化方法设备

[发明专利]用于减除式自对准的方法和装置-CN202080092524.1在审
发明人：任河;姜浩;梅裕尔·奈克;候文婷;雷建新;龚晨;曹勇 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-10-23 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H01L21/3205 文献下载
摘要：描述一种形成用于半导体装置的互连结构的方法。方法包含通过物理气相沉积在基板上沉积蚀刻终止层，随后在蚀刻终止层上原位沉积金属层。原位沉积的步骤包含使等离子体处理气体流动到腔室中，和将等离子体处理气体激发成等离子体以在基板上的蚀刻终止层上沉积金属层。基板在沉积工艺期间持续在真空下，且不暴露至周围空气。
用于减除对准方法装置

[发明专利]用于处理基板的方法与设备-CN202180008729.1在审
发明人：哈伯特·冲;陶荣;雷建新;汪荣军;基思·A·米勒;艾琳娜·H·威索克;龚则敬;陈新 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本案提供了用于清洁经配置用于处理基板的处理套件的方法和设备。例如，用于处理基板的处理腔室可以包括腔室壁；溅射靶，该溅射靶设置在该内部空间的上部中；基座，该基座包含基板支撑件，该基板支撑件具有支撑表面以支撑在该溅射靶下方的基板；功率源，经配置激发(energize)溅射气体以用于在该内部空间中形成等离子体；处理套件，该处理套件围绕该溅射靶和该基板支撑件；和ACT和控制器，该ACT连接到该基座，该控制器经配置使用该ACT来调谐该基座以维持该内部空间中的该等离子体与该处理套件之间的预定电势差，其中该预定电势差是基于该ACT的总电容的百分比和与该处理腔室的接地路径相关的杂散电容。
用于处理方法设备

[发明专利]用于原位沉积监测的方法及设备-CN202180008904.7在审
发明人：王晓东;迈克尔·查尔斯·库特尼;瓦鲁扬·查卡里安;雷建新;汪荣军 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-09-13 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：原位监测挡盘上的沉积的方法及设备。在一些实施方式中，设备可包括：处理腔室，具有内部处理空间；外壳，设置在内部处理空间外部，其中外壳在挡盘不在内部处理空间中使用时接纳挡盘；挡盘臂，从外壳到内部处理空间来回移动挡盘；和至少一个传感器，整合到外壳中。至少一个传感器被构造成用以确定在内部处理空间中粘涂处理之后沉积在挡盘上的材料的至少一种膜性质。
用于原位沉积监测方法设备

[发明专利]平滑化动态随机存取存储器位线金属的方法与设备-CN202080080696.7在审
发明人：普里亚达希·潘达;雷建新;桑杰·纳塔拉扬;黄锡硕;佐佐木信之 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-11-03 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：一种平滑化存储器结构的位线金属的顶表面的工艺减少位线堆叠的电阻。此工艺包括在基板上的多晶硅层上沉积大约30埃至50埃的钛层、在钛层上沉积大约15埃至大约40埃的第一氮化钛层、在大约摄氏700度至摄氏850度的温度退火基板、在退火之后的第一氮化钛层上沉积大约15埃至大约40埃的第二氮化钛层、及在第二氮化钛层上沉积钌的位线金属层。
平滑动态随机存取存储器金属方法设备

[发明专利]一种GIS隔离开关工作状态监测装置及方法-CN202110643611.8在审
发明人：汪泽州;陈刚;鲍建飞;储建新;陆萍;陆建琴;雷建新;李豹;胡燕伟;陈宁宁;胡松松;张依辰;孙帅;董子奕;李伟;张建荣;郑涛;陈玉峰;魏信伍 -专利权人：国网浙江海盐县供电有限公司
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： G01R31/327 文献下载
摘要：本发明公开了一种GIS隔离开关工作状态监测装置及方法，包括用于检测隔离开关工作状态的工作状态检测模块、交流信号处理模块、电阻信号处理模块、分闸命令输入模块、合闸命令输入模块和微处理器模块即其监测方法，本发明利用开口式电流互感器获得GIS隔离开关操作机构驱动电机动作过程随时间变化的电流值，根据操作机构驱动电机动作过程随时间变化的电流值进而间接判断隔离开关隔离刀的动作状态；利用角位移传感器获得GIS隔离开关操作机构驱动电机随时间变化的转动位移值，判断GIS隔离开关刀闸的位置状态；累计GIS隔离开关分合闸动作次数，预测GIS隔离开关的机械寿命，有效提高了隔离开关工作状态监测的准确度。
一种 gis 隔离开关工作状态监测装置方法

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