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[发明专利]一种蒸发源的匹配方法及其装置、镀膜设备-CN201910562480.3在审
发明人：庞浩;何嘉 -专利权人： 北京精诚铂阳光电设备有限公司
申请日： 2019-06-26 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开一种蒸发源的匹配方法及其装置、镀膜设备，用以实现自动匹配蒸发源和镀膜设备的目的，从而避免采用人工进行匹配造成工作量大，且工作效率较低的问题。一种蒸发源的匹配方法，包括：确定第一标识信息，以及与所述第一标识信息对应的蒸发源设置位置，所述第一标识信息用于标识镀膜设备中蒸发源设置位置；根据所述第一标识信息，以及预设的标识信息之间的对应关系，确定与所述第一标识信息对应的第二标识信息，所述第二标识信息用于标识蒸发源；根据所述第二标识信息，确定与所述第二标识信息对应的蒸发源，并控制将所述蒸发源匹配在所述蒸发源设置位置。
一种蒸发匹配方法及其装置镀膜设备

[发明专利]电连接端子和电连接装置-CN201910576237.7在审
发明人：秦峰;樊文凤 -专利权人： 北京精诚铂阳光电设备有限公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： H01R13/648 文献下载
摘要：本发明公开了一种电连接端子和电连接装置，电连接端子包括：第一屏蔽结构，由导体材料制成，包括第一夹持部；第二屏蔽结构，由导体材料制成，与第一屏蔽结构连接，包括与第一夹持部对应设置的第二夹持部，第一夹持部与第二夹持部配合用于夹持导线的一部分，第一屏蔽结构和第二屏蔽结构连接并围成屏蔽腔；接头，由导体材料制成，设置在屏蔽腔内，用于与导线连接并导通，接头与第一屏蔽结构和第二屏蔽结构均绝缘设置。本发明的电连接端子的第一屏蔽结构和第二屏蔽结构能够相对接头形成静电屏蔽，防止漏电，以及防止外部信号干扰。
连接端子装置

[发明专利]一种传动带张紧轮的支撑件、传动带张紧机构和传输装置-CN201910322159.8在审
发明人：赵志强 -专利权人： 北京精诚铂阳光电设备有限公司
申请日： 2019-04-22 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： F16H7/12 文献下载
摘要：本发明涉及传输设备技术领域，具体提供了一种传动带张紧轮的支撑件、传动带张紧机构和传输装置，该支撑件包括：安装部、支撑部、第一夹持部和第二夹持部；支撑部包括相对的第一端和第二端，安装部位于第二端，用于安装张紧轮；在第一端上设置第一夹持部和第二夹持部，第一夹持部和第二夹持部相对设置，且第一夹持部和第二夹持部在远离第二端的端部均具有受力部，用于使第一夹持部和第二夹持部相对远离或靠近。本方案将第一夹持部和第二夹持部套设在传动机构或辅助机构上，设置调节件调整第一夹持部与第二夹持部的间距，从而将支撑件转动到设定角度，令张紧部与传动带内侧接触并张紧传动带，本方案可根据传动带实际情况，提供可调张紧力。
一种传动带张紧轮支撑机构传输装置

[发明专利]翻转装置、其操作方法及包括其的共蒸发设备-CN201510203240.6有效
发明人：杨斌 -专利权人： 北京精诚铂阳光电设备有限公司
申请日： 2015-04-24 - 公布日： 2018-05-18 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明提供了一种翻转装置、其操作方法及包括其的共蒸发设备。该翻转装置，用于翻转工件，工件包括承载基板和玻璃基板，承载基板包括多个基板定位柱，且玻璃基板通过基板定位柱固定在承载基板上，其特征在于，翻转装置包括：翻转台和设置于翻转台上方的翻转机构，且翻转机构包括由多个吸盘组成的吸盘组；顶起装置，包括设置于翻转台上的支撑架和位于支撑架上的顶针组，顶针组包括多个顶针，且顶针组中顶针的位置与吸盘组中吸盘的位置一一对应；检测装置，设置于翻转台上，且检测装置用于测量玻璃基板的各位置与翻转台之间的距离。采用翻转装置能够降低玻璃基板在翻转时的破碎率。
翻转装置操作方法包括蒸发设备

