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[发明专利]ITiO旋转靶材及其制备方法-CN202010116105.9在审
发明人：甘志俭;庄志杰;诸斌;庄猛;杨斌 -专利权人： 基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2020-02-25 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明涉及一种ITiO旋转靶材及其制备方法。ITiO旋转靶材的制备方法包括如下步骤：按照质量份数，将90份～99.5份的In2O3纳米粉体、0.5份～10份的TiO2纳米粉体、0.5份～5份的分散剂、0.5份～5份的粘接剂与水混合均匀，研磨后得到浆料；其中，In2O3纳米粉体的比表面积为5m2/g～20m2/g，TiO2纳米粉体的比表面积为20m2/g～50m2/g；将浆料进行喷雾造粒，得到ITiO粉体；将ITiO粉体装入模具中，使用冷等静压成型，得到旋转靶材素坯；以及将旋转靶材素坯进行烧结，退火之后得到ITiO旋转靶材。经试验证明，本发明的上述ITiO旋转靶材的制备方法制备得到ITiO旋转靶材的相对密度≥98％，ITiO旋转靶材的电阻率≤4.0×10‑4Ω·cm，因此，通过上述ITiO旋转靶材的制备方法能够得到致密度和导电性良好的高性能ITiO旋转靶材。
itio 旋转及其制备方法

[发明专利]工件喷涂装置-CN202010165893.0在审
发明人：黄小军;顾宗慧;陈荣华;诸斌 -专利权人： 基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2020-03-11 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： B05B13/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种工件喷涂装置，包括：支架；固定组件，可转动地设在支架上，固定组件包括相对设置的第一固定板和第二固定板，第一固定板上环设多个第一夹具，第二固定板上环设多个第二夹具，第一夹具和第二夹具分别用于夹持工件的两端，各工件环形盘排布在固定组件上；喷涂件，用于对工件进行喷涂，固定组件转动时，各工件依次与喷涂件相对；第一夹具可转动地设在第一固定板上，第二夹具可转动地设在第二固定板上，第一夹具与第二夹具其中之一连接有转动电机。固定组件上可以同时安装多个待喷涂工件，转动固定组件可以依次将各工件对准喷涂件进行工件的喷涂，在更换喷涂对象时无需将工件拆卸再安装新的工件，大大提升了喷涂效率，降低生产成本。
工件喷涂装置

[实用新型]喷涂系统-CN201820796677.4有效
发明人：黄小军;顾宗慧;周钧;庄猛;诸斌;程银兵 -专利权人： 基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2018-05-25 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： C23C4/134 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种喷涂系统，包括：密封舱体；喷枪，设置在密封舱体上，用于对工件进行喷涂操作；自动化控制系统，用于控制工件喷涂过程；其中，自动化控制系统包括气体检测装置，设置在密封舱体上，用于实时检测密封舱体内部的气体含量。上述喷涂系统设有自动化控制系统，能够对工件喷涂过程中的状态进行精确地控制，集成化程度较高，能够通过以太网实现自动化控制，保证喷涂系统的稳定运行。自动化控制系统中设有气体检测装置，能够实时检测密封舱体内部的气体含量，解决靶材旋转喷涂过程中气体含量无法控制的问题，确保溅射镀膜过程中的工件稳定性和一致性，使得工件内气体含量符合生产要求，以得到喷涂质量高的溅射镀膜靶材。
自动化控制系统喷涂系统密封舱体气体检测装置工件喷涂实时检测密封舱体内部喷涂溅射镀膜靶材本实用新型工件稳定性自动化控制溅射镀膜生产要求稳定运行旋转喷涂集成化以太网靶材喷枪保证

