专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]流道结构器件及其制造方法-CN201780090926.6有效
  • 云全新;林建勋;李汉东 - 深圳华大生命科学研究院;完整基因有限公司
  • 2017-08-01 - 2022-02-08 - B01L3/00
  • 一种流道结构器件及其制造方法,涉及半导体技术领域。该方法包括:提供第一基片(21);在该第一基片(21)中形成第一沟槽(31);在该第一基片(21)上形成材料层(43),其中该材料层(43)的一部分形成在该第一沟槽(31)中以形成第二沟槽(32);在该材料层(43)上形成牺牲层(45),该牺牲层(45)包括填充在该第二沟槽(32)中的第一部分(451);将形成该牺牲层(45)后的第一基片(21)与第二基片(47)键合,使得该材料层(43)位于该第一基片(21)与该第二基片(47)之间;对该第一基片(21)的背面进行减薄处理,以露出该牺牲层(45)的第一部分(451);以及利用选择性刻蚀工艺去除该第一部分(451),从而形成流道(50)。该方法可以实现具有垂直流道的流道结构器件。
  • 结构器件及其制造方法

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