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[发明专利]一种晶片表面的清洗方法-CN202311146485.0在审
发明人：高冰;金灵敏;吴鲁 -专利权人：浙江晶越半导体有限公司
申请日： 2023-09-07 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明属于半导体表面净化技术领域，涉及一种晶片表面的清洗方法，包括依次使用碱性清洗液、酸性清洗液、SPM清洗液清洗、SC1清洗液、SC2清洗液、DHF清洗液、臭氧水、SC1清洗液、DHF清洗液进行清洗的步骤，在使用SPM清洗液清洗步骤中，使用兆声震荡和刷头刷洗。使用本发明的清洗方法清洗后的晶片，使用表面缺陷检测仪测定，≥0.3μm的颗粒较传统工艺平均降低至少50个以内/片，≥0.13μm颗粒一次去除率至少95％，钠离子、镁离子、铝离子、钾离子、钙离子、钛离子、钒离子、铬离子、锰离子、铁离子、钴离子、镍离子、铜离子、锌离子、镓离子、银离子、锡离子、钨离子、铅离子残留量低至0.08×10¹⁰atoms/cm2。
一种晶片表面清洗方法

[发明专利]铲刀，及使用这种铲刀进行碳化硅晶片脱蜡的方法-CN202310540433.5在审
发明人：高冰;王辽阔;吴鲁;魏浙锋 -专利权人：浙江晶越半导体有限公司
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明属于半导体晶圆加工技术领域，尤其涉及一种铲刀，及使用这种铲刀进行碳化硅晶片脱蜡的方法。铲刀包括:刀头，刀头由近端向远端逐渐变薄，能够弯曲并用于铲除碳化硅晶片附近的蜡；刀柄单元，设置在刀头的近端侧，用于操控刀头的移动过程；刀头远端形成用于铲除蜡的刃口；刃口设有适配于碳化硅晶片边缘弧度的刃口槽；刀头由聚甲醛树脂制备而成。铲刀的刀头能够弯曲，以在铲蜡的时候刀头的刃口始终贴在承装盘上，以最大程度减少铲除过程中刃口可能对晶片表面划伤的可能性；并且刃口处设有与晶片边缘弧度相适配的刃口槽，以保证铲片过程中晶片受力均匀；此外刀头组成材料为聚甲醛树脂，在能够弯曲的同时保证了足够的强度以铲除晶片周边的蜡。
铲刀使用这种进行碳化硅晶片方法

[发明专利]一种碳化硅多线切割冷却系统、切割装置及方法-CN202211638100.8在审
发明人：高冰;吴鲁;穆栋梁 -专利权人：浙江晶越半导体有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及半导体加工领域，尤其涉及一种碳化硅多线切割冷却系统、切割装置及方法，所述冷却系统包括砂浆桶，其用于储存砂浆，所述砂浆桶上设置有用于向砂浆释放超声波的超声波发射器；还包括输送系统，包括一个用于泵送砂浆桶内部砂浆的砂浆泵以及输送管路，还包括与输送管路相连通用于对碳化硅切割面进行喷淋的喷嘴组件；切割室，其内部设置有用于切割碳化硅的切割腔，所述切割室与砂浆桶相连通，从而能够回收砂浆。本发明通过在砂浆桶上设置有超声波发射器，使得砂浆液中的固体研磨剂能够均匀分散于砂浆液中，防止其沉积在砂浆桶的底部以及造成管路堵塞，同时提升了对于切割过程中的冷却效果。
一种碳化硅切割冷却系统装置方法