[发明专利]Cr2O3掺杂Al2O3溅射靶材的制备方法-CN201610752565.4有效
发明人：贾泽夏;庄志杰;诸斌;顾宗慧 -专利权人： 基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2016-08-29 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：Cr₂O₃掺杂Al₂O₃溅射靶材的制备方法，选择粒径为0.5‑6μm的球形Cr₂O₃粉和Al₂O₃粉为原料，按比例混合均匀压制毛坯，然后置于大气烧结炉中进行烧结，降温后对半成品进行加工处理，得到Cr₂O₃掺杂Al₂O₃溅射靶材。离子掺杂改善Al₂O₃薄膜的晶型，相对理论密度高，制备出的薄膜膜层致密，不易从基体脱落，导电和发光等特性提高，而且寿命长。
溅射靶材制备掺杂薄膜致密按比例混合离子掺杂烧结烧结炉毛坯导电晶型粒径膜层发光压制

[发明专利]SnO2掺杂ZnO溅射靶材的制备方法-CN201610750890.7有效
发明人：贾泽夏;庄志杰;诸斌;顾宗慧 -专利权人： 基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2016-08-29 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：SnO₂掺杂ZnO溅射靶材的制备方法，选择粒径1‑5μm，纯度≥99.95％的SnO₂和ZnO粉为原料，使用混合设备将其按比例混合均匀，其中SnO₂粉占混合粉质量比的20‑50％。装配石墨模具，在石墨模具内腔表面涂有0.5mm厚的耐高温的ZrO₂保护涂层；把混合粉装入装配好的石墨模具中，并用专用工具捣实。把装好粉并捣实的石墨模具放入氮气氛保护炉中加热加压，即进行热压，炉中加热温度1000℃—1300℃，压力5MPa—30MPa，加热加压时间2—6小时。掺杂提高了ZnO薄膜的综合性能，可实现ZnO基透明导电薄膜在太阳能电池、平板显示器、电磁屏蔽、热镜、紫外探测器等方面有广泛的应用。
sno2 掺杂 zno 溅射制备方法

[发明专利]复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法-CN201810030329.0在审
发明人：黄小军;诸斌;顾宗慧;庄志杰;周钧;庄猛 -专利权人： 基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2018-01-12 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法。其中，一种复合金属氧化物靶材材料的制备方法，包括如下步骤：取90‑95.8重量份的氧化锌、8‑8.4重量份的氧化镁、2‑2.1重量份的氧化铝、0.15‑0.25重量份的分散剂、0.07‑0.08重量份的粘结剂、以及4‑5重量份的水混合后得到混合浆料；对所述混合浆料进行喷雾造粒。上述复合金属氧化物靶材材料的制备方法工艺简单、成本低廉。由此方法制得靶材材料的颗粒大小匀称，呈球形。此外，靶材材料颗粒中各元素均匀分布于靶材材料颗粒中，进而能够满足靶材材料溅射的特性需求。
靶材材料重量份复合金属氧化物靶材制备混合浆料制备方法工艺喷雾造粒特性需求分散剂水混合氧化铝氧化镁氧化锌粘结剂溅射

[发明专利]喷涂系统-CN201810560629.X在审
发明人：黄小军;顾宗慧;周钧;庄猛;诸斌;程银兵 -专利权人： 基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2018-05-25 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： C23C4/134 文献下载
摘要：本发明公开了一种喷涂系统，包括：密封舱体；喷枪，设置在密封舱体上，用于对工件进行喷涂操作；自动化控制系统，用于控制工件喷涂过程；其中，自动化控制系统包括气体检测装置，设置在密封舱体上，用于实时检测密封舱体内部的气体含量。上述喷涂系统设有自动化控制系统，能够对工件喷涂过程中的状态进行精确地控制，集成化程度较高，能够通过以太网实现自动化控制，保证喷涂系统的稳定运行。自动化控制系统中设有气体检测装置，能够实时检测密封舱体内部的气体含量，解决靶材旋转喷涂过程中气体含量无法控制的问题，确保溅射镀膜过程中的工件稳定性和一致性，使得工件内气体含量符合生产要求，以得到喷涂质量高的溅射镀膜靶材。
自动化控制系统喷涂系统密封舱体气体检测装置工件喷涂实时检测密封舱体内部喷涂溅射镀膜靶材工件稳定性自动化控制溅射镀膜生产要求稳定运行旋转喷涂集成化以太网靶材喷枪保证

