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[实用新型]晶片存放花篮-CN202320900637.0有效
发明人： 闫青芝;杜科君;连坤;王金翠;胡文 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种晶片存放花篮，涉及半导体技术领域，包括活动设置在第一侧部或第二侧部上的晶片限位件。该晶片存放花篮能够根据晶片的尺寸更换对应尺寸的晶片限位件，从而能够将不同尺寸的晶片限位在容置空间中，保证该晶片存放花篮能够同时盛放不同尺寸的晶片，提高了其适用能力；同时，由于一种规格的晶片存放花篮能够存放或转运多种不同尺寸的晶片，进而可减少晶片存放花篮的数量，避免占用生产资源浪费。
晶片存放花篮

[实用新型]一种晶圆清洗辅助装置-CN202320075294.9有效
发明人： 闫青芝;连坤;王金翠;胡卉;胡文 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆清洗辅助装置，包括：承载组件包括载物台，所述载物台上具有用于放置晶圆片的置物空间；定位组件，设于所述载物台上，包括分散于所述置物空间周围的限位件，所述限位件与晶圆片抵接，将晶圆片与所述载物台保持相对静止本实用新型提供的晶圆清洗辅助装置，载物台提供的置物空间，为晶圆的定位提供了固定位置，置物空间周围的限位件可以将晶圆片固定在置物空间内，使得晶圆片和载物台保持静止，让两者在清洗过程中成为一体，避免利用镊子固定晶圆片的位置，从而可以有效减少清洗过程中镊子划伤晶圆表面的情况发生，对晶圆片提供了有效保护。
一种清洗辅助装置

[实用新型]晶圆清洗花篮-CN202320298204.2有效
发明人： 闫青芝;杜科君;连坤;王金翠;胡卉;胡文 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种晶圆清洗花篮，包括花篮主体、压条安装件和压条，其中，花篮主体设置有放置晶圆的容置空间，晶圆依次排列在容置空间中。压条安装件设置在沿晶圆的排列方向延伸的花篮主体的侧部上，压条设置在压条安装件上并且沿晶圆的排布方向延伸，以阻挡位于容置空间中的晶圆上浮。由于压条安装件设置在沿晶圆排列方向延伸的侧部，放置在容置空间中的晶圆的工艺面与该压条安装件的方向垂直，所以工作人员自容置空间中取放晶圆的过程中，晶圆无需经过压条安装件的位置，从而确保压条安装件不会接触晶圆工艺面，避免了压条安装件划伤晶圆工艺面问题的发生。
清洗花篮

[实用新型]一种可移动的光刻板固定夹具-CN201920519600.7有效
发明人：曲迪;闫青芝;陈墨;白国人;宋学颖;靳春艳 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可移动的光刻板固定夹具，涉及半导体制备设备技术领域，包括可移动的支撑台和若干组真空吸附装置，涉及半导体制备设备技术领域，所述支撑台上开设有圆形通孔，所述真空吸附装置沿所述通孔的周向均匀的设在支撑台的上端面；光刻板通过真空吸附装置居中的吸附在支撑台的下端面。每组所述真空吸附装置包括若干个与所述通孔同轴设置的通透真空孔，每组真空吸附装置中的真空孔上端面设有一个与支撑台吸附的真空吸盘；所述真空吸盘的底部中心设有与该组真空孔连通的真空管；所有真空管的末端与一个真空开关连接。该固定夹具不仅便于调整光刻板位置、而且使用方便快捷，能根据需要随时移动到指定位置。
一种移动刻板固定夹具

[实用新型]一种适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具-CN201920524111.0有效
发明人： 闫青芝;曲迪;陈墨;白国人;靳春艳 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具，涉及半导体制备技术领域，该真空基片夹具包括真空载物台；载物台内设有N组真空吸附结构；每个真空吸附结构下端连接有抽真空结构；每组真空吸附结构包括沿载物台厚度方向设置的M个第一真空孔，第一真空孔为通孔；相邻的第一真空孔之间通过设在载物台内部的真空槽相连通；还包括设在载物台上可拆卸的辅助装置；该辅助装置上设有与第一真空孔连通的第二真空孔；基片覆盖在第二真空孔之上；辅助装置上端与基片紧密贴合，辅助装置下端与载物台紧密贴合。该夹具不仅便于调整基片位置、而且能够一机多用，提高夹具利用率、降低成本。
真空孔载物台辅助装置真空吸附结构夹具基片夹具紧密贴合下端半导体制备本实用新型抽真空结构尺寸基片基片位置可拆卸的一机多用真空槽上端光刻通孔载物连通覆盖