[发明专利]一种化学机械抛光装置及高硬度半导体材料抛光方法-CN202211638015.1在审
发明人：高冰;吴鲁;周頔 -专利权人：浙江晶越半导体有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明涉及化学机械抛光领域，尤其涉及一种化学机械抛光装置及高硬度半导体材料抛光方法，所述装置包括抛光平台，其上表面设置有抛光盘，所述抛光平台的外侧围绕抛光盘外周部设置有围挡装置，使得围挡装置内部空间形成用于蓄积抛光液的蓄液空间，所述抛光平台上设置有用于对蓄液空间内部产生超声波的超声波发生器。本发明通过在化学机械抛光装置中引入超声波发生器，从而在化学机械抛光过程中提升了抛光液中磨料的活性，提升了其机械能，使得磨料对待抛光部件的磨削能力进一步提升。使得对于高硬度半导体材料的抛光效率大幅提升，大大缩短了加工时间。
一种化学机械抛光装置硬度半导体材料抛光方法

[发明专利]一种浸入式超声波辅助多线切割装置及切割方法-CN202211638010.9在审
发明人：高冰;吴鲁;穆栋梁 -专利权人：浙江晶越半导体有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明半导体加工领域，尤其涉及一种浸入式超声波辅助多线切割装置及切割方法，所述装置包括：切割室，其包括一个封闭式的箱体，其内部填充有砂浆液，所述箱体的顶部设置有工作台，其端部固定连接有待切割的工件，所述箱体的内部设置有用于切割工件的切割辊组，所述箱体还设置有由用于对砂浆液释放超声波的超声波发生器；切割线组，其包括设置在箱体外部的供线轮、收线轮以及切割线，所述切割线穿过箱体，并缠绕于切割辊组的外侧并形成多个切面，从而对工件进行切割。本发明中待切割的工件在切割过程中可以完全被砂浆液所浸没，使得在切割过程中所产生的热量能够迅速被砂浆液所吸收，从而防止了因切割面温度过高而造成的切割面质量下降的问题。
一种浸入超声波辅助切割装置方法

[外观设计]水瓶-CN202230725458.9有效
发明人：梁雄;吴鲁 -专利权人：梁雄
申请日： 2022-11-01 - 公布日： 2023-02-07 - 主分类号： 07-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：水瓶。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于水瓶。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
水瓶

[实用新型]一种输电电缆断裂口接线盒-CN202220760039.3有效
发明人：吴鲁 -专利权人：上海契达信息科技有限公司
申请日： 2022-04-01 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： H02G15/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及电缆断裂口保护技术领域，公开了一种输电电缆断裂口接线盒，包括电缆，所述电缆设置有两侧，两组所述电缆内侧设置有内缆，两组所述内缆内侧均设置有缆芯，两组所述缆芯外侧套接有铜管，所述铜管外侧套接有冷缩应力管，所述冷缩应力管外侧均套接有铜屏蔽带，所述铜屏蔽带外侧设置有密封盒，所述密封盒上侧左端开设有注胶孔，所述密封盒上侧右端开设有溢胶孔。实用新型通过两组电缆的缆芯依次被铜管、冷缩应力管和铜屏蔽带包裹后，在将密封盒安装在外侧，并通过注胶孔内注入凝固剂，配合溢胶孔判断密封盒是否住满，最后等待凝固剂凝固，将断裂的电缆进行密封，有效的进一步增加了两组电缆连接处的保护和密封性。
一种输电电缆断裂接线

[发明专利]一种高灵敏三明治夹层应变传感器制备方法-CN202011385750.7有效
发明人：宾月珍;吴鲁;樊明帅;曲美洁;王海;唐萍 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-12-01 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：本发明属于柔性可穿戴电子器件领域，公开了一种基于水凝胶与碳材料的高灵敏三明治夹层应变传感器的制备方法。将碳材料放入助分散剂溶液中超声分散，倒入由聚甲基丙烯酸甲酯和硅橡胶制备的模具中，室温下自然干燥制备碳材料沉积层；将聚乙烯醇溶于甘油和去离子水的混合溶液，然后向其中加入聚合单体、交联剂和引发剂过硫酸铵并持续搅拌，最后将混合预聚液注入两层沉积有碳材料沉积层的模具中间加热后聚合，然后将模具置于低温冷冻一段时间，解冻后得到具有碳/水凝胶/碳三明治夹层结构的复合材料，两端接上导线，即得高灵敏度应变传感器。方法简单、灵敏度高、响应时间短，同时具有很好的稳定性。
一种灵敏三明治夹层应变传感器制备方法

