专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于激光直写曝光机的光源控制方法及系统-CN202310838421.0在审
  • 李显杰;何先福;吴长江;刘世林 - 江苏影速集成电路装备股份有限公司
  • 2023-07-10 - 2023-10-27 - G03F7/20
  • 本发明公开了用于激光直写曝光机的光源控制方法及系统,属于曝光设备领域。所述系统包括:光源控制模块和光源模块,所述光源模块包括多个光源驱动器和对应的光源,光源控制命令和光源同步命令输入光源控制板,所述光源控制板接收命令后,通过板卡内的处理芯片进行命令解析,经过数据解析后产生多组固定时延的同步信号,输出的同步控制信号分别用于控制所述光源驱动器,并进行脉冲控制信号和恒流源控制信号的切换;本发明的用于激光直写曝光设备的光源控制方式,可以有效地解决光源同步,提升了设备的光源使用率,降低光源寿命成本,提升了解析能力和图形边框毛刺降低了补偿难度和报废率。
  • 用于激光曝光光源控制方法系统
  • [发明专利]用于激光直写曝光设备的光源同步控制系统及方法-CN202211495898.5在审
  • 何基奎;何先福;吴长江 - 无锡影速半导体科技有限公司
  • 2022-11-24 - 2023-03-07 - G03F7/20
  • 本发明公开了用于激光直写曝光设备的光源同步控制系统及方法,属于激光直写曝光设备领域。本发明利用PEG信号处理板,产生两组存在固定时延的同步信号,分别用于控制光源和DMD部件,光源在PEG信号的控制下,产生了与图形相同步的脉冲激光,在曝光过程中精确地实现了光源与图形的同步;此外,采用了PEG信号处理板控制光源的打开和关闭,相比于现有的PC控制光源的方式,提升了对光源的控制效率和光源的响应速度,由原来的10‑20ms数量级变成百ns数量级;因此,本发明的用于激光直写曝光设备的光源同步控制系统及方法,可以有效地解决光源和图形不同步产生的拖影现象,提升了设备的解析能力,降低了报废率。
  • 用于激光曝光设备光源同步控制系统方法
  • [实用新型]一种新型激光直写曝光装置-CN202222732720.X有效
  • 何先福;吴长江 - 无锡影速半导体科技有限公司
  • 2022-10-17 - 2023-02-21 - G03F7/20
  • 本实用新型公开了一种新型激光直写曝光装置,属于曝光设备技术领域。本实用新型将平台控制和电控控制集成到一块控制处理板卡上,在该板卡实现对平台和电控的双重控制,相比于现有的控制结构,本实用新型不需要通过曝光软件实现平台和电控之间的协调,解决了两者调度时的通信延时和误码率的问题,提高了激光直写曝光设备平台与曝光设备之间的同步性能,提升了曝光的准确率;本实用新型的光源由DMD部件控制,且电控部分采用分布式控制方式,相比于传统的集中控制方式,本实用新型降低了布局和布线的复杂度,简化了控制结构。
  • 一种新型激光曝光装置

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