[发明专利]数据传送方法和装置-CN201510093626.6有效
发明人：马峥 -专利权人： 北京精诚铂阳光电设备有限公司
申请日： 2015-03-02 - 公布日： 2018-03-13 - 主分类号： H04L1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种数据传送方法和装置。其中，数据传送方法包括获取被传送数据的总字节数，其中，总字节数为被传送数据中包含的目标参数的总字节数；根据总字节数，建立字节型数组；根据目标参数，对字节型数组的数组元素赋值；定义目标变量，将目标变量发送至目的端，其中，目标变量的赋值为赋值后的字节型数组。通过本发明，解决了现有技术中PECVD设备中数据传送时间较长的问题，进而达到了缩短PECVD设备中传送数据的时间，并且提高实时性的效果。
数据传送方法装置

[发明专利]电传输馈入结构及具有其的PECVD设备-CN201510451915.9有效
发明人：杨娜;曲铭浩;庄春泉;张津燕;徐希翔;胡安红;张迎春 -专利权人： 北京精诚铂阳光电设备有限公司;福建铂阳精工设备有限公司
申请日： 2015-07-28 - 公布日： 2017-10-27 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本发明提供了一种电传输馈入结构及具有其的PECVD设备，电传输馈入结构包括两个屏蔽层；两个绝缘介质层，设置在两个屏蔽层之间；导电层，设置在两个绝缘介质层之间；导电层包括输入端和输出端，输出端包括多个连接点。通过本发明提供的技术方案能够解决现有技术中薄膜不均匀的问题。
传输结构具有 pecvd 设备

[发明专利]化学气相沉积装置-CN201510209528.4有效
发明人：杨肸曦 -专利权人： 北京精诚铂阳光电设备有限公司
申请日： 2015-04-28 - 公布日： 2017-06-20 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明提供了一种化学气相沉积装置，化学气相沉积装置包括第一壳体，具有第一内腔；输送轴，穿设在第一壳体上并伸入至第一内腔中；胶圈，胶圈设置在输送轴的位于第一壳体内的一端上，还包括第二壳体，具有第二内腔以及与第二内腔连通的开口面，第二壳体固定在第一壳体内，并套设在输送轴的位于第一壳体内的一端上；封堵部，封堵部可开合地设置在开口面处；驱动机构，封堵部与输送轴通过驱动机构连接，输送轴的位于第一壳体内的一端具有伸出开口面的伸出位置以及缩回至第二壳体内的缩回位置，输送轴的伸缩带动驱动机构驱动封堵部开闭。本发明的技术方案有效地解决了现有技术中胶圈和传动轴暴露在反应腔室内容易沉积膜层的问题。
化学沉积装置

[发明专利]平行度调节装置及CVD生长膜装置-CN201510202608.7有效
发明人：梅艳慧;林继柱;温振兴 -专利权人： 北京精诚铂阳光电设备有限公司
申请日： 2015-04-24 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种平行度调节装置及CVD生长膜装置。该平行度调节装置用于调节层叠设置的第一板体和第二板体之间的平行度，平行度调节装置包括安装部；多个调节部，多个调节部安装在安装部上，各调节部均包括驱动组件和执行组件，执行组件包括执行件，执行件的第一端连接在第一板体的远离或靠近第二板体的侧面上，驱动组件驱动执行组件沿远离或靠近第二板体的方向运动。本发明的平行度调节装置及CVD生长膜装置的结构简单，便于提高大面积的CVD设备的生产效率。
平行调节装置 cvd 生长

[发明专利]一种LPCVD镀膜工艺后期基板冷却系统-CN201610811578.4在审
发明人：袁建辉 -专利权人： 北京精诚铂阳光电设备有限公司
申请日： 2016-09-08 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明属于LPCVD镀膜工艺技术领域，具体涉及一种LPCVD镀膜工艺后期基板冷却系统。本发明一种LPCVD镀膜工艺后期基板冷却系统包括：冷却腔室、水冷板组件和氮气进气管路；所述冷却腔室包括腔室上盖和冷却腔腔体；所述水冷板组件包括水冷板和内嵌于所述水冷板的冷却管；所述冷却管一端设有冷却水进水口；所述氮气进气管路包括氮气进气口和氮气出口。本发明在镀膜工艺沉积完成后，可以是镀膜基板温度均匀且能快速降低下来，防止基板出现翘曲和炸裂的情况。
一种 lpcvd 镀膜工艺后期冷却系统

[实用新型]温度检测装置的隔热组件及具有其的温度检测装置-CN201521040362.X有效
发明人：张伟 -专利权人： 北京精诚铂阳光电设备有限公司
申请日： 2015-12-15 - 公布日： 2016-05-18 - 主分类号： G01K1/12 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种温度检测装置的隔热组件及具有其的温度检测装置。其中，隔热组件包括：支架；用于对感温触头进行遮挡的隔热件，隔热件设置在支架上，隔热件位于感温触头与辐射源之间。通过本实用新型提供的技术方案能够解决现有技术中温度检测不准确的问题。
温度检测装置隔热组件具有