[实用新型]一种新型检修时防止轴转动装置-CN202121321014.5有效
发明人：温卫峰;吴鲁 -专利权人：华润水泥（龙岩雁石）有限公司
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型检修时防止轴转动装置，包括防止转动结构及调节结构，所述防止转动结构设置在调节结构的上方；所述防止转动结构包括支撑架、弧形面板及调节杆，所述弧形面板设置在支撑架的上方，所述调节杆的一端设置在支撑架的外侧。本实用新型根据转动轴轴面积大小，在轴面侧边安装贴合面积大小的弧形面板，防止转动轴转动；并通过卡槽将防止转动结构设置在卡槽内，调节杆穿过第二螺母后，可将防止转动结构固定在底座上。本实用新型牢固有效，确保安全性且方便调整；可有效防止转动轴转动，只要松开调节杆即可分离接触面，不影响转动轴转动，避免频繁拆卸，更为方便。
一种新型检修防止转动装置

[发明专利]一种蓝宝石光学片的处理方法-CN201910727254.6有效
发明人：徐永亮;吴鲁;姜杨斌;那木吉拉图;周波 -专利权人：苏州恒嘉晶体材料有限公司
申请日： 2019-08-07 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：本申请公开一种蓝宝石光学片的处理方法，包括：制备涂料；将制备的涂料涂覆在蓝宝石光学片的表面，形成涂层；烘干在蓝宝石光学片的表面上形成的涂层；烘干后，在700‑1500℃温度环境下，对蓝宝石光学片热处理1‑3个小时，热处理过程中，涂层成分与蓝宝石成分共融，且形成的共熔物至少部分渗透至微裂纹中；通过表面处理去除蓝宝石光学片表面的所述涂层，以使蓝宝石光学片的表面性能满足使用要求。由于通过本申请方法，涂层成分与蓝宝石成分可以发生共融，且其共熔物会渗入蓝宝石光学片表面的微裂纹中，因此可以有效改善蓝宝石光学片的断裂韧性，解决在有外力作用或者跌落时，微裂纹扩展导致的蓝宝石光学片破裂的问题。
一种蓝宝石光学处理方法

[实用新型]一种抛光盘及抛光盘下盘面的冷却系统-CN202022801676.4有效
发明人：徐永亮;陈宇超;吴鲁;施海斌;姜恒 -专利权人：苏州恒嘉晶体材料有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： B24B37/20 文献下载
摘要：本实用新型提供一种抛光盘，包括抛光垫、不锈钢盘、热电制冷板、下盘铸件、腔体、外拐角结构、内拐角结构、隔板、进水口和出水口以及旋转盘底座，抛光垫设置在不锈钢盘的上方，不锈钢盘的下方设置有热电制冷板，热电制冷板的下方设置有下盘铸件，下盘铸件与热电制冷板之间设置有腔体，进水口设置在腔体的一端下方，出水口设置在腔体的一端上方，腔体的内部设置有隔板和用于保证水流传导过程中流畅的外拐角结构以及内拐角结构，旋转盘底座设置在腔体的下方。本实用新型还提供一种抛光盘下盘面的冷却系统。本实用新型能够实现对抛光盘下盘面温度的快速、精准地调控，极大地提高了蓝宝石的抛光质量和生产效率。
一种抛光盘面冷却系统

[发明专利]信息处理方法、信息处理装置和视频监控系统-CN201510368669.0有效
发明人：谢雨来;吴鲁;杨鹏 -专利权人：株式会社日立制作所
申请日： 2015-06-29 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种信息处理方法、信息处理装置和视频监控系统，所述信息处理方法其特征在于，包括：图像取得步骤，取得图像；第一方特征量提取步骤，从所取得的图像中提取至少一个用于描述所述图像的第一方特征的第一方特征量；第三方特征量提取步骤，调用第三方算法，从所述图像中提取至少一个用于描述所述图像的所述第一方特征之外的第三方特征的第三方特征量；特征量关联步骤，利用用于描述同一张图像的各所述第一方特征量和各所述第三方特征量的关联性的连接信息，对所述图像的各所述第一方特征量和各所述第三方特征量进行关联。
信息处理方法装置视频监控系统

