专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体制造系统-CN202310387134.2在审
  • 吴政隆;徐伊芃;朱延安;刘旭水 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2023-04-12 - 2023-08-08 - H01L21/67
  • 本公开提供了半导体制造系统的实施例。半导体制造系统包括设备前端模块,设备前端模块具有将半导体晶圆从晶圆载体转移到设备前段模块的装载端口;以及嵌入在设备前端模块中并且配置为产生空气帘以保护半导体晶圆的晶圆湿度控制装置。晶圆湿度控制装置还包括具有气体入口以接收气体的气体进入层;与气体进入层集成并且设计成重新分配气体的均匀层;以及具有组装在一起的多件零件以保持均匀层并且与气体进入层集成的导流结构。
  • 半导体制造系统
  • [发明专利]晶圆处理装置和方法以及气流设备-CN202210713447.8在审
  • 吴仁豪;胡政纲;徐伊芃;吴政隆;刘旭水 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2022-06-22 - 2023-03-31 - H01L21/67
  • 本发明的实施例涉及晶圆处理装置和方法以及气流设备。装载端口接收晶圆载体。设备前端模块(EFEM)通过EFEM壳体的出入口将半导体晶圆转移到晶圆载体和从晶圆载体转移,并且还将晶圆转移到半导体处理或描绘工具和从半导体处理或描绘工具转移晶圆。设置在EFEM的壳体内的气流设备被连接以接收具有10%或更低的相对湿度的低湿度气体,并且被定位成使接收的低湿度气体流过进入开口。气流设备的饱和压力层对低湿度气体的渗透性随着与饱和压力层的进气边缘的距离增加而增加,例如由于穿过饱和压力的不同直径和/或密度的孔层。气流设备的过滤层使离开饱和压力层的气体均匀。
  • 处理装置方法以及气流设备
  • [发明专利]晶片运输容器及其操作方法-CN202210236396.4在审
  • 许志修;马正鑫;吴政隆 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2022-03-11 - 2023-01-03 - H01L21/677
  • 本发明实施例涉及晶片运输容器及其操作方法。一种晶片运输载具包含用于提供改进空气密封以减少空气泄漏到所述晶片运输载具中的各种组件。所述晶片运输载具可包含外壳,其具有:中空壳,其含有真空或惰性气体以最小化及/或防止湿气及氧气进入到所述晶片运输载具中;晶片架,其集成到所述外壳的所述壳中以最小化及/或防止围绕所述晶片架的空气泄漏;及/或增强型基于磁体的门闩锁,其用于围绕所述外壳的开口的全外围提供空气密封。本文中所描述的这些组件及/或额外组件可减少及/或防止来自半导体制造设施的碎屑、水分及/或其它类型的污染进入所述晶片运输载具且引起晶片缺陷及/或装置故障。
  • 晶片运输容器及其操作方法
  • [发明专利]卷取装置及卷取方法-CN202210037471.4在审
  • 黄志宏;吴政隆;朱延安;白峻荣 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2022-01-13 - 2022-12-20 - B65H18/10
  • 在一些实施方式中,卷取装置可以通过围绕卷轴定位的导向块组的接收端接收材料。导向块组配置有在接收端处的开口且配置有一个或多个内表面,内表面配置为在围绕卷轴的表面的路径上引导材料。导向块组中的一个或多个内表面是弧形以整体沿着卷轴的表面。卷取装置可以操作马达,马达在加载方向旋转卷轴,以促使将材料加载到卷轴。基于被接收的材料和/或在加载方向上运行的马达,导向块组整体远离卷轴的表面行进。
  • 卷取装置方法
  • [发明专利]晶圆转移方法以及晶圆装载系统-CN202210815390.2在审
  • 吴政隆;黄志宏;朱延安;白峻荣 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2022-07-08 - 2022-11-01 - H01L21/677
  • 本发明的实施例提供了一种晶圆转移方法以及晶圆装载系统。该方法包括在烘箱室的装载端口上设置晶圆盒。晶圆盒包含一个或多个带有半导体晶圆的晶舟。晶舟通过晶圆盒的壁槽支撑在晶圆盒中。使用推杆,转移一个或多个晶舟离开晶圆盒并且进入设置在装载端口上的晶圆盒夹具中。转移的一个或多个晶舟通过晶圆盒夹具的壁槽支撑在晶圆盒夹具中。在转移期间,当一个或多个晶舟通过插入在晶圆盒和晶圆盒夹具之间的舟桥的壁槽穿过晶圆盒和晶圆盒夹具之间的间隙时,支撑一个或多个晶舟。在转移和使用机器人后,将晶圆盒夹具中的一个或多个晶舟移动到烘箱室中。
  • 转移方法以及装载系统
  • [发明专利]一种基于车联网的胎压监测轮胎管理系统-CN202210835116.1在审
  • 吴政隆 - 吴政隆
  • 2022-07-15 - 2022-10-14 - B60C23/04
  • 本发明公开了一种基于车联网的胎压监测轮胎管理系统,包括:轮胎气压监测设备、带有电子花纹尺功能的手持PDA设备、车载智能数据通讯设备、车载显示器、数据库和车队管理平台,轮胎气压监测设备用于直接从轮胎运行过程中读取气压和温度实时数据并反馈,带有电子花纹尺功能的手持PDA设备,可以录入并上传车牌、轮位、胎号和花纹深度信息,车载智能数据通讯设备用于对手持PDA设备和轮胎气压监测设备采集的信息进行收集,进行安全隐患与胎体剩余花纹深度剩余里程评估。本发明中,该基于车联网的胎压监测轮胎管理系统结合轮胎全生命周期中胎压和花纹深度的动态检测,通过车联网的设备模块不仅告知用户或车队,还可以自主生成检测报告,更好的保证轮胎的安全与使用寿命。
  • 一种基于联网监测轮胎管理系统

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