[实用新型]一种可移动的光刻用真空基片夹具-CN201920526760.4有效
发明人： 闫青芝;曲迪;陈墨;白国人;靳春艳 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可移动的光刻用真空基片夹具，涉及半导体制备设备技术领域，包括一个与基片贴合的真空载物台；载物台内设有N组真空吸附结构；真空吸附结构在载物台平面上的投影面积小于待吸附基片的面积；每组真空吸附结构包括M个真空孔；真空孔为通孔；相邻的真空孔之间通过设在载物台内部的真空槽相连通；所述载物台底部设有与真空吸附结构配套的N个真空吸盘；真空吸附结构的底部被对应的真空吸盘覆盖；每个所述真空吸盘的根部设有真空管，N个真空管与设在真空管末端的一个共同的真空总开关连接；还包括可移动支撑座。该夹具不仅便于调整基片位置、而且能够一机多用，提高夹具利用率、降低成本，能根据需要随时移动到指定位置。
真空吸附结构真空管真空吸盘载物台真空孔夹具半导体制备设备可移动支撑座本实用新型载物台平面基片夹具基片位置一机多用可移动配套的真空槽总开关光刻贴合通孔吸附投影覆盖移动

[实用新型]一种实验室用晶圆切割器-CN201920561272.7有效
发明人：曲迪;靳春艳;陈墨;白国人;宋学颖;闫青芝 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2019-04-23 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆作业技术领域，公开了一种实验室用晶圆切割器，包括底座，底座的上端固定有圆柱形的主轴；主轴上端设有位置可调节的方形载物台；载物台上等间距设有辅助定位晶圆解理边的两列晶圆找平顶针；两列所述晶圆找平顶针呈L形分布在载物台上端面的两个垂直边缘处。所述主轴外侧套设有切割刀支撑结构；所述切割刀支撑结构包括支撑盘；所述支撑盘设在载物台的下方；支撑盘内设有与所述主轴间隙配合的连接孔；支撑盘相对的两侧设有L形切割臂；该切割器可以自定义调节切割刀与晶圆间的切割角度、及调节两切割刀间的切割间距，能实现定制尺寸晶圆的快速有效切割；能有效防止切割过程中产生的颗粒及粉尘对环境甚至人体健康造成不良影响。
晶圆切割刀支撑盘顶针切割支撑结构切割器载物台底座载物找平作业技术领域本实用新型垂直边缘辅助定位切割过程人体健康上端固定主轴间隙可调节连接孔切割臂自定义上端解理粉尘配合

[实用新型]一种光刻用真空基片夹具-CN201920525407.4有效
发明人： 闫青芝;曲迪;陈墨;白国人;靳春艳 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光刻用真空基片夹具，涉及半导体制备技术领域，包括一个可与基片紧密贴合的真空载物台；载物台内设有N组真空吸附结构；真空吸附结构在载物台平面上的投影面积小于待吸附基片的面积；真空吸附结构包括沿真空载物台厚度方向设置的M个真空孔，真空孔为通孔；相邻的真空孔之间通过设在真空载物台内部的真空槽相连通；载物台底部设有与真空吸附结构配套的N个真空吸盘；真空吸附结构的底部被对应的真空吸盘覆盖；真空吸盘与载物台相接处密封；每个真空吸盘的根部中心设有一根真空管，N个真空管由设在末端的一个共同的真空总开关控制。该基片夹具不仅便于调整基片位置、且能够一机多用，提高夹具利用率、降低成本。
载物台真空吸附结构真空吸盘真空孔真空管基片夹具夹具半导体制备本实用新型载物台平面根部中心基片位置紧密贴合一机多用配套的相接处真空槽总开关光刻通孔吸附密封投影覆盖

