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- [发明专利]一种制备异种金属靶材的方法-CN202310653310.2在审
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顾宗慧
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基迈克材料科技（苏州）有限公司
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2023-06-05
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2023-09-19
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C23C14/35
- 本发明公开了一种制备异种金属靶材的方法，涉及靶材制备领域，旨在解决靶材溅射均匀性的问题，其技术方案要点是：准备背板及靶材；根据靶材材质，选用相应屈服强度的轧辊；根据材料和成品厚度设计轧制形变量，计算原料锭厚度；进行退火；板材校平；板材机加工；背板加工；将要连接的金属表面清洗干净，确保表面光滑；将光滑面板材放置于背板凹槽中，放置在加热的夹具中加热，加压，使金属部件紧密贴合，形成原子之间扩散，形成均匀的混合层，并形成连接；在达到扩散深度后，停止加热并冷却，使金属重新结晶并形成一个稳定的连接；包装。本发明的一种制备异种金属靶材的方法能够改善靶材溅射均匀性。
- 一种制备金属方法
- [发明专利]一种金属镓蒸发料的制备方法-CN202310627983.0在审
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顾宗慧
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基迈克材料科技（苏州）有限公司
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2023-05-31
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2023-09-15
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B22F9/24
- 本发明公开了一种金属镓蒸发料的制备方法，涉及金属镓材料制备领域，旨在解决获得高纯金属镓蒸发料；其技术方案要点是：步骤一：准备含有高纯度金属镓离子的溶液；步骤二，加入还原剂并加热反应溶液；步骤三：在反应过程中，金属镓离子被还原为金属镓颗粒，反应结束后，金属镓颗粒沉淀在水或有机溶剂中，此即为高纯金属镓蒸发源；步骤四：将产生的金属镓颗粒过滤或离心，去除余液和杂质；步骤五：对金属镓颗粒进行清洗、干燥、分散处理，得到制备好的金属镓颗粒；步骤六：将干燥的金属镓颗粒装进充满氩气的瓶子中并放置一包干燥剂，封口保存，完成制备。本发明的一种金属镓蒸发料的制备方法能够获得高纯金属镓蒸发料。
- 一种金属蒸发制备方法
- [发明专利]一种高性能氮化硅陶瓷基板的制备方法-CN202211291261.4在审
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程银兵;顾宗慧;张玉玲;庄志杰
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基迈克材料科技（苏州）有限公司
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2022-10-20
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2023-02-03
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C04B35/584
- 本发明公开了一种高性能氮化硅陶瓷基板的制备方法，涉及半导体陶瓷基板加工领域，旨在解决生坯压制密度不均匀的问题，其技术方案要点是：S1：Si3N4粉体和添加剂、烧结助剂预混合，助剂的含量为4％wt，充分球磨混料，减少超细氮化硅颗粒的团聚，现实其与助剂的均匀混合；S2：对混合料进行造粒处理，形成符合要求的粒径分布，待用；S3：以上制备的粉料充填到冷等静压CIP包套中，包套真空封装，缸体压力200MPa；S4：密度达到理论值55％以上，进入烧结制程；S5：采用热等静压工艺进行烧结处理。S6：机加工得到符合要求的氮化硅陶瓷生坯，密度均匀性小于0.4％；硬度梯度小于1％；抗弯强度大于800MPa。本发明的一种高性能氮化硅陶瓷基板的制备方法生坯压制密度均匀，厚度薄。
- 一种性能氮化陶瓷制备方法
- [发明专利]一种铝钪合金靶材的制备工艺-CN202211291263.3在审
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程银兵;顾宗慧;庄志杰;诸斌
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基迈克材料科技（苏州）有限公司
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2022-10-21
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2023-01-13
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C23C14/34
- 本发明公开了一种铝钪合金靶材的制备工艺，涉及半导体靶材制备领域，旨在解决目前钪合金靶材的制备质量不够高的问题，其技术方案要点是：选用纯度为99.999％的金属铝和纯度为99.99％的金属钪，将铝钪原料投入真空熔炼炉中，将真空熔炼炉加热，使熔炼炉中的铝钪合金原料熔化；向真空熔炼炉中通入惰性气体，去除气体杂质最终得到合金；在真空状态下进行浇铸，冷却定型得到合金铸锭，使用热轧机进行轧制操作；在300℃～500℃条件下对校平后的高纯铝钪合金靶材进行退火处理；使用扩散焊接法使其贴合于背板上，获得高纯低氧铝钪合金靶材。本发明的一种铝钪合金靶材的制备工艺其工艺简单成熟，最终制品钪含量高、参数可控。