[发明专利]高纯细晶金属镍热挤压旋转靶材-CN201610207000.8有效
发明人：曹兴民;庄志杰;顾宗慧 -专利权人： 基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2016-04-05 - 公布日： 2018-08-07 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：高纯细晶金属镍热挤压旋转靶材,生产工艺步骤主要包括：将原料镍采用真空电子束熔炼成高纯度镍锭，对镍锭进行加热处理，然后对加热后的镍锭直接进行挤压，再对挤压后的镍靶进行退火处理，最后对经过退火的镍靶进行必要的机械加工制备成所需旋转靶材。所得靶材晶粒细小、纯度高、内部组织均匀，靶材利用率显著提高，且工艺简单，生产成本低，有利于获得透磁率高、磁性能好、厚度小而均匀的高质量薄膜，满足半导体溅射工艺需要。
高纯金属挤压旋转

[发明专利]热压工艺制备硼化物溅射靶材-CN201610045617.4有效
发明人：贾泽夏;庄志杰;顾宗慧 -专利权人： 基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2016-01-22 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：热压工艺制备硼化物溅射靶材,制备方法流程步骤依次为：将纯度≥99.9％、粒度≤5μm的硼化物粉制成直径为1～3mm的硼化物粒子；填入石墨模具内，再装入热压炉，升温加压，保温5～10h之后，再降温制成毛坯，经过机加工后制得成品，相对密度为85％～90％，电阻率为1.0～3.5Ω·㎝；硼化物粉在高温高压下获得致密块，使其具有高相对密度，低电阻率，且均匀性好，稳定性高，具有良好的溅射性能，满足靶材使用需求。该制备方法简单易行，避免采用传统粉末冶金压制方法需要的复杂模具设计，极大地提高了成型效率，所得靶材溅射性能优良，杂质少，适用于溅射镀膜。 1
制备溅射靶材硼化物粉热压工艺硼化物靶材溅射传统粉末冶金制备方法流程致密硼化物粒子成型效率低电阻率复杂模具高温高压溅射镀膜均匀性好石墨模具电阻率机加工热压炉毛坯填入装入保温加压压制

[发明专利]成膜均匀的细晶镍合金旋转靶材及其热挤压优化制备方法-CN201610206997.5有效
发明人：曹兴民;庄志杰;顾宗慧 -专利权人： 基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2016-04-05 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：成膜均匀的细晶镍合金旋转靶材热挤压优化制备方法,采用纯度≥99.99％的镍和纯度≥99.95％的其他元素金属作为合金原料，熔炼成高纯镍合金锭,加热1‑2小时后，放到已置入双动反向挤压机内的挤压模具中热挤压成半成品镍合金管靶，挤压过程总变形量总变形量大于80％，冷却后再结晶退火；镍合金内部的组织结构更加均匀，消除明显的分层现象，合金靶材成品率高、晶粒细小、内部组织均匀；溅射更稳定，使用时成膜均匀，有利于获得厚度均匀的高质量薄膜，提高靶材利用率。 1
镍合金热挤压成膜旋转靶材总变形量细晶制备双动反向挤压机靶材利用率高质量薄膜再结晶退火晶粒分层现象合金靶材合金原料厚度均匀挤压过程挤压模具内部组织镍合金锭元素金属组织结构成品率熔炼高纯管靶溅射置入半成品加热优化冷却

[发明专利]铝钪合金靶坯及其制备方法及应用-CN201711310758.5在审
发明人：程银兵;庄志杰;顾宗慧;庄猛 -专利权人： 基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2017-12-11 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： C22C1/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种铝钪合金靶坯及其制备方法及应用，其中，铝钪合金靶坯包括0.1‑15重量份的钪，85‑99.9重量份的铝，铝钪合金靶坯的含氧量小于等于160ppm。上述铝钪合金靶坯具有含氧量低，进而使得制备的靶坯不会发生异常放电或粒子溅疤，能够保证后期高品质成膜。此外，上述铝钪合金靶坯还具有靶坯晶粒粒度均匀的优点。
合金及其制备方法应用

