专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果70个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [实用新型]充电座-CN202320538192.6有效
  • 王金桥;王昌锋 - 杭州海康威视数字技术股份有限公司
  • 2023-03-14 - 2023-10-27 - H02J7/00
  • 本申请提供一种充电座,涉及充电技术领域,该充电座能够适用于不同场景,提高充电座使用过程中的便利性;且电路结构简单、成本较低。充电座包括输入接口、第一传输接口、第二传输接口、控制子电路、第一级子电路和第二级子电路。在输入接口和/或第一传输接口输出有效信号的情况下,控制子电路导通并输出第二电压信号。在控制子电路输出第二电压信号的情况下,第一级子电路用于在控制子电路和第一传输接口的共同控制下,将第一传输接口传输的电压输出至第二传输接口。在输入接口输出第一电压信号的情况下,第二级子电路用于在第一电压信号的控制下,将第一电压信号携带的电压传输至第二传输接口。上述充电座用于充电。
  • 充电
  • [发明专利]提升PMOS器件AC性能的方法-CN202310166357.6在审
  • 马雁飞;万霖;王昌锋 - 上海华力集成电路制造有限公司
  • 2023-02-24 - 2023-05-16 - H01L21/8238
  • 本发明提供一种提升PMOS器件AC性能的方法,提供衬底,衬底上形成有STI以定义出有源区,有源区上形成有PMOS结构以及NMOS结构,衬底上PMOS结构之外的区域上形成有保护层,PMOS结构由栅极结构以及位于栅极结构两侧的外延层组成,栅极结构由叠层以及依次位于叠层侧壁上的第一、二侧墙组成;刻蚀第二侧墙,使得外延层与栅极结构间隙之外的第二侧墙去除,刻蚀去除间隙中的第二侧墙;在衬底上形成覆盖剩余的叠层、第一侧墙、外延层的低K介质层;刻蚀低K介质层,使得外延层与栅极结构间隙中的低K介质层保留。本发明将低K介质层保存在源漏端与栅极间的间隙里面,由于低K介质层材料的介电常数较高,降低了源漏端与栅极间的寄生电容,提高了PMOS器件的AC性能。
  • 提升pmos器件ac性能方法
  • [发明专利]一种静态随机存取存储器-CN201911170922.6有效
  • 姚岩;孙亚宾;李小进;石艳玲;王昌锋;廖端泉;田明;曹永峰 - 华东师范大学;上海华力微电子有限公司
  • 2019-11-26 - 2023-03-14 - G11C11/412
  • 本发明公开了一种静态随机存取存储器,该存储器包括上拉晶体管、传输晶体管及下拉晶体管。其中上拉晶体管和传输晶体管包括沟道、设置在沟道两侧的源端和漏端、设置在栅极氧化物外侧的控制栅极和极性栅极,设置在控制栅极与源端之间的电学隔离的边墙;下拉晶体管包括沟道、设置在沟道两侧的源端和漏端、设置在栅极氧化物外侧的控制栅极和极性栅极,设置在控制栅极与漏端之间的电学隔离的边墙。本发明利用非对称型可重构场效应晶体管结构上的差异,来达到导通电流的不一致,实现了静态随机存储单元所需的较高读取静态噪声容限和写入能力,有效的提高了静态随机存储单元的读写稳定性,同时进一步提高了静态存储电路的性能。
  • 一种静态随机存取存储器
  • [发明专利]FDSOI器件的赝栅极去除方法-CN201910311212.4有效
  • 袁晓龙;钮锋;王昌锋;廖端泉 - 上海华力集成电路制造有限公司
  • 2019-04-18 - 2022-05-27 - H01L21/336
  • 本发明公开了一种FDSOI器件的赝栅极去除方法,通过应力近邻技术部分去除器件的氮化硅侧墙,化学机械研磨层间介质氧化层后停止在拉应力氮化硅膜上,以剩余的拉应力氮化硅膜为等离子体刻蚀起始层,采用终点模式将赝栅极刻蚀去除。本发明可以减少现有工艺磷酸对源漏锗硅层的破坏和赝栅极顶部氮化硅硬掩膜的损耗,实现应力近邻效果的同时保护栅极形貌,而且可以有效保证最终刻蚀完成后不同晶圆之间、不同批货之间以及同一晶圆不同图形密度尺寸区域之间的栅极高度差异非常小,同时由于终点模式的运用,氮化硅刻蚀完后会及时停止,仅通过刻蚀非晶硅层单步时间来控制最终得到的栅极高度,栅极高度可控且工艺易于控制。