- 一种合金制备工艺
- [发明专利]一种银合金靶材制备工艺及应用-CN202210202295.5在审
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顾宗慧
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基迈克材料科技（苏州）有限公司
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2022-03-02
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2022-06-03
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C23C14/34
- 本发明涉及一种银合金靶材制备工艺及应用，其中，制备工艺包括：根据预成型成品的尺寸选取对应规格的AgIn合金锭作为制备原材备用；将制备原材于450‑600℃的温度条件下预热1‑2h至其呈半熔融状态，作为挤压原材备用；将挤压原材注入挤压成型设备中，通过预装的成型模具将挤压原材挤压成板材加工体；待板材加工体冷却至常温后，于搅拌摩擦焊机上按照预置的加工参数及运行路径对板材加工体进行搅拌摩擦焊处理，得到靶材半成品；根据预成型成品的加工参数对所述靶材半成品进行机加工以最终得到银合金靶材成品。通过上述制备工艺加工的银合金靶材在工作时组织稳定，能够满足大尺寸显示器靶材的应用需求，且降低了烧结能耗和加工成本。
- 一种合金制备工艺应用
- [发明专利]倒角装置及其倒角方法-CN202110551717.5在审
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黄小军;沈斌;顾宗慧;张尔恒
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基迈克材料科技（苏州）有限公司
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2021-05-20
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2021-09-24
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B24B9/00
- 本发明提供一种倒角装置及其倒角方法，包括机台、固定座、移动机构及切削机构，其中：固定座可转动地设置于机台，用于固定靶材工件；机台具有顶面，顶面内具有相互垂直的第一方向与第二方向；移动机构可移动地设置于机台，包括沿第一方向移动的第一移动机构及安装于第一移动机构且沿第二方向移动的第二移动机构；切削机构包括驱动元件及砂轮，第一方向与砂轮的轴线方向平行，驱动元件固定于第二移动机构上，砂轮可转动地固定于驱动元件上，且可抵接于靶材工件上。该倒角装置在磨削过程中，靶材工件与砂轮同时旋转转动，使得涂层端面只受到与靶材工件相同旋向的磨削力，有效降低涂层端面开裂崩边的风险，提高靶材工件的良率及生产效率。
- 倒角装置及其方法
- [实用新型]工件喷涂装置-CN202020293590.2有效
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黄小军;顾宗慧;陈荣华;诸斌
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基迈克材料科技（苏州）有限公司
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2020-03-11
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2020-12-15
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B05B13/02
- 本实用新型涉及一种工件喷涂装置，包括：支架；固定组件，可转动地设在支架上，固定组件包括相对设置的第一固定板和第二固定板，第一固定板上环设多个第一夹具，第二固定板上环设多个第二夹具，第一夹具和第二夹具分别用于夹持工件的两端，各工件环形盘排布在固定组件上；喷涂件，用于对工件进行喷涂，固定组件转动时，各工件依次与喷涂件相对；第一夹具可转动地设在第一固定板上，第二夹具可转动地设在第二固定板上，第一夹具与第二夹具其中之一连接有转动电机。固定组件上可以同时安装多个待喷涂工件，转动固定组件可以依次将各工件对准喷涂件进行工件的喷涂，在更换喷涂对象时无需将工件拆卸再安装新的工件，大大提升了喷涂效率，降低生产成本。
- 工件喷涂装置
- [发明专利]工件喷涂装置-CN202010165893.0在审
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黄小军;顾宗慧;陈荣华;诸斌
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基迈克材料科技（苏州）有限公司
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2020-03-11
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2020-05-22
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B05B13/02
- 本发明涉及一种工件喷涂装置，包括：支架；固定组件，可转动地设在支架上，固定组件包括相对设置的第一固定板和第二固定板，第一固定板上环设多个第一夹具，第二固定板上环设多个第二夹具，第一夹具和第二夹具分别用于夹持工件的两端，各工件环形盘排布在固定组件上；喷涂件，用于对工件进行喷涂，固定组件转动时，各工件依次与喷涂件相对；第一夹具可转动地设在第一固定板上，第二夹具可转动地设在第二固定板上，第一夹具与第二夹具其中之一连接有转动电机。固定组件上可以同时安装多个待喷涂工件，转动固定组件可以依次将各工件对准喷涂件进行工件的喷涂，在更换喷涂对象时无需将工件拆卸再安装新的工件，大大提升了喷涂效率，降低生产成本。
- 工件喷涂装置
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