[发明专利]铝钪合金靶坯及其制备方法及应用-CN201711308051.0在审
发明人：程银兵;庄志杰;顾宗慧;庄猛 -专利权人： 基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2017-12-11 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： C22C1/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种铝钪合金靶坯及其制备方法及应用。其中，铝钪合金靶坯包括16‑50重量份的钪，50‑84重量份的铝，铝钪合金靶坯的含氧量小于等于160ppm。上述铝钪合金靶坯具有钪含量高、含氧量低，进而使得制备的靶坯不会发生异常放电或粒子溅疤，能够保证后期高品质成膜。
合金及其制备方法应用

[发明专利]溅射旋转靶材管靶直线度的检验和矫直方法-CN201510235828.X有效
发明人：曹兴民;诸斌 -专利权人： 基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2015-05-11 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： B21D3/02 文献下载
摘要：溅射旋转靶材管靶直线度的检验和矫直方法,把管靶放置在转动轮上，把红外线探头放在管靶内中间位置；红外线检测数显表显示的数值为探头到管靶内壁的距离；固定红外线探头，转动旋转靶材，根据数显表上的数值变化来计算管靶的轴向直线度；最大值与最小值的差异（Max‑Min）反应直线度的大小；取最大和最小值的差，作为判断依据；若Max‑Min>0.5mm，则需要矫直；矫直方法，把管靶放在液压矫直机上，把管靶两端支起，压管靶的中间，控制下压量，当Max‑Min≤0.5mm时，矫直完成。结合红外线测量和液压矫直，简便易行，操作方便。检测精确。便于自动化设计和改造，检测和矫正一次完成，省时省人工，安全节能高效。
溅射旋转靶材管靶直线检验矫直方法

[发明专利]难熔金属旋转靶材等温挤压生产方法-CN201510234932.7有效
发明人：曹兴民;庄志杰;贾泽夏 -专利权人： 基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2015-05-11 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：难熔金属旋转靶材等温挤压生产方法,采用等温挤压工艺制备旋转难熔金属靶材需要先通过冷等静压CIP压制靶材管靶胚，再通过烧结获得60%‑80%密度的难熔金属或难熔金属合金靶胚，然后将预烧结后的靶管胚装入等温挤压模具，通过采用相对较为简单的等温挤压生产流程获得高密度和低氧含量的难熔金属旋转靶材，而且不受材料限制，可使整个靶材几何尺寸、表面质量和内部组织及物理性能等都达到最佳效果，极大的提高生产率降低生产成本，尤其是可以生产多种其他工艺难于生产的难熔金属合金旋转靶材。铸造均匀，晶粒细小；致密度高，密度达到99%以上；工序简单，生产成本低。
金属旋转等温挤压生产方法

[发明专利]MgO掺杂ZnO溅射靶材的制备方法-CN201610751166.6在审
发明人：贾泽夏;庄志杰;诸斌;顾宗慧 -专利权人： 基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2016-08-29 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： C04B35/453 文献下载
摘要：MgO掺杂ZnO溅射靶材的制备方法，按比例称取ZnO和MgO粉装入尼龙球磨罐，加入无水乙醇和玛瑙球，在星型球磨机上快速球磨后取出混合粉，筛分出玛瑙球；烘干无水乙醇；填入模具中在高温炉中加热加压；出炉后靶坯加工切片成靶材。将高纯度ZnO粉MgO粉混合热压制备靶材，工艺简单，成本降低，利用其制备的发光材料颗粒均匀，分散性好，具有优良的发光性质，且镁掺杂ZnO的浓度可以调节，从而改变其带宽和绿光波长，可以用于发光二极管和激光器等领域，大大增强其实用性能。
mgo 掺杂 zno 溅射制备方法