  • fdsoi器件栅极去除方法
  • [发明专利]一种改善FDSOI器件接触孔大小的方法-CN202010877484.3在审
  • 王同辉;王昌锋;廖端泉 - 上海华力集成电路制造有限公司
  • 2020-08-27 - 2022-03-01 - H01L21/8238
  • 本发明提供一种改善FDSOI器件接触孔大小的方法,半导体结构包括NMOS区域和PMOS区域的源漏区、栅极;源漏区及栅极上覆盖有氧化硅层;刻蚀氧化硅层形成源漏接触孔;在源漏接触孔侧壁形成第一氧化薄膜层;沉积金属以填充源漏接触孔,并进行表面平坦化以调整源漏接触孔深度;刻蚀NMOS区域、PMOS区域栅极上的氧化硅层,形成栅极接触孔;在栅极接触孔侧壁形成第二氧化薄膜层;沉积金属以填充栅极接触孔,并进行表面平坦化以调整栅极接触孔深度。本发明应用于22nm及以下FDSOI CMOS半导体器件工艺,与传统FDSOI工艺相比,本发明在通孔填充金属前,通孔刻蚀工艺完成后在通孔侧壁生长一层氧化薄膜层,之后通过刻蚀去除栅极上表面的氧化薄膜层,从而调整通孔的大小。
  • 一种改善fdsoi器件接触大小方法
  • [发明专利]一种改善工艺中台阶高度均匀性的方法-CN202111226639.8在审
  • 李博文;王昌锋;马雁飞 - 上海华力集成电路制造有限公司
  • 2021-10-21 - 2022-02-08 - H01L21/762
  • 本发明提供一种改善工艺中台阶高度均匀性的方法,有源区之间设有STI沟槽;有源区上形成有第一SiN层;在STI沟槽填充氧化物,氧化物覆盖在有源区上的第一SiN层上方;对填充了氧化物的STI沟槽退火;第一次化学机械研磨使STI沟槽上的氧化物平坦化;在平坦化后的氧化物上形成第二SiN层;对第二SiN层进行第二次化学机械研磨,使其表面平坦化;刻蚀第二SiN层和氧化物至露出第一SiN层上表面为止;保持氧化物与第一SiN层上表面高度一致;选择氧化物与第一SiN层刻蚀比大于1的刻蚀条件,刻蚀氧化物使多个有源区上的第一SiN层高度一致。本发明通过STI两次CMP工艺来改善不同图形结构之间台阶高度的不一致,以便提高后期工艺的窗口,提高器件的性能。
  • 一种改善工艺台阶高度均匀方法
  • [发明专利]一种半导体结构及其制造方法-CN201810581546.9有效
  • 宋洋;王昌锋;廖端泉 - 上海华力集成电路制造有限公司
  • 2018-06-07 - 2021-07-16 - H01L29/78
  • 本发明提供了一种半导体结构及其制造方法。根据本发明所提供的制造方法所制造的半导体结构包括衬底和形成在所述衬底上的栅极,所述栅极两侧的所述衬底上形成有硅外延层;所述栅极的侧表面具有第一侧墙,所述第一侧墙与所述硅外延层之间具有间隙,所述第一侧墙表面还包括第二侧墙,所述第二侧墙覆盖所述间隙,使所述第一侧墙与所述硅外延层之间具有气隙。本发明所提供半导体结构及其制造方法降低了栅极侧墙的介电常数,从而有效降低器件的寄生电容,减小相应的电阻电容延迟时间。
  • 一种半导体结构及其制造方法
  • [发明专利]一种提升LDMOS性能的方法-CN202110205208.7在审
  • 马雁飞;王同辉;王昌锋 - 上海华力集成电路制造有限公司
  • 2021-02-24 - 2021-06-22 - H01L29/06
  • 本发明提供一种提升LDMOS性能的方法,提供设有埋氧层的衬底,定义LDMOS漂移区,并将部分漂移区刻蚀至埋氧层下表面以下10~50μm形成被刻蚀区域;将被刻蚀区域形成纯体硅区域;进行离子注入形成P型阱区和N型阱区;在N型阱区形成STI区域;在衬底上表面形成叠层;定义栅极形貌,通过刻蚀叠层形成栅极叠层,在栅极叠层的侧壁形成侧墙;在栅极叠层两侧的衬底上形成源漏端;形成依附于侧墙的氧化硅硬掩膜层;在源漏端进行离子注入;去除栅极叠层中的栅极薄膜层,形成凹槽;在所述凹槽中沉积金属。本发明在超薄体FDSOI上进行LDMOS器件设计,以提高LDMOS的击穿电压,同时降低导通电阻,改善器件的漏电流,提高LDMOS的开关特性与耐击穿性,从而提高LDMOS的器件性能。
  • 一种提升ldmos性能方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top