[发明专利]温度检测装置的隔热组件及具有其的温度检测装置-CN201510930532.X在审
发明人：张伟 -专利权人： 北京精诚铂阳光电设备有限公司
申请日： 2015-12-15 - 公布日： 2016-03-23 - 主分类号： G01K1/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种温度检测装置的隔热组件及具有其的温度检测装置。其中，隔热组件包括：支架；用于对感温触头进行遮挡的隔热件，隔热件设置在支架上，隔热件位于感温触头与辐射源之间。通过本发明提供的技术方案能够解决现有技术中温度检测不准确的问题。
温度检测装置隔热组件具有

[实用新型]真空锁-CN201520122578.4有效
发明人：杨娜;王崧 -专利权人： 北京精诚铂阳光电设备有限公司
申请日： 2015-03-02 - 公布日： 2015-08-05 - 主分类号： F16K51/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了真空锁。真空锁包括旋转轴、与旋转轴连接的翻转结构和设置在翻转结构上的阀板，其特征在于，翻转结构包括：安装支架，安装支架连接在旋转轴上，阀板设置在安装支架上，并可随安装支架翻转至打开位置或密封位置；自调节球轴，自调节球轴穿设在安装支架上，阀板连接在自调节球轴上，并通过自调节球轴设置在安装支架上，阀板与自调节球轴球面配合使阀板与密封面平行。该真空锁可以提高密封性，延长使用寿命。
真空

[发明专利]上电极结构及等离子体增强化学气相沉积装置-CN201510225072.0在审
发明人：南建辉;王崧;何嘉 -专利权人： 北京精诚铂阳光电设备有限公司
申请日： 2015-05-05 - 公布日： 2015-07-22 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：本发明提供了一种上电极结构及等离子体增强化学气相沉积装置。该上电极结构包括中心电极板和围绕中心电极板并与中心电极板连接的外围电极板，外围电极板的底面低于中心电极板的底面，且上电极结构中具有贯穿上电极结构的通气孔道。由于外围电极板的底面低于中心电极板的底面，且上电极结构中具有贯穿上电极结构的通气孔道，从而能够使上电极结构的底面形成有拱形结构，进而提高了通过上电极结构的工艺气体的气流均匀性，使利用工艺气体沉积形成的薄膜具有更好的均匀性；并且，由于上电极结构包括有连接设置的中心电极板和外围电极板，从而能够通过调节中心电极板和外围电极板的位置关系进一步地对工艺气体的气流均匀性进行优化。
电极结构等离子体增强化学沉积装置

[发明专利]真空蒸镀源加热系统和真空蒸镀系统-CN201380014110.7有效
发明人： J·马蒂亚松;M·克辛格;F·克劳泽;T·阿尔格伦;S·施泰因贝格 -专利权人： 北京精诚铂阳光电设备有限公司
申请日： 2013-03-06 - 公布日： 2015-01-21 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空蒸镀源加热系统并且涉及具有该加热系统的真空蒸镀系统。所述真空蒸镀源加热系统能够安装到真空蒸镀系统中并且包括：设计用于加热蒸镀源的加热元件(1)，与加热元件电连接的用于向加热元件(1)提供电能的电源供应元件(2)；将电源供应元件(2)电连接到加热元件的连接件(3)，从而使电源供应元件以弹性的方式机械安装到连接件(3)，并且由此使得连接件包括由弹性的碳材料制成的弹簧元件(31)。
真空蒸镀源加热系统

[发明专利]缺陷修复方法和系统-CN201110403542.X无效
发明人：李沅民;张迎春;单洪青 -专利权人： 北京精诚铂阳光电设备有限公司
申请日： 2011-12-08 - 公布日： 2012-06-27 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种缺陷修复系统和方法，包括由复数排平行、等距间隔排列的探针架组成的探针板，每个所述的探针架上均安装有复数个探针，每个所述的探针均与电源相连。本发明的修复方法包括：将探针板压下于所述太阳能电池板上方，使每排探针架上的每个探针均与电池板接触且避开激光线的位置；对激光线两侧的探针施加电压，给至少一节电池单元施加正向偏压和/或反向偏压。本发明的缺陷修复系统和方法能够在封装前对薄膜太阳能电池、特别是对具有内级联结构的大面积柔性薄膜太阳能电池的漏电流和短路等缺陷进行有效的修复，减少粉尘颗粒和激光划线缺陷对电池性能的影响。
缺陷修复方法系统

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