[发明专利]一种天然橡胶改性巴基纸及其制备方法和应用、三明治结构应变传感器及其应用-CN202110664949.1在审
发明人：宾月珍;樊明帅;吴鲁;王海;唐萍;李姝慧;胡朝晖 -专利权人：大连理工大学;湘潭中微新材料有限公司
申请日： 2021-06-16 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种天然橡胶改性巴基纸(N‑BP)及其制备方法和应用、三明治结构应变传感器及其应用，属于柔性电子材料技术领域。本发明N‑BP的制备方法简便，可实现大规模制造，且制备的柔性N‑BP具有优良的力学性能、导电性能和电磁屏蔽性能。将本发明的N‑BP用于制备三明治结构应变传感器，具有非常高的灵敏度、超短响应时间、较大的检测范围和优异的循环稳定性，在下一代可穿戴电子设备中具有广阔的应用前景。
一种天然橡胶改性巴基纸及其制备方法应用三明治结构应变传感器

[发明专利]一种抛光盘及抛光盘下盘面的冷却系统-CN202011358372.3在审
发明人：徐永亮;陈宇超;吴鲁;施海斌;姜恒 -专利权人：苏州恒嘉晶体材料有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： B24B37/20 文献下载
摘要：本申请提供一种抛光盘，包括抛光垫、不锈钢盘、热电制冷板、下盘铸件、腔体、外拐角结构、内拐角结构、隔板、进水口和出水口以及旋转盘底座，抛光垫设置在不锈钢盘的上方，不锈钢盘的下方设置有热电制冷板，热电制冷板的下方设置有下盘铸件，下盘铸件与热电制冷板之间设置有腔体，进水口设置在腔体的一端下方，出水口设置在腔体的一端上方，腔体的内部设置有隔板和用于保证水流传导过程中流畅的外拐角结构以及内拐角结构，旋转盘底座设置在腔体的下方。本申请还提供一种抛光盘下盘面的冷却系统。本申请能够实现对抛光盘下盘面温度的快速、精准地调控，极大地提高了蓝宝石的抛光质量和生产效率。
一种抛光盘面冷却系统

[发明专利]一种蓝宝石衬底片抛光方法-CN201910248636.0在审
发明人：徐永亮;王辽阔;施海斌;柳瑞森;吴鲁;周波 -专利权人：苏州恒嘉晶体材料有限公司
申请日： 2019-03-29 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种蓝宝石衬底片抛光方法，将铜抛后清洗干净的蓝宝石衬底片按照厚度分组，同一组内晶片厚度差异在10μm以内；提供一个陶瓷盘，陶瓷盘表面平整度在3μm以内，用贴蜡机将一组晶片均匀贴在距陶瓷盘边缘1cm的表面上，蜡冷却后晶片固定在陶瓷盘上；抛光机下盘表面贴上suba600或suba800的抛光布，将陶瓷盘贴有晶片的一面向下放置在抛光布上，下压上盘压紧陶瓷盘并使之跟随上盘同步转动，下盘与上盘同向转动，同时抛光布表面喷上粒径大小为80～350nm的的氧化铝抛光液，氧化铝抛光液与水的体积配比为1:6到1:15；抛光过程中，可以通过对抛光液冷却带走热量使抛光机下盘盘面温度控制在30～40℃；抛光结束后取下陶瓷盘，用毛刷对晶片进行冲水清洗。
陶瓷盘晶片蓝宝石抛光衬底片抛光液上盘抛光布抛光机氧化铝冷却清洗表面平整度抛光布表面厚度差异晶片固定抛光过程体积配比同步转动同向转动下盘表面下盘盘面向下放置冲水蜡机粒径毛刷取下贴上下盘下压压紧分组申请

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