[实用新型]一种衬底片切割装置-CN201920525406.X有效
发明人：曲迪;闫青芝;陈墨;白国人;宋学颖;靳春艳 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： B26D1/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种衬底片切割装置，涉及半导体制备设备技术领域，包括方形的载物台及切割刀；所述载物台上设有对称固定在衬底片切割线两侧的一对固定伸缩装置；所述固定伸缩装置卡合在衬底片的两侧；所述切割刀沿衬底片切割线方向设置；所述载物台上设有角度可调的切割臂，所述切割刀连接在所述切割臂上；切割刀的刀尖正对衬底片切割线的一端；还包括设在切割刀对向的定位尖角；所述定位尖角中心线正压在切割线的另一端。还包括设在衬底片被切割一侧的挡板；所述挡板与所述固定伸缩装置平行，挡板设在衬底片正上方。该衬底片切割装置结构简单合理，可以有效的减少碎屑的产生；而且方便规定任意大小的衬底片。
衬底片切割刀固定伸缩装置挡板切割线定位尖切割臂半导体制备设备切割装置结构本实用新型切割线方向刀尖对称固定角度可调切割装置载物台对向卡合碎屑正对正压平行切割

[实用新型]一种多片装晶圆剥离花篮-CN201920560679.8有效
发明人：靳春艳;曲迪;陈墨;白国人;闫青芝 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2019-04-23 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多片装晶圆剥离花篮，涉及晶圆作业技术领域，包括置于超声槽内的花篮下托盘；所述花篮下托盘是承载晶圆的圆柱形体；花篮下托盘上下端面贯通有多个与晶圆尺寸匹配的卡槽；所述卡槽沿花篮下托盘的周向均匀设置；卡槽内沿径向设有镂空的晶圆承载体；晶圆待剥离的一面与晶圆承载体贴合。还包括可拆卸的与所述花篮下托盘扣合的花篮上盖；在所述花篮下托盘的上端面设有多爪弹片；所述多爪弹片为圆形薄片，多爪弹片包括实心的圆片及设在圆片周围的条状挡片；所述挡片与所述卡槽的数量和位置对应。该剥离花篮不仅结构简单合理、剥离后晶圆表面清洁、剥离时晶圆不易滑落，而且剥离花篮在不同溶液间的转换很方便。
花篮晶圆下托盘剥离弹片多爪卡槽圆片承载周向均匀设置作业技术领域本实用新型尺寸匹配晶圆表面可拆卸的上下端面圆形薄片圆柱形体镂空超声槽承载体卡槽沿上端面实心的条状挡挡片多片滑落上盖贯通清洁转换

[实用新型]一种整片晶圆剥离花篮-CN201920561271.2有效
发明人：靳春艳;曲迪;陈墨;白国人;闫青芝 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2019-04-23 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆作业技术领域，公开了一种整片晶圆剥离花篮，包括在竖直方向相隔一定间距连接的晶圆下托盘和晶圆上卡台；在晶圆下托盘上端面的相对两侧设有连接卡件；所述连接卡件的一端与晶圆下托盘的上端边缘固定，另一端与晶圆上卡台的下端边缘固定；晶圆下托盘沿竖直方向设有通孔；整片晶圆卡合在两个连接卡件之间，晶圆的待剥离面向下放置。还包括可拆卸的提梁；所述提梁包括水平的第一提手和相对设置在晶圆两侧的连接杆；两个所述连接杆所在径向与两个连接卡件所在径向互相垂直。该剥离花篮不仅结构简单合理、剥离后晶圆表面清洁、剥离时晶圆不易滑落，而且剥离花篮在不同溶液间的转换很方便。
晶圆剥离连接卡件下托盘花篮整片提梁连接杆上卡竖直作业技术领域本实用新型互相垂直间距连接晶圆表面可拆卸的上端边缘下端边缘相对两侧相对设置上端滑落卡合提手通孔相隔清洁转换

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