|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 95个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]一种制备异种金属靶材的方法-CN202310653310.2在审
-
顾宗慧
-
基迈克材料科技（苏州）有限公司
-
2023-06-05
-
2023-09-19
-
C23C14/35
- 本发明公开了一种制备异种金属靶材的方法，涉及靶材制备领域，旨在解决靶材溅射均匀性的问题，其技术方案要点是：准备背板及靶材；根据靶材材质，选用相应屈服强度的轧辊；根据材料和成品厚度设计轧制形变量，计算原料锭厚度；进行退火；板材校平；板材机加工；背板加工；将要连接的金属表面清洗干净，确保表面光滑；将光滑面板材放置于背板凹槽中，放置在加热的夹具中加热，加压，使金属部件紧密贴合，形成原子之间扩散，形成均匀的混合层，并形成连接；在达到扩散深度后，停止加热并冷却，使金属重新结晶并形成一个稳定的连接；包装。本发明的一种制备异种金属靶材的方法能够改善靶材溅射均匀性。
- 一种制备金属方法
- [发明专利]一种金属镓蒸发料的制备方法-CN202310627983.0在审
-
顾宗慧
-
基迈克材料科技（苏州）有限公司
-
2023-05-31
-
2023-09-15
-
B22F9/24
- 本发明公开了一种金属镓蒸发料的制备方法，涉及金属镓材料制备领域，旨在解决获得高纯金属镓蒸发料；其技术方案要点是：步骤一：准备含有高纯度金属镓离子的溶液；步骤二，加入还原剂并加热反应溶液；步骤三：在反应过程中，金属镓离子被还原为金属镓颗粒，反应结束后，金属镓颗粒沉淀在水或有机溶剂中，此即为高纯金属镓蒸发源；步骤四：将产生的金属镓颗粒过滤或离心，去除余液和杂质；步骤五：对金属镓颗粒进行清洗、干燥、分散处理，得到制备好的金属镓颗粒；步骤六：将干燥的金属镓颗粒装进充满氩气的瓶子中并放置一包干燥剂，封口保存，完成制备。本发明的一种金属镓蒸发料的制备方法能够获得高纯金属镓蒸发料。
- 一种金属蒸发制备方法
- [发明专利]一种锂靶材成型方法-CN202310736253.4在审
-
张玉玲;诸斌
-
基迈克材料科技（苏州）有限公司
-
2023-06-21
-
2023-09-12
-
B23P15/00
- 本发明公开了一种锂靶材成型方法，涉及溅射镀膜领域，旨在提供一种锂靶材成型方法，其技术方案要点是：S1、将SST不锈钢管两端头进行预处理，将冲压模具和不锈钢管组装；S2、将锂锭置于坩埚中加热熔化成锂液；S3、将不锈钢管放置于真空手套箱内，使用超声波设备将锂液用刷头涂到不锈钢管的外表面；S4、将S3获得的产品装配到四柱压机的上片，通过螺纹装配到四柱压机的压头上；S5、将锂棒加热后置于四柱压机平台上，锂棒的下方垫有不锈钢片；S6、将S5中的锂棒进行压制成型，得到锂毛坯靶材；S7、将锂毛坯靶材进行机加工处理，得到锂靶材。本发明的一种锂靶材成型方法工艺简单、一次成型，安全性高。
- 一种锂靶材成型方法
- [发明专利]一种铜锡合金靶材的制备方法-CN202310582585.1在审
-
朱伟
-
基迈克材料科技（苏州）有限公司
-
2023-05-23
-
2023-08-04
-
B22F1/00
- 本发明公开了一种铜锡合金靶材的制备方法，涉及半导体加工领域，旨在解决目前制备铜锡合金存在成分偏析空隙的缺陷，其技术方案要点是：A、按照Cu：Sn＝40：60‑70：30的质量比进行均匀混合；B、混合后的原料进行球磨；C、在球磨过程中对球磨罐进行抽真空操作，真空度低于200Pa；D、将球磨破碎完成的CuSn复合粉末通过40‑100目筛网进行筛分，然后按照产品尺寸计算所需重量，装入热压石墨模具中；E、将石墨模具置于真空热压炉的压头正下方，并对模具进行预压0.5MPa‑5MPa，设定烧结参数进行烧结进行各种机加工至所需产品要求。本发明的一种铜锡合金靶材的制备方法能够制备均一分散的铜锡合金靶材。
- 一种合金制备方法
- [发明专利]一种导电铌酸锂靶材的制备方法-CN202310352885.0在审
-
朱伟
-
基迈克材料科技（苏州）有限公司
-
2023-04-04
-
2023-07-07
-
C04B35/495
- 本发明公开了一种导电铌酸锂靶材的制备方法，涉及溅射靶材领域，旨在提供一种铌酸锂靶材，其技术方案要点是：S1：配置C粉、Nb2O5粉末、Li2CO3粉末；S2：将粉末称重后加入到去离子水中形成浆液，进行砂磨破碎，离心喷雾造粒；S3：进行预烧结；S4：将预烧后的还原粉末与Li2CO3粉末称重后加入到去离子水中形成浆液，进行砂磨破碎，进行离心喷雾造粒；S5：对造粒后的粉末再次进行预烧结，得到还原粉末；S6：破碎后筛分；S7：预压，进行烧结；S8：真空退火；S9：退火完成后进行机加工完成产品所需要求。本发明的一种导电铌酸锂靶材的制备方法可制备出高致密度、高纯度、细晶、近化学计量比的铌酸锂导电靶材。
- 一种导电铌酸锂靶材制备方法
|
