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- [发明专利]半导体发光元件及发光装置-CN202310307788.X在审
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蓝永凌;卓佳利;蔡吉明;张中英;李志明
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厦门三安光电有限公司
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2023-03-27
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2023-08-08
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H01L33/14
- 本发明提供一种半导体发光元件及发光装置,该发光元件的外延结构至少包括由下至上叠置的第一半导体层结构、超晶格结构层、有源层以及第二半导体层结构,有源层为多重量子阱结构,第二半导体层结构为P型掺杂层,P型掺杂物扩散至所述有源层及所述超晶格结构层,P型掺杂物在有源层中形成一骤降区及一缓降,并且P型掺杂物在有源层及超晶格结构层中的扩散深度不大于500nm。Mg原子扩散浓度的最大值出现在距离有源层表面20nm~35nm的范围内。通过控制Mg原子的扩散深度以及扩散浓度的变化,可以有效降低Mg原子对MQW的影响,提高MQW的质量,进而提高有源层中电子空穴的复合效率,提高外延层的内部量子效率,实现发光二极管的高发光效率。
- 半导体发光元件装置
- [发明专利]一种具有电子阻挡与空穴调整层的外延结构-CN201510978761.9有效
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张佳胜;蔡吉明;黄文宾;蓝永凌;林兓兓;张家宏
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安徽三安光电有限公司
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2015-12-24
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2018-08-14
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H01L33/02
- 本发明提出了一种具有电子阻挡与空穴调整层的外延结构,从下至上依次包括缓冲层、N型掺杂外延层、发光层和P型掺杂外延层,其特征在于:所述发光层与P型掺杂外延层之间还包含材料为Alx0Iny0Ga1‑x0‑y0N的P型掺杂空穴注入层和复数个子组合层堆叠形成的多层结构;所述每一个子组合层由材料为Alx1Iny1Ga1‑x1‑y1N的电子阻挡层与材料为Alx2Iny2Ga1‑x2‑y2N的空穴调整层组成,其中,y0>x0>0,x1>y1>0,x2≥y2>0,x1>x2≥x0,y0>y2>y1。所述空穴注入层中的P型杂质通过延迟效果和在后续高温的条件下的扩散作用进入临近空穴注入层的子组合层内。调整多层结构中铝和铟的组分含量,形成良好的电子阻挡性能,并降低电阻值,提供有效空穴注入来源,改善芯片的抗静电性能。
- 一种具有电子阻挡空穴调